法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-04-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C28/04 申请公布日:20120725 申请日:20120114
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-09-26
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C28/04 申请日:20120114
实质审查的生效
2012-07-25
公开
公开
机译: 一种制备复合材料的方法,更准确地说是一种纳米多孔体和由此制备的纳米多孔体
机译: 氧化物的制备方法,非晶氧化物膜的沉积方法和非晶钽氧化物膜的沉积方法
机译: 复合材料更具体地,一种制备纳米多孔体的方法和通过该方法制备的纳米多孔体