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用于原子氧散射角分布及侵蚀率测量的试验系统

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本发明提供了一种用于原子氧散射角分布及侵蚀率测量的试验系统，其中散射腔体的下端开口设置在叠置于靶台机构上的铝散射板上，SiO

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公开/公告号CN102706312A

专利类型发明专利
公开/公告日2012-10-03

原文格式PDF
申请/专利权人北京卫星环境工程研究所;
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申请/专利号CN201210219864.3
发明设计人姜海富;刘向鹏;李涛;孙继鹏;翟睿琼;
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申请日2012-06-29
分类号G01B21/22;G01N5/04;
代理机构
代理人
地址 100094 北京市海淀区友谊路104
入库时间 2023-12-18 06:42:37

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-02-24

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B21/22 申请公布日:20121003 申请日:20120629

发明专利申请公布后的驳回
2012-12-12

实质审查的生效 IPC(主分类):G01B21/22 申请日:20120629

实质审查的生效
2012-10-03

公开

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