法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-15
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C18/30 授权公告日:20130515 终止日期:20151223 申请日:20111223
专利权的终止
2013-05-15
授权
授权
2012-07-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C18/30 申请日:20111223
实质审查的生效
2012-06-13
公开
公开
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