公开/公告号CN102591136A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-18
原文格式PDF
申请/专利权人 信越化学工业株式会社;
申请/专利号CN201210015148.3
申请日2012-01-17
分类号G03F1/62(20120101);H01L21/027(20060101);
代理机构11280 北京泛华伟业知识产权代理有限公司;
代理人郭广迅
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-18 06:12:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-04
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F1/62 申请公布日:20120718 申请日:20120117
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-09-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/62 申请日:20120117
实质审查的生效
2012-07-18
公开
公开
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