聚二甲基硅氧烷表面应力微薄膜生物传感器制造方法

摘要

本发明公开了一种聚二甲基硅氧烷表面应力微薄膜生物传感器制造方法。以Sylgard 184，Dow Corning为制备聚二甲基硅氧烷微薄膜的原始材料，即基液与固化剂，采用己烷作为稀释剂，按照体积比基液∶固化剂∶己烷＝10∶1∶3的比例，使用一步旋涂工艺6200rpm/132s，成功制备了质地均匀，厚度约1μm的聚二甲基硅氧烷微薄膜作为传感器的传感层，表面蒸镀金膜便于对其进行功能化。本发明制备工艺简单，灵敏度高，能够实现微型化、低成本、批量生产。