闪烁器-光传感器夹层及其制造方法以及辐射检测器

摘要

本发明涉及闪烁器-光传感器夹层的制造方法、闪烁器-光传感器夹层和带有其的辐射检测器，其中所述闪烁器-光传感器夹层通过如下方法产生：在至少单侧地以第二保护薄膜(1.3)覆盖的粘合剂层(1.2)的侧面上将第一支架(2)粘在所述粘合剂层(1.2)上，其中第一支架(2)的大小在平面内包围了待制造的闪烁器-光传感器夹层；将所述第一支架(2)置于平的支承了第一功能层(3)的底座(9)上；将在该第一支架(2)上绷紧的所述粘合剂层(1.2)和所述第一功能层(3)平面连结；从该粘合剂层(1.2)揭去所述第二保护薄膜(1.3)；和将第二功能层(7)与所述第一功能层(3)通过位于其间的粘合剂层(1.2)连结。

说明书

技术领域

本发明涉及闪烁器-光传感器夹层的制造方法，闪烁器-光传感器夹层和带有闪烁器-光传感器夹层的辐射检测器，其中通过将闪烁器层与光传感器层粘合来制成闪烁器-光传感器夹层。 

背景技术

在制造用于借助离子辐射用于医疗应用或用于NDT(NDT＝Non Destructive Testing＝无损检测)的成像显示的检测器时，将闪烁器、例如布在铝基底或GOS(GOS＝硫氧化钆＝Gd₂O₂S)增强膜上的CsI:Tl，布置在例如CMOS阵列(CMOS＝Complementary Metal Oxide Semiconductor＝互补性氧化金属半导体)或CCD阵列(CCD＝Charge Coupled Device＝电荷耦合器件)的光传感器之上，特别是利用无定形硅技术(a-Si)布置。闪烁器层仅被压上或被粘合。粘合具有的优点是，将更多的光从闪烁器耦合到光传感器内。 

从文献US 2008/0206917 A1中已知了类似于本发明的制造方法、类似的闪烁器-光传感器夹层和类似的辐射检测器。在该文献中，公开了在成像显示中使用在用于离子辐射的辐射检测器内的这样的闪烁器-光传感器夹层的制造过程，其中借助于传递粘性带不使用真空将粘合剂层在光传感器层上层叠，其中在层叠后马上进行的方法步骤中将传递粘性带的保留的保护薄膜从粘合剂层揭去，并且然后在真空下将闪烁器层敷设在提供有粘合剂层的光传感器层上且与之粘合。 

此处的问题是，该公开的加工过程是昂贵的，特别地由于部分地在真空下执行的制造过程。 

发明内容

因此，本发明的任务是：提供X光检测器或X光检测器元件的替代的制造方法，其中，较简单地制成闪烁器层和光传感器层之间的组合。 

根据本发明，例如借助具有由保护层-粘合剂层-选择的保护层构成的层结构的传递粘性带，分为三个步骤来制造用于检测器的闪烁器-光传感器夹层。在第一步骤中，在如需要去除现有的下保护层之后，将剩余的带有粘合剂层的粘性薄膜在支架上层叠，所述支架大于闪烁器或光传感器。在第二步骤中，带有薄膜的支架被放在闪烁器或光传感器之上，并且粘性薄膜被层叠在其上或者被接触，其中在这种情况下该支架用作真空容器。根据本发明，通过同时对闪烁器或光电传感器进行吸入(ansaugen)和平整化(ebnen)的量孔板(Lochboden)，在由支架和薄膜所包围的体积内产生所述真空。在将第二保护薄膜从被支承的闪烁器或光电传感器移除以后，在该支架上粘合第二支架，该第二支架然后被置于光电传感器或闪烁器之上，并且再次被层叠或者优选地在真空中接触。然后，将支架从打包的闪烁器/粘性薄膜/光传感器上进行切断。但也可在第一粘合步骤后将支架移除，并且然后层叠在各相对件上，即层叠在闪烁器或光传感器上。也可通过首先将第二保护薄膜粘在支架上，然后将第二保护薄膜移除，从而在加工步骤中使闪烁器和光传感器层叠。 

在所述的真空解决方法中通过支架得到了相对于现有技术的明显简化。因此也可在真空下简单地形成两个粘合连接，从而避免了气隙。在层叠中，支架提供了在一个加工步骤中粘合两个待连结的功能层的可能性。另外的优点是，可实现封闭的更小的空间，并且有利地使得粘性侧在不揭去保护薄膜时总是指向下方。因此，明显降低了干扰的微粒嵌入在功能层上的可能性。 

补充地指出的是，在本申请的意义中，闪烁器层被理解为基底与沉积在其上的闪烁器材料的组合，所述闪烁器材料例如为CsI:Tl。相应地，在本申请的意义中，光传感器层被理解为逐像素地由光信号产生电子信号的每个层结构。两个层在本申请中概念上被称为“功能层”，所述功能层随后具有将离子辐射转化为光脉冲的功能或记录此光脉冲的功能。 

因此，本发明人建议了应用在用于离子辐射的像素分辨的辐射检测器内的闪烁器-光传感器夹层的制造方法，其中交替地使用闪烁器层或光传感器层作为第一和第二功能层，并且所述方法至少执行如下方法步骤： 

-在至少单侧地以第二保护薄膜覆盖的粘合剂层的侧面上将第一支架粘在所述粘合剂层上，其中第一支架的大小在平面内包围了待制造的闪烁器-光传感器夹层， 

-将第一支架置于平的、支承第一功能层的底座(Unterlage)上， 

-将在第一支架上绷紧的粘合剂层和第一功能层进行平面连结， 

-从粘合剂层揭去第二保护薄膜，和 

-将第二功能层与第一功能层通过位于其间的粘合剂层相连结。 

通过使用该支架，在连接到带有功能层的粘合剂层的至少一个侧时，制造方法明显简化，特别地有利的是粘性层在施加功能层时指向下方，以此对于传感器表面存在明显更低的污染可能性。 

有利地，作为包括单一的保护薄膜和位于其上的粘合剂层的双层传递粘性带的替代，也可使用三层传递粘性带，其中两个保护薄膜之间夹层地容纳(eingebunden)了粘合剂层。在此，在根据本发明的方法中必须在粘上第一支架前从粘合剂层揭去第一保护薄膜。 

另外，粘合剂层与第一功能层的平面连结例如可以通过第二保护薄膜与位于其下方的粘合剂层的滚压 或刮铺 来实施。 

然而，有利的是粘合剂层与第一功能层的平面连结在真空下进行，至少在粘合剂层和第一功能层之间的区域内在真空下进行。 

通过使用支架，在此根据本发明得到了如下有利的可能性，即，使得第一支架以其自由侧被置于在底座的密封的表面上并且位于第一功能层的上方，使得粘合剂层不接触第一功能层，其中形成了封闭的空间，并且然后在第一支架下方产生真空。真空可例如通过经底座的表面内在封闭空间的区域内的开口抽取空气来产生。但替代地也存在如下可能性，即提供自身具有与产生真空的设备的接口的支架，使得对于整个制造过程在其上进行的工作面无需特殊的措施。 

有利地，根据本发明的方法也可扩展为：在从粘合剂层揭去第二保护薄膜后，与第一支架相对地，在粘合剂层的被释放的自由侧面上在粘合剂层上粘上第二支架。 

第二支架然后也可以以其自由侧被置于底座的密封表面上并且位于第二功能层的上方，使得粘合剂层不直接接触第二功能层，其中又实现了新的封闭的空间，并且然后在新的封闭空间内产生了真空。该真空又可通过从封闭空间抽出空气-例如经过用于第二支架的支承表面或也通过支架自身上的相应的真空连接抽出空气-来实现。 

在粘合功能层之后，支架或多个支架连同位于其上(überstehenden)的 粘合剂层分别被从闪烁器-光传感器夹层分离，使得仅留下闪烁器-光传感器夹层作为待制造的产品。 

如果在制造过程中使用两个支架，则有利的是，支架在其大小方面构造为，使得它们在其平面延伸( Ausdehnung)上的投影中是全等的。此外，可以以有利的方式使用这样的支架，其被构造为：在其平面延伸上的投影中为长方形或正方形或椭圆形或圆形。 

最后，还建议使用在其高度上至少部分地构造为弹性的或屈服的至少一个支架，使得只要在支架空间内提供真空，则由于所形成的压力差而使高度降低，并且因此自动地将固定在支架上的粘性层施加到位于其下方的待粘合的功能层上。 

相应地，根据本发明的制造方法通过本发明也要求保护一种闪烁器-光传感器夹层，所述闪烁器-光传感器夹层在前述制造过程之后产生。 

此外，要求保护一种用于成像检查方法的离子辐射的辐射检测器，所述辐射检测器包含至少一个根据本发明所制造的闪烁器-光传感器夹层。 

附图说明

在下文中，将借助于附图进一步描述本发明，其中仅图示了对于理解本发明所必须的特征。使用如下附图标号：1：传递粘性带；1.1：第一保护薄膜；1.2：粘合剂层；1.3：第二保护薄膜；2：第一支架；3：第一功能层；4：真空连接；5：真空泵；6：第二支架；7：第二功能层；8：闪烁器-光传感器夹层；9：底座。 

各图为： 

图1a、图1b至图9a、图9b以单独的方法步骤示出了制造方法的流程，其中以a命名的附图示出了各方法步骤的俯视图，并且以b命名的附图示出了各方法步骤的侧视图。 

具体实施方式

根据本发明的方法的优选实施在图1a、图1b至图9a、图9b中图示。图1a至图9a图示了各俯视图，而图1b至图9b图示了各侧视图。 

在图1a和图1b中示出了传递粘性带1，其中粘合剂层1.2由两个保护薄膜1.1和1.3在双侧覆盖。从该传递粘性带1出发，在图2a和图2b中示 出了第一保护薄膜1.1如何被从粘合剂层1.2揭去，而保护薄膜1.3则保留在粘合剂层1.2上。 

图3a和图3b现在示出了置于粘合剂层1.2上的第一支架2，所述第一支架2负责使得在进一步的加工中，由粘合剂层1.2和第二保护薄膜1.3构成的剩余的传递粘性带维持在限定地延伸的对齐。 

在粘上第一支架2后，包括第一支架2、位于其上的粘合剂层1.2和保护层1.3的整个构造可翻转180度，并且如在图4a和图4b中所示罩在(gestülpt)功能层3的上方，其中带有支承表面的支架气密地封闭，并且在支架上绷紧的粘合剂层1.2则不直接接触功能层3的表面。如果现在通过与真空泵5连接的相应的真空管道4在通过支架界定的空间内产生真空，则粘合剂层1.2略微下降到功能层3的表面上并且与之固定连接。 

在图5a和图5b中可见，第一功能层3已粘附在粘合剂层1.2上。在此粘附发生之后，现在第二保护薄膜1.3可从粘合剂层1.2揭去。然后，如在图6a至图6b中所示，在现在自由的粘合剂层上将第二支架6安放在粘合剂层1.2上，并且然后翻转具有两个全等地布置的支架的整个构造，并且将其定位在第二功能层7的上方。该情况在图7a和图7b中图示。然后，又在第二支架6内产生真空，通过该真空又将粘合剂表面安放在第二功能层7的表面上，并且因此产生功能层7和粘合剂层1.2之间的固定连接。 

在图8a和图8b中最后图示了粘合剂层1.2、粘在其上的支架2和6之间的整个组合，连同图示了在粘合剂层1.2上粘合的功能层3和7。 

最后，在功能层上突出的粘合剂层1.2可连同与之连接的支架2和6被切除，使得出现在图9a和图9b中示出的夹层，所述夹层由第一功能层3连同随后的粘合剂层1.2和第二功能层7构成。 

根据本发明，可选择的使用闪烁器层或光传感器层作为第一功能层，以及相应地使用光传感器层或闪烁器层作为第二功能层，使得最后制成闪烁器-光传感器夹层8，如在图9b中示出。 

总之，因此本发明建议了闪烁器-光传感器夹层的制造方法、闪烁器-光传感器夹层和带有此闪烁器-光传感器夹层的辐射检测器，其中通过如下方法产生闪烁器-光传感器夹层：在至少单侧地以第二保护薄膜覆盖的粘合剂层的侧面上将第一支架粘在所述粘合剂层上，将第一支架置于支承了第一功能层的平的底座上，将在第一支架上绷紧的粘合剂层和第一功能层平面连 结，从粘合剂层揭去第二保护薄膜，并且将第二功能层与第一功能层通过位于其间的粘合剂层连结。 

不言自明的是，不仅在各给出的组合中可使用本发明的前述特征，而且在另外的组合中或分立地可使用，而不脱离本发明的范围。