PDMS弹性体表面硬质薄膜层选区刻蚀的制备方法及应用

摘要

本发明公开了一种PDMS弹性体表面硬质薄膜层选区刻蚀的制备方法，包括以下步骤：将PDMS预聚体与交联剂按质量比10:1混合后搅拌30-60min，真空泵脱气2h后于60℃下固化6h得到PDMS膜；以铜网为掩膜选区进行等离子体处理10min，取下铜网，由此形成PDMS为底层、SiOx硬质层为表层的PDMS双层复合膜，将此样品浸泡于2mol/L至5mol/L的氢氟酸溶液中处理5-40min后即在PDMS双层复合膜表面上形成有微结构的选区刻蚀图案。本发明利用简单的操作方式廉价的试剂实现了对PDMS表面进行精确可控的微结构加工，从而避免了造价高昂的仪器的使用以及繁琐的操作步骤。