法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-26
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F1/46 申请公布日:20120711 申请日:20120203
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F1/46 申请日:20120203
实质审查的生效
2012-07-11
公开
公开
机译: 蚀刻酸废液处置系统,蚀刻酸废液处置装置以及可通过蚀刻酸废液处置循环路径连续使用蚀刻酸的蚀刻酸处置方法
机译: 蚀刻酸废液处置系统,蚀刻酸废液处置装置以及适用于该系统和装置的蚀刻酸废液处置方法
机译: 蚀刻酸废液处置系统,蚀刻酸废液处置装置以及适用于该系统和装置的蚀刻酸废液处置方法