全印刷柔性碳纳米管薄膜晶体管的制备方法

摘要

本发明公开了一种全印刷柔性碳纳米管薄膜晶体管的制备方法，采用纳米压印技术在柔性基体表面构建出大面积银微网格电极阵列，再通过化学镀方法把微网格电极表面变得更加平整，同时进一步增加导电率。然后采用喷墨打印或气溶胶打印技术将半导体碳纳米管墨水沉积在沟道中，并通过打印技术制备侧栅和高电容介电层。该工艺相对简单，可大规模制备大面积的高性能全印刷柔性碳纳米管薄膜晶体管器件，且侧栅电极结构与传统的顶电极结构相比，可以消除顶电极与介电层之间的兼容性等问题，简化了晶体管的结构，为全印刷柔性逻辑电路的构建及相关应用的研究打下了坚实的基础。