具有双敏感层结构的平面式甲烷气体传感器及其制造方法

摘要

具有双敏感层结构的平面式甲烷气体传感器及其制造方法属于气体传感器技术领域。现有甲烷气体传感器难以同时具备高选择性、高灵敏度、快响应恢复和长期稳定性。本发明之甲烷气体传感器甲烷气体敏感层包括纳米纤维敏感层和粒子涂层敏感层，纳米纤维敏感层位于信号电极与粒子涂层敏感层之间；纳米纤维敏感层气敏材料为掺In和Pd的SnO2，In和Pd的掺入量各占In2O3、PdO、SnO2三种氧化物总质量的5～7％，粒子涂层敏感层气敏材料为Co3O4-WO3复合材料。本发明之甲烷气体传感器制造方法在信号电极一侧先制作掺In和Pd的SnO2纳米纤维敏感层，再在所述纳米纤维敏感层上制作Co3O4-WO3复合材料粒子涂层敏感层，得到整片传感器，经切割获得1×1mm2至10×10mm2的单片传感器。该传感器四项性能俱佳。