用于智能机器人人工敏感皮肤的柔性复合式阵列传感器

摘要

本发明公开了一种用于智能机器人人工敏感皮肤柔性复合式阵列传感器，其特征是构成阵列的传感单元是以柔性聚酰亚胺电路板为基底，在基底的同一面上分别设置压力传感器、温度传感器和湿度传感器；压力传感器的表面高度高于温度传感器和湿度传感器，形成整体呈凹凸面的分布形式。本发明能同时测量压力、温度和湿度，且具有柔性好、精度高、性能稳定的优点。