吸盘、吸盘系统及具有该吸盘的传输系统

摘要

本发明提出一种吸盘，包括：吸盘本体，具有多个出气孔，多个出气孔与第一气体通路相连，用于向外排出第一气体通路中的由第一气源所提供的气体；和围绕吸盘本体均匀分布的多个真空吸盘，多个真空吸盘与第二气体通路相连，所述多个真空吸盘用于在放置晶片时向外排出所述第二气体通路中的由所述第一气源所提供的气体、以及用于在吸取晶片时通过所述第二气体通路与真空源相连以产生真空吸力。本发明还提出一种具有上述吸盘的吸盘系统、及具有上述吸盘系统的传输系统。应用本发明的传输系统，能够显著提高吸盘吸放电池片速度、减轻吸盘重量及提高传输效率，此外，还具有控制吸放的能力，降低碎片率，降低设备成本。