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具有通过常温真空接合而接合的振动部的振动执行机构

摘要

本发明提供一种具有通过常温真空接合而接合的振动部的振动执行机构。振动体的特征在于,具有:电力机械能量转换元件;与该电力机械能量转换元件接合、通过该电力机械能量转换元件的变形而被驱动的弹性体,所述电力机械能量转换元件和所述弹性体通过金属结合而被接合。

著录项

  • 公开/公告号CN102738382A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-10-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社尼康;

    申请/专利号CN201210094038.0

  • 发明设计人 桑野邦宏;刈谷智志;

    申请日2012-03-29

  • 分类号H01L41/09;G02B7/04;G03B17/12;H01L41/22;

  • 代理机构北京市金杜律师事务所;

  • 代理人陈伟

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-12-18 06:57:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-10-12

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L41/09 申请公布日:20121017 申请日:20120329

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2014-04-30

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/09 申请日:20120329

    实质审查的生效

  • 2012-10-17

    公开

    公开

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