含氟环状烯烃聚合物组合物、由该组合物获得的转印体及其制造方法

摘要

本发明的含氟环状烯烃聚合物组合物含有含通式(1)所表示的重复结构单元且氟原子含有率为40～75质量％的含氟环状烯烃聚合物(A)、光固化性化合物(B)和光固化引发剂(C)。

说明书

技术领域

本发明涉及含氟环状烯烃聚合物组合物、使用该组合物而形成的具有所希 望的微细图案的转印体及其制造方法。

背景技术

具有微细图案的树脂成型体可以用作光学元件(微透镜阵列、光波导、光 开关、菲涅耳环板、二元光学元件、闪耀光学元件、光子晶体等)、抗反射滤 光片、生物芯片、微反应器芯片、记录介质、显示器材料、催化剂载体等。近 年来，在设备小型化等要求的同时，也要求其图案更加微细化。作为这种在表 面上具有微细结构的树脂成型体的制造方法，已经提出了将具有微细图案的模 具的图案转印到树脂上，从而制造形成有微细图案的转印体的方法，即所谓的 纳米压印法(例如，专利文献1、专利文献2)。此外，在半导体制造工序中， 作为替代照相平版印刷法的方法，已提出了在硅基板上涂布抗蚀剂，并压合形 成有微细图案的模具，从而将微细图案转印到抗蚀剂上的纳米压印法(例如， 专利文献3、专利文献4)。

但是，上述任一种纳米压印法都存在如下问题：在使模具脱离的工序中， 模具无法平滑脱离，转印体上的微细图案的形状精度降低。因此，为了使模具 平滑脱离，已尝试了在模具表面上涂布脱模剂的方法。这时，存在因脱模剂层 的膜厚不均而导致模具的图案精度降低的问题，此外，随着连续使用模具，脱 模剂层变薄，需要在模具上再涂布脱模剂，从而存在使生产率下降的问题。

为了解决这些问题，已经提出了将表面能不足约30dyn/cm的非粘着性材 料作为模具材料的方法(专利文献5)。作为非粘着性的材料，可以列举氟化 乙烯丙烯共聚物、四氟乙烯聚合物等氟聚合物，氟化硅氧烷聚合物、硅酮等。

但是，专利文献5中所述的方法是将由非粘着性材料组成的模具或负片的 图案压印在形成于基板上的光固化性或热固化性的薄膜上的方法。即，使用模 具或负片作为平版印刷工具。在专利文献5中，主要着眼于非粘着性材料作为 脱模剂的作用。另外，使用硅酮的模具的弹性模量低，难以正确地转印图案形 状。

此外，在专利文献6中，公开了一种在转印层上形成图案的方法，其由以 下工序构成：将由含有含氟聚合物的含氟量为35质量％以上的含氟聚合物的 热塑性树脂形成的转印层和具有所希望图案的反转图案的模具进行压合，从而 在该转印层上形成所希望的图案的工序；以及使该模具从该转印层上脱离的工 序。据记载，该方法的转印层脱离性优异，可以形成微细图案。作为含氟聚合 物，可以例示聚四氟乙烯、1，1，1-三氟-2-三氟甲基戊烯-2-醇共聚物、全 氟环状醚聚合物(商品名CYTOP(注册商标))、氯三氟乙烯和乙烯基醚的共 聚物(商品名LUMIFLON(注册商标))等。

然而，当这些聚合物的含氟量为60质量％以下时，如果超过玻璃化温度， 则弹性模量急剧下降，此外，如果在压合成型后进行急冷，则由于已下降的弹 性模量而导致收缩率变大，结果导致凸结构的深度、宽度、间隔的尺寸精度低， 产生大的尺寸偏差。另外，对于即使含氟量为60质量％以上也显示出高熔点 温度(Tm)的聚四氟乙烯之类的氟系树脂，需要将成型温度设定得非常高， 在加热、冷却的过程中，弹性模量和收缩率之差进一步扩大，从而使得凸结构 的模具和成型物的尺寸产生显著的偏差。此外，必须在超过很可能由氟系树脂 分解而产生氟化氢气体的温度即260℃的300℃以上的加热温度下进行压合， 从而产生模具和周边设备的腐蚀以及环境污染等问题。

对于前述所提出的使用压合加热成型的压印法，为了得到大面积的转印 体，需要在大面积上均匀施加高压力，从而需要大型加热压合成型机，因此在 工业上能够实施的转印体的面积有限，得到大面积的转印体存在极大的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2004-504718号公报

专利文献2：日本特表2002-539604号公报

专利文献3：日本特开2000-323461号公报

专利文献4：日本特开2003-155365号公报

专利文献5：日本特表2005-515617号公报

专利文献6：日本特开2006-54300号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明目的在于提供一种通过使用含有特定的含氟环状烯烃聚合物、光固 化性化合物和光固化引发剂的含氟环状烯烃聚合物组合物，使在纳米压印转印 体的制造工序的加热、冷却、光照射固化过程中的树脂的弹性模量和收缩率的 变化最优化，从而以高尺寸精度转印有模具表面的微细图案的转印体。另外， 其目的在于提供一种通过使用该含氟环状烯烃聚合物组合物，从而具有高表面 硬度的转印体。其目的还在于提供一种能够以高尺寸精度高效地制造转印体， 从而能够通过简单的工序得到大面积转印体的转印体的制造方法，以及通过使 用该转印体作为复制模具，从而制造在光固化树脂的表面上转印有微细图案的 固化物的方法。

解决问题的方法

本发明如下所述。

(1)一种含氟环状烯烃聚合物组合物，其含有含通式(1)所表示的重复 结构单元且氟原子含有率为40～75质量％的含氟环状烯烃聚合物(A)、光固 化性化合物(B)和光固化引发剂(C)。

化1

(式(1)中，R¹～R⁴中的至少一个为氟、含氟的碳原子数为1～10的烷 基、含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数为2～10的烷氧基 烷基。当R¹～R⁴为不含氟的基团时，R¹～R⁴选自氢、碳原子数为1～10的烷 基、碳原子数为1～10的烷氧基、或碳原子数为2～10的烷氧基烷基。R¹～ R⁴可以相同，也可以不同。R¹～R⁴也可以相互结合而形成环结构。)

(2)如(1)所述的含氟环状烯烃聚合物组合物，其特征在于，前述含氟 环状烯烃聚合物(A)和前述光固化性化合物(B)的质量比(A)/(B)为 99.9/0.1～80/20的范围。

(3)如(1)或(2)所述的含氟环状烯烃聚合物组合物，其中前述光固 化性化合物(B)是具有3官能以上的反应性双键基团的(甲基)丙烯酸酯单 体、和/或具有3官能以上的能够进行阳离子聚合的开环聚合性连接基团的环 氧单体。

(4)如(1)至(3)任一项所述的含氟环状烯烃聚合物组合物，其特征 在于，在频率为1Hz、升温速度为3℃/分钟的拉伸模式固体粘弹性测定中的前 述含氟环状烯烃聚合物(A)的储能模量或损耗模量，具有对于在玻璃化温度 以上的温度区域中的温度变化在-1～0MPa/℃的范围内变化的区域。

(5)如(1)至(4)任一项所述的含氟环状烯烃聚合物组合物，其特征 在于，前述含氟环状烯烃聚合物(A)在玻璃化温度以上的温度区域中的储能 模量或损耗模量的前述变化区域位于0.1MPa以上的储能模量区域或损耗模量 区域。

(6)如(1)至(5)任一项所述的含氟环状烯烃聚合物组合物，其特征 在于，前述含氟环状烯烃聚合物(A)由前述通式(1)所表示的重复结构单 元[I]和通式(2)所表示的重复结构单元[II]构成，其摩尔比为[I]/[II]＝95/5～ 25/75，并且氟原子含有率为40～75质量％。

化2

(式(2)中，R⁵～R⁸中的至少一个为氟、含氟的碳原子数为1～10的烷 基、含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数为2～10的烷氧基 烷基。当R⁵～R⁸为不含氟的基团时，R⁵～R⁸选自氢、碳原子数为1～10的烷 基、碳原子数为1～10的烷氧基、或碳原子数为2～10的烷氧基烷基。R⁵～ R⁸可以相同，也可以不同。R⁵～R⁸也可以相互结合而形成环结构。n表示1 或2的整数。)

(7)一种转印体，其为转印有模具表面的微细图案的转印体，其含有含 通式(1)所表示的重复结构单元且氟原子含有率为40～75质量％的含氟环状 烯烃聚合物(A)、光固化性化合物(B)和光固化引发剂(C)。

化3

(式(1)中，R¹～R⁴中的至少一个为氟、含氟的碳原子数为1～10的烷 基、含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数为2～10的烷氧基 烷基。当R¹～R⁴为不含氟的基团时，R¹～R⁴选自氢、碳原子数为1～10的烷 基、碳原子数为1～10的烷氧基、或碳原子数为2～10的烷氧基烷基。R¹～ R⁴可以相同，也可以不同。R¹～R⁴也可以相互结合而形成环结构。)

(8)如(7)所述的转印体，其特征在于，前述含氟环状烯烃聚合物(A) 和前述光固化性化合物(B)的质量比(A)/(B)为99.9/0.1～80/20的范围。

(9)如(7)或(8)所述的转印体，其特征在于，在频率为1Hz、升温 速度为3℃/分钟的拉伸模式固体粘弹性测定中的前述含氟环状烯烃聚合物 (A)的储能模量或损耗模量，具有对于在玻璃化温度以上的温度区域中的温 度变化在-1～0MPa/℃的范围内变化的区域。

(10)如(7)至(9)任一项所述的转印体，其特征在于，前述含氟环状 烯烃聚合物(A)在玻璃化温度以上的温度区域中的储能模量或损耗模量的前 述变化区域位于0.1MPa以上的储能模量区域或损耗模量区域。

(11)如(7)至(10)任一项所述的转印体，其特征在于，前述含氟环 状烯烃聚合物(A)由前述通式(1)所表示的重复结构单元[I]和通式(2)所 表示的重复结构单元[II]构成，其摩尔比为[I]/[II]＝95/5～25/75，并且氟原子含 有率为40～75质量％。

化4

(式(2)中，R⁵～R⁸中的至少一个为氟、含氟的碳原子数为1～10的烷 基、含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数为2～10的烷氧基 烷基。当R⁵～R⁸为不含氟的基团时，R⁵～R⁸选自氢、碳原子数为1～10的烷 基、碳原子数为1～10的烷氧基、或碳原子数为2～10的烷氧基烷基。R⁵～ R⁸可以相同，也可以不同。R⁵～R⁸也可以相互结合而形成环结构。n表示1 或2的整数。)

(12)一种转印有模具的微细图案的转印体的制造方法，其包括：

使(1)至(6)任一项所述的含氟环状烯烃聚合物组合物与表面上具有微 细图案的模具表面接触的工序；和

对前述组合物进行加热，接着照射光，从而使该组合物固化的工序。

(13)如(12)所述的转印体的制造方法，其中使前述含氟环状烯烃聚合 物组合物与模具表面接触的前述工序包括在表面上具有微细图案的模具表面 上涂布该组合物的工序。

(14)一种转印有模具的微细图案的转印体的制造方法，其包括：

将(1)至(6)任一项所述的含氟环状烯烃聚合物组合物涂布在支持体上， 从而形成涂布膜的工序；

用具有微细图案的模具表面按压前述涂布膜的上表面的工序；和

对被前述模具表面按压后的前述涂布膜进行加热，接着照射光，从而使该 涂布膜固化的工序。

(15)一种固化物的制造方法，其为使用(7)至(11)任一项所述的转 印体作为模具的固化物的制造方法，其特征在于，具有：

使前述转印体的具有微细图案的面与光固化性单体组合物接触的工序；

对前述光固化性单体组合物照射光，从而使其固化，得到固化物的工序； 和

使前述固化物从前述转印体上脱模的工序。

(16)一种转印用树脂组合物，其为用于得到转印有模具表面的微细图案 的转印体的转印用树脂组合物，其含有含通式(1)所表示的重复结构单元且 氟原子含有率为40～75质量％的含氟环状烯烃聚合物(A)、光固化性化合物 (B)和光固化引发剂(C)。

化5

(式(1)中，R¹～R⁴中的至少一个为氟、含氟的碳原子数为1～10的烷 基、含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数为2～10的烷氧基 烷基。当R¹～R⁴为不含氟的基团时，R¹～R⁴选自氢、碳原子数为1～10的烷 基、碳原子数为1～10的烷氧基、或碳原子数为2～10的烷氧基烷基。R¹～ R⁴可以相同，也可以不同。R¹～R⁴也可以相互结合而形成环结构。)

(17)如(16)所述的转印用树脂组合物，其特征在于，前述含氟环状烯 烃聚合物(A)和前述光固化性化合物(B)的质量比(A)/(B)为99.9/0.1～ 80/20的范围。

(18)如(16)或(17)所述的转印用树脂组合物，其特征在于，在频率 为1Hz、升温速度为3℃/分钟的拉伸模式固体粘弹性测定中的前述含氟环状烯 烃聚合物(A)的储能模量或损耗模量，具有对于在玻璃化温度以上的温度区 域中的温度变化在-1～0MPa/℃的范围内变化的区域。

(19)如(16)至(18)任一项所述的转印用树脂组合物，其特征在于， 前述含氟环状烯烃聚合物(A)在玻璃化温度以上的温度区域中的储能模量或 损耗模量的前述变化区域位于0.1MPa以上的储能模量区域或损耗模量区域。

(20)如(16)至(19)任一项所述的转印用树脂组合物，其特征在于， 前述含氟环状烯烃聚合物(A)由前述通式(1)所表示的重复结构单元[I]和 通式(2)所表示的重复结构单元[II]构成，其摩尔比为[I]/[II]＝95/5～25/75， 并且氟原子含有率为40～75质量％。

化6

(式(2)中，R⁵～R⁸中的至少一个为氟、含氟的碳原子数为1～10的烷 基、含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数为2～10的烷氧基 烷基。当R⁵～R⁸为不含氟的基团时，R⁵～R⁸选自氢、碳原子数为1～10的烷 基、碳原子数为1～10的烷氧基、或碳原子数为2～10的烷氧基烷基。R⁵～ R⁸可以相同，也可以不同。R⁵～R⁸也可以相互结合而形成环结构。n表示1 或2的整数。)

在本发明中，微细图案是指具有凸部和凹部、凸部和/或凹部的宽度为 10nm～50μm、凹部的深度为30nm～50μm、凸部的宽度和凹部的深度之比的 纵横比为0.1～500的结构。

在本发明中，“使包含聚合物组合物和有机溶剂的溶液与表面上具有微细 图案的模具表面接触”还包括如下任一情况：在形成有微细图案的模具表面上 涂布包含聚合物组合物和有机溶剂的溶液的情况；将溶液涂布在支持体(基材) 上，然后用形成有微细图案的模具表面按压涂布层的上表面的情况。此外，“使 转印体的具有微细图案的表面与光固化性单体组合物接触”的情况也是同样 的。

发明效果

根据本发明，由于使用了在主链上具有烃结构、在侧链上具有含氟脂肪族 环结构的特定含氟环状烯烃聚合物，因此可以在分子间或分子内形成氢键。另 外，由于使用了光固化性化合物和光固化引发剂，因此在照射光而使其固化后， 可以在转印体的内部和表面上形成三维网状结构。通过这些作用，可以在使纳 米压印转印体的制造工序的加热、冷却、光照射固化过程中的树脂的弹性模量 和收缩率的变化最优化的同时进一步改善硬度。因此，根据本发明的含有光固 化性化合物和光聚合引发剂的含氟环状烯烃聚合物组合物，能够以高尺寸精度 转印模具表面的微细图案从而形成具有高表面硬度的、在表面上具有微细图案 的转印体，并且能够通过简单的工序得到大面积的转印体。该转印体的脱离性 优异，生产效率也高，具有工业价值。

附图说明

[图1]表示在113℃～152℃的温度区域中具有平缓的储能模量或损耗模量 的变化区域的、实施例1中所得的含氟环状烯烃聚合物在拉伸模式下所测定的 固体粘弹性模量的变化。

具体实施方式

本发明的含氟环状烯烃聚合物组合物(转印用树脂组合物)含有含氟环状 烯烃聚合物(A)、光固化性化合物(B)和光固化引发剂(C)。

<含氟环状烯烃聚合物(A)>

含氟环状烯烃聚合物(A)含有通式(1)所表示的重复结构单元且氟原 子含有率为40～75质量％。

化7

式(1)中，R¹～R⁴中的至少一个为氟、含氟的碳原子数为1～10的烷基、 含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数为2～10的烷氧基烷基。 当R¹～R⁴为不含氟的基团时，R¹～R⁴选自氢、碳原子数为1～10的烷基、碳 原子数为1～10的烷氧基、或碳原子数为2～10的烷氧基烷基。R¹～R⁴可以 相同，也可以不同。R¹～R⁴也可以相互结合而形成环结构。

更详细来说，在通式(1)中，R¹～R⁴可以例示：氟；或氟甲基、二氟甲 基、三氟甲基、三氟乙基、五氟乙基、七氟丙基、六氟异丙基、七氟异丙基、 六氟-2-甲基异丙基、全氟-2-甲基异丙基、全氟正丁基、全氟正戊基、全 氟环戊基等烷基的一部分氢或全部氢被氟取代的碳原子数为1～10的烷基；氟 甲氧基、二氟甲氧基、三氟甲氧基、三氟乙氧基、五氟乙氧基、七氟丙氧基、 六氟异丙氧基、七氟异丙氧基、六氟-2-甲基异丙氧基、全氟-2-甲基异丙 氧基、全氟正丁氧基、全氟正戊氧基、全氟环戊氧基等烷氧基的一部分氢或全 部氢被氟取代的碳原子数为1～10的烷氧基；氟甲氧基甲基、二氟甲氧基甲基、 三氟甲氧基甲基、三氟乙氧基甲基、五氟乙氧基甲基、七氟丙氧基甲基、六氟 异丙氧基甲基、七氟异丙氧基甲基、六氟-2-甲基异丙氧基甲基、全氟-2 -甲基异丙氧基甲基、全氟正丁氧基甲基、全氟正戊氧基甲基、全氟环戊氧基 甲基等烷氧基的一部分氢或全部氢被氟取代的碳原子数为2～10的烷氧基烷 基等。

此外，R¹～R⁴可以相互结合而形成环结构，也可以形成全氟环烷基、间 隔氧的全氟环醚等的环。

另外，不含氟的其它R¹～R⁴可以例示：氢；或甲基、乙基、丙基、异丙 基、2-甲基异丙基、正丁基、正戊基、环戊基等碳原子数为1～10的烷基； 甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、戊氧基等碳原子数为1～10的烷氧基；甲 氧基甲基、乙氧基甲基、丙氧基甲基、丁氧基甲基、戊氧基甲基等碳原子数为 2～10的烷氧基烷基。

在本发明中，含氟环状烯烃聚合物(A)可以仅由通式(1)所表示的重 复结构单元构成，也可以由通式(1)的R¹～R⁴中至少一个彼此不同的两种以 上结构单元构成。

另外，在本发明中，作为含有通式(1)所表示的重复结构单元的含氟环 状烯烃聚合物(A)的具体例子，可以列举：聚(1-氟-2-三氟甲基-3，5 -亚环戊基乙烯)、聚(1-氟-1-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1- 甲基-1-氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1-二氟-2-三氟 甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙 烯)、聚(1-全氟乙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1-二(三氟甲基)-3，5 -亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚 (1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟丙基-3，5-亚环 戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基 -2-全氟丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异丙基-3，5-亚环戊基 乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟-异丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二 氟-1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2，2，3，3，3a，6a-八氟 环戊基-4，6-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2，2，3，3，4，4，3a，7a-十氟环己基-5，7- 亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异 丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-叔丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚 (1-甲基-2-全氟-异丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2-全氟 -异丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟乙基 -3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(1-三氟甲基-2，2，3，3，4，4，5，5-八氟-环戊 基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚((1，1，2-三氟-2-全氟丁基)-3，5-亚环戊 基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、 聚(1-氟-1-全氟乙基-2，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2 -二氟-1-全氟丙基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟己 基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、 聚(1-丁基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-己基-2-全氟己 基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-辛基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、 聚(1-全氟庚基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟辛基-3，5-亚环戊基乙 烯)、聚(1-全氟癸基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-全氟戊基- 3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟丁基-3，5-亚 环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2- 二氟-1-三氟甲基-2-全氟戊基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(全氟 丁基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(全氟己基)-3，5-亚环戊基乙 烯)、聚(1-甲氧基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-叔丁氧基 甲基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，3，3，3a，6a-六氟呋喃基- 3，5-亚环戊基乙烯)。

另外，在本发明中，作为含有通式(1)所表示的重复结构单元的含氟环 状烯烃聚合物(A)的具体例子，可以列举：聚(1-氟-2-三氟甲基-3，5 -亚环戊基乙烯)、聚(1-氟-1-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1- 甲基-1-氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1-二氟-2-三氟 甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙 烯)、聚(1-全氟乙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1-二(三氟甲基)-3，5 -亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚 (1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟丙基-3，5-亚环 戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基 -2-全氟丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异丙基-3，5-亚环戊基 乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟-异丙基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二 氟-1，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2，2，3，3，3a，6a-八氟 环戊基-4，6-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2，2，3，3，4，4，3a，7a-十氟环己基-5，7- 亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异 丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-叔丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚 (1-甲基-2-全氟-异丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2-全氟 -异丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟乙基 -3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(1-三氟甲基-2，2，3，3，4，4，5，5-八氟-环戊 基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚((1，1，2-三氟-2-全氟丁基)-3，5-亚环戊 基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟丁基-3，5-亚环戊基乙烯)、 聚(1-氟-1-全氟乙基-2，2-二(三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2 -二氟-1-全氟丙基-2-三氟甲基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟 己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基乙 烯)、聚(1-丁基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-己基-2- 全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-辛基-2-全氟己基-3，5-亚环戊基 乙烯)、聚(1-全氟庚基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟辛基-3，5-亚 环戊基乙烯)、聚(1-全氟癸基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-全 氟戊基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟丁基- 3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-全氟己基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚 (1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟戊基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2- 二(全氟丁基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(全氟己基)-3，5-亚 环戊基乙烯)、聚(1-甲氧基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1- 叔丁氧基甲基-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，3，3，3a，6a-六氟 呋喃基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-氟-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙 烯)、聚(1-氟-1-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-1- 氟-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1-二氟-2-三氟甲氧基- 3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、 聚(1-全氟乙氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1-二(三氟甲氧基)-3，5 -亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、 聚(1，2-二(三氟甲氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟丙氧基-3，5 -亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟丙氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚 (1-丁基-2-全氟丙氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异丙氧基 -3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟-异丙氧基-3，5-亚环戊基乙 烯)、聚(1，2-二氟-1，2-二(三氟甲氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1 -全氟丁氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟-异丁氧基-3，5-亚环戊 基乙烯)、聚(1-全氟-叔丁氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2- 全氟-异丁氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2-全氟-异丁氧基- 3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲氧基-2-全氟乙氧基-3，5 -亚环戊基乙烯)、聚((1，1，2-三氟-2-全氟丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、 聚(1，2-二氟-1-三氟甲氧基-2-全氟丁氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1 -氟-1-全氟乙氧基-2，2-二(三氟甲氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2 -二氟-1-全氟丙氧基-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全 氟己氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2-全氟己氧基-3，5-亚环戊 基乙烯)、聚(1-丁基-2-全氟己氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-己基 -2-全氟己氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-辛基-2-全氟己氧基-3，5 -亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟庚氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟 辛氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-全氟癸氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚 (1，1，2-三氟-全氟戊氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟 甲氧基-2-全氟丁氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-2-全氟己 氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲氧基-2-全氟戊基- 3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二(全氟丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚 (1，2-二(全氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲氧基-2-三氟甲 氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-叔丁氧基甲基-2-三氟甲氧基-3，5-亚 环戊基乙烯)、聚(1-(2’，2’，2’，-三氟乙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1 -(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-2- (2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁基-2- (2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(1’，1’，1’-三 氟-异丙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-甲基-(1’，1’，1’-三氟-异 丙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基) -3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-(1’，1’，1’-三氟-异丁氧基)-3，5-亚环戊 基乙烯)、聚(1-(1’，1’，1’-三氟-异丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1 -甲基-2-(1’，1’，1’-三氟-异丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-丁 基-2-(1’，1’，1’-三氟-异丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟 -1-三氟甲氧基-2-(2’，2’，2’-三氟乙氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚 (1，1，2-三氟-2-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、 聚(1，2-二氟-1-三氟甲氧基-2-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-3，5 -亚环戊基乙烯)、聚(1-氟-1-(2’，2’，2’，-三氟乙氧基)-2，2-二(三氟 甲氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙 氧基)-2-三氟甲氧基-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1 -甲基-2-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-3，5-亚环戊基 乙烯)、聚(1-丁基-2-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)- 3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-己基-2-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一 氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1-辛基-2- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1 -(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，7’-十三氟庚氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、 聚(1-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，8’，8’，8’-十五氟辛氧基)-3，5-亚环 戊基乙烯)、聚(1-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，8’，8’，9’，9’，9’-十七氟癸 氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟-2-(1’，1’，1’-三氟-异丙 氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二氟-1-三氟甲氧基-2- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，1，2-三氟- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2 -二(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)、聚(1，2-二 (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-3，5-亚环戊基乙烯)等。

此外，在本发明中，具有通式(1)所表示的重复结构单元[I]和下述通式 (2)所表示的重复结构单元[II]的含氟环状烯烃共聚物中，结构单元[I]和结构 单元[II]的摩尔比为[I]/[II]＝95/5～25/75，并且氟原子含有率为40～75质量％。 另外，结构单元[I]不含通式(2)所表示的重复结构单元。

由此可以得到在维持良好的脱模性的同时提高膜的耐热性、且改善了膜表 面的损伤性的转印体。就作为表示膜耐热性指标的玻璃化温度而言，通过导入 通式(2)所表示的结构单元[II]的刚性的脂肪族环结构，与仅有通式(1)所 表示的结构单元[I]的情况相比，加热下聚合物的流动性降低，在不损害含氟聚 合物特性的情况下玻璃化温度上升，从而可以提高膜的耐热性。

另外，在以下的说明中，在没有特别记载的情况下，含氟环状烯烃聚合物 (A)可以包括含氟环状烯烃共聚物。

此外，就含有通式(1)所表示的重复结构单元[I]和下述通式(2)所表示 的重复结构单元[II]的含氟环状烯烃共聚物而言，通过导入重复结构单元[II]的 刚性的环结构，可以改善铅笔硬度之类的表面硬度，从而可以改善膜表面的损 伤性。如果达不到[I]/[II]＝95/5，则耐热性的提高效果和膜表面损伤性的改善效 果低，该摩尔比进一步优选为[I]/[II]＝90/10～25/75。

化8

式(2)中，R⁵～R⁸中的至少一个为氟、含氟的碳原子数为1～10的烷基、 含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数为2～10的烷氧基烷基。 当R⁵～R⁸为不含氟的基团时，R⁵～R⁸选自氢、碳原子数为1～10的烷基、碳 原子数为1～10的烷氧基、或碳原子数为2～10的烷氧基烷基。R⁵～R⁸可以 相同，也可以不同。R⁵～R⁸也可以相互结合而形成环结构。n表示1或2的整 数。

在本发明中，含氟环状烯烃共聚物中，通式(1)所表示的重复结构单元 的R¹～R⁴和通式(2)所表示的重复结构单元的R⁵～R⁸可以相同，也可以不 同，此外，R¹～R⁴或R⁵～R⁸可以分别由彼此不同的两种以上结构单元构成。

在本发明中，作为含有通式(2)所表示的重复结构单元的含氟环状烯烃 共聚物的具体例子，可以列举：聚(3-氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5] 亚癸基乙烯)、聚(3-氟-3-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、 聚(3-甲基-3-氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，3 -二氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-4 -三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟乙基-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，3-二(三氟甲基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸 基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-4-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、 聚(3，4-二-三氟甲基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟丙基- 7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全氟丙基-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-丁基-4-全氟丙基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚 癸基乙烯)、聚(3-全氟-异丙基-7，9-三环[4.3.0.11^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3 -甲基-9-全氟-异丙基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟 -3，4-二(三氟甲基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(2，3，3，4，4，5，5，6 -八氟-9，11-四环[5.5.1.0^2，6.0^8，12]亚十三烷基乙烯)、聚(2，3，3，4，4，5，5，6，6，7- 十氟-10，12-四环[6.5.1.0^2，7.0^9，13]亚十四烷基乙烯)、聚(3-全氟丁基-7，9- 三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟异丁基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基 乙烯)、聚(3-全氟叔丁基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基 -4-全氟叔丁基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-丁基-4-全氟 叔丁基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二甲基-3-全氟叔丁基 -7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-4-全氟丁基-7，9-三 环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲基-4-全氟丁基-7，9 -三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-氟-3-全氟乙基-4，4-二(三氟甲基) -7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-全氟丙基-4-三氟 甲基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟己基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5] 亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全氟己基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、 聚(3-丁基-4-全氟己基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-己基 -4-全氟己基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-辛基-4-全氟己 基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟庚基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5] 亚癸基乙烯)、聚(3-全氟癸基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4 -三氟-4-全氟戊基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3 -三氟甲基-4-全氟丁基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三 氟-3-全氟己基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三 氟甲基-4-全氟戊基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(全氟 丁基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(全氟己基)-7，9- 三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-甲氧基-4-三氟甲基-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-叔丁氧基甲基-4-三氟甲基-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(4-氟-5-三氟甲基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-氟-5-三氟甲基- 10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4-二氟-5-三氟甲 基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟乙基-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4-二(三氟甲基)-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-5-三氟甲基- 10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(三氟甲基)- 10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟丙基-10，12- 五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-全氟丙基-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-全氟丙基-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5-全氟丙基-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟异丙基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-全氟异丙基-10，12- 五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4，5-二(三氟甲基) -10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(3，4，4，5，5，6，6，7-八氟 -12，14-六环[7.7.0.1^2，8.1^10，16.0^3，7.0^11，15]亚十八烷基乙烯)、聚(3，4，4，5，5，6，6，7，7，8 -十氟-13，15-六环[8.7.0.1^2，9.1^11，17.0^3，8.0^12，16]亚十九烷基乙烯)、聚(4-全氟 丁基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟异丁基- 10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-叔丁基- 10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5-叔丁基- 10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-甲基-4-叔丁基 -10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-6-全氟 丁基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，6-二氟-4- 三氟甲基-5-全氟丁基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚 (4-氟-4-全氟乙基-5，5-二(三氟甲基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6] 亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-全氟丙基-5-三氟甲基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟己基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-全氟己基-10，12-五 环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5-全氟己基-10，12- 五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-己基-5-全氟己基-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-辛基-5-全氟己基-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟庚基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟辛基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟癸基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-6-全氟戊基-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲基-6 -全氟丁基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三 氟-12-全氟己基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5 -二氟-4-三氟甲基-5-全氟戊基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五 烷基乙烯)、聚(4，4，5-三(三氟甲基)-5-全氟-叔丁基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(全氟己基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲氧基-5-三氟甲基-10，12- 五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(3-氟-4-三氟甲氧基-7，9- 三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-氟-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5] 亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-3-氟-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚 癸基乙烯)、聚(3，3-二氟-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙 烯)、聚(3，4-二氟-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚 (3-全氟乙氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-4-三 氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(三氟甲氧基)- 7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟丙氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5] 亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全氟丙氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙 烯)、聚(3-丁基-4-全氟丙氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3 -全氟异丙氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全氟异 丙氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3，4-二(三氟甲 氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟丁氧基-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟异丁氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙 烯)、聚(3-全氟叔-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全 氟异丁氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-丁基-4-全氟异丁氧 基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲氧基-4- 全氟乙氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚((3，3，4-三氟-4-全氟丁 氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲氧基- 4-全氟丁氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-氟-3-全氟乙氧 基-2，2-二(三氟甲氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二 氟-3-全氟丙氧基-4-三氟甲氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚 (3-全氟己氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-甲基-4-全氟 己氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-丁基-4-全氟己氧基-7，9 -三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-己基-4-全氟己氧基-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-辛基-4-全氟己氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5] 亚癸基乙烯)、聚(3-全氟庚氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3 -全氟辛氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-全氟癸氧基-7，9- 三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-全氟戊氧基-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲氧基-4-全氟丁氧基-7，9 -三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-4-全氟己氧基-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲氧基-4-全氟戊基-7，9 -三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(全氟丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5] 亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(全氟己氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、 聚(3-甲氧基-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3- 叔丁氧基甲基-4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3- (2’，2’，2’，-三氟乙氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3- (2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-甲 基-4-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚 (3-丁基-4-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙 烯)、聚(3-(1’，1’，1’-三氟异丙氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、 聚(3-甲基-(1’，1’，1’-三氟异丙氧基)-7，9-三环[4.3.0.11^2，5]亚癸基乙烯)、 聚(3-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、 聚(3-(1’，1’，1’-三氟异丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3 -(1’，1’，1’-三氟异丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-甲 基-4-(1’，1’，1’-三氟异丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3 -丁基-4-(1’，1’，1’-三氟异丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、 聚(3，4-二氟-3-三氟甲氧基-4-(2’，2’，2’-三氟乙氧基)-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧 基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲氧基-4 -(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚 (3-氟-3-(2’，2’，2’，-三氟乙氧基)-4，4-二(三氟甲氧基)-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)- 4-三氟甲氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基 乙烯)、聚(3-甲基-4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)- 7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-丁基-4- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基 乙烯)、聚(3-己基-4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)- 7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-辛基-4- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基 乙烯)、聚(3-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，7’-十三氟庚氧基)-7，9-三 环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，8’，8’，8’- 十五氟辛氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，8’，8’，9’，9’，9’-十七氟癸氧基)-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，3，4-三氟-4-(1’，1’，1’-三氟异丙氧基)- 7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二氟-3-三氟甲氧基-4- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚 (3，3，4-三氟-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-7，9-三环 [4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-7，9 -三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(3，4-二(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十 一氟己氧基)-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(4-氟-5-三氟甲氧基 -10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-氟-5-三氟甲氧 基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-4-氟-5 -三氟甲氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4-二 氟-5-三氟甲氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5 -二氟-5-三氟甲氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚 (4-全氟乙氧基-7，9-三环[4.3.0.1^2，5]亚癸基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-5-三 氟甲氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(三 氟甲氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟丙 氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-全 氟丙氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5 -全氟丙氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟 异丙氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5 -全氟异丙氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5- 二氟-4，5-二(三氟甲氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙 烯)、聚(4-全氟丁氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、 聚(4-全氟-异丁氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚 (4-全氟叔-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基 -5-全氟异丁氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4 -丁基-5-全氟异丁氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、 聚(4，5-二氟-4-三氟甲氧基-5-全氟乙氧基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚((4，4，5-三氟-5-全氟丁氧基)- 10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲 氧基-5-全氟丁氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4 -氟-4-全氟乙氧基-5，5-二(三氟甲氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6] 亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-全氟丙氧基-5-三氟甲氧基-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟己氧基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-全氟己氧基-10，12- 五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5-全氟己氧基-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-己基-5-全氟己氧基- 10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-辛基-5-全氟己氧 基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟庚氧基- 10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟辛氧基-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-全氟癸氧基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-全氟戊氧基-10，12- 五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲氧基-5 -全氟丁氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5- 三氟-5-全氟己氧基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚 (4，5-二氟-4-三氟甲氧基-5-全氟戊基-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6] 亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(全氟丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6] 亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(全氟己氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6] 亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲氧基-5-三氟甲氧基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-叔丁氧基甲基-5-三氟甲氧基 -10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-(2’，2’，2’，-三氟 乙氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4- (2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙 烯)、聚(4-甲基-5-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟 丙氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-(1’，1’，1’ -三氟异丙氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4 -甲基-(1’，1’，1’-三氟异丙氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷 基乙烯)、聚(4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-(1’，1’，1’-三氟异丁氧基)-10，12 -五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-(1’，1’，1’-三氟异丁氧基) -10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5-(1’，1’，1’ -三氟异丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4 -丁基-5-(1’，1’，1’-三氟异丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十 五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲氧基-5-(2’，2’，2’-三氟乙氧基) -10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-5- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷 基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-三氟甲氧基-4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧 基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-氟-4-(2’，2’，2’， -三氟乙氧基)-5，5-二(三氟甲氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚 十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟-4-(2’，2’，3’，3’，3’-五氟丙氧基)-5-三氟 甲氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-甲基-5- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-丁基-5- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-己基-5- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-辛基-5- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，7’ -十三氟庚氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4 -(2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，8’，8’，8’-十五氟辛氧基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，7’，7’，8’，8’，9’，9’，9’-十七氟癸氧基-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟-5-(1’，1’，1’-三氟- 异丙氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二氟 -4-三氟甲氧基-5-(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁氧基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，4，5-三氟- (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二(2’，2’，3’，3’，4’，4’，4’-七氟丁 氧基)-10，12-五环[6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)、聚(4，5-二 (2’，2’，3’，3’，4’，4’，5’，5’，6’，6’，6’-十一氟己氧基)-10，12-五环 [6.5.1.0^2，7.0^9，13.1^3，6]亚十五烷基乙烯)等。

此外，只要在不损害本发明效果的范围内，则除了通式(1)和通式(2) 所表示的重复结构单元以外，还可以在氟原子含有率为40～75质量％的范围 内含有其它的重复结构单元，但通式(1)或通式(1)和通式(2)的重复结 构单元的含有量通常为30～100质量％，优选为70～100质量％，进一步优选 为90～100质量％。

此外，在本发明中，就含有通式(1)所表示的重复结构单元的含氟环状 烯烃聚合物(A)而言，通过拉伸模式固体粘弹性测定(频率为1Hz、升温速 度为3℃/分钟)所得的储能模量或损耗模量，优选具有对于在玻璃化温度以上 的温度区域中的温度变化在-1～0MPa/℃的范围内变化的区域。该特性是由 于在重复结构单元内的主链上具有烃结构和侧链上具有前述R¹～R⁴中的至少 一个为选自氟、含氟的烷基、含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的碳 原子数为2～10的烷氧基烷基的取代基，由此导致在聚合物分子间或分子内形 成氢键而造成的，而不是由于结晶性或化学键导致的交联所造成的。在通过该 特定结构而出现的氢键的作用下，而具有对于在玻璃化温度以上的温度区域中 的温度变化的储能模量或损耗模量的变化为-1～0MPa/℃的平缓区域。更优 选这些变化为-0.5～0MPa/℃，进一步优选为-0.2～0MPa/℃。

另外，在本发明中，含有通式(1)所表示的重复结构单元[I]和通式(2) 所表示的重复结构单元[II]的含氟环状烯烃共聚物中，结构单元[I]和结构单元 [II]的摩尔比为[I]/[II]＝95/5～25/75。另外，结构单元[I]不含通式(2)所表示 的重复结构单元。

和前述同样，储能模量或损耗模量的变化具有平缓区域，这是由于在重复 结构单元内的主链上具有烃结构和侧链上具有前述R¹～R⁴及R⁵～R⁸中分别至 少一个为选自氟、含氟的烷基、含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的 碳原子数为2～10的烷氧基烷基的取代基，由此导致在聚合物分子间或分子内 形成氢键而造成的。在通过该特定结构而出现的氢键的作用下，而具有对于玻 璃化温度以上的温度区域中的温度变化的储能模量或损耗模量的变化为-1～ 0MPa/℃的平缓区域。如果该摩尔比超过25/75，则平缓的储能模量或损耗模 量的变化区域消失，氢键带来的效果不会出现。

本发明的含氟环状烯烃聚合物和含氟环状烯烃共聚物是非晶性的透明聚 合物。

通常，当非晶性的热塑性聚合物不存在这种氢键或化学交联时，在玻璃化 温度以上的温度区域中，弹性模量急剧下降，对于温度变化的储能模量或损耗 模量的变化至少表现为-10MPa/℃以下。另一方面，本发明的含氟环状烯烃 聚合物(A)的前述优异特性来源于对于温度变化而产生的可逆的物理氢键的 相互作用。

此外，在本发明中，就含有通式(1)所表示的重复结构单元的含氟环状 烯烃聚合物或含有通式(1)和通式(2)所表示的重复结构单元的含氟环状烯 烃共聚物而言，在拉伸模式固体粘弹性测定(频率1Hz、升温速度3℃/分钟) 中，优选在0.1MPa以上的储能模量或损耗模量的区域中具有在玻璃化温度以 上的温度区域中的上述平缓的储能模量或损耗模量的变化区域，更优选为 0.1～10000MPa，进一步优选为0.1～1000MPa。如果为0.1MPa以上，则可以 在转印体制造工序的加热、冷却过程中维持其形状，冷却时的收缩变化变小， 转印的尺寸精度变高。

由此，通过在利用溶液涂布加热干燥或加热压合来制作纳米压印膜时的加 热、冷却过程中，将弹性模量和收缩率的变化抑制为最小，并进行最优化，从 而可以形成以高尺寸精度在表面上转印有微细图案的转印体，并且由于含有 氟，因此表面张力小，从而可以实现从模具的脱模性优异的膜的制作。特别是 利用溶液涂布加热干燥的纳米压印法，膜厚自由度也高，从而适合于制作大面 积的转印体的膜。

在本发明中，玻璃化温度是一边使试样温度稳定地上升或下降，一边测定 力学变化所得的损耗模量/储能模量(＝tanδ)的最大值，或者可以列举使用差 示扫描量热分析测定吸热或放热所得的变化点等。

玻璃化温度通常为30～250℃的范围，优选为50～200℃，进一步优选为 60～160℃。如果玻璃化温度为30℃以上，则容易维持脱模后成型的图案形状 的高精度的转印体形状，此外，如果为250℃以下，则由于可以降低用于使其 溶融流动的加热处理温度，因此不易产生黄变或支持体的劣化。

在本发明中，含有通式(1)所表示的重复结构单元的含氟环状烯烃聚合 物以及含有通式(1)和通式(2)所表示的重复结构单元的含氟环状烯烃共聚 物中的氟原子含有率可以通过以下算式(1)求出。

氟原子的含有率(质量％)＝(Fn×19)×100/Fw(1)

此处，在算式(1)中，Fn表示通式(1)所表示的结构单元和通式(2) 所表示的重复结构单元中的考虑了摩尔分率的氟原子数，Fw表示通式(1)所 表示的重复结构单元和通式(2)所表示的重复结构单元中的考虑了摩尔分率 的式量，该氟原子含有率为40～75质量％，优选为42～68质量％。如果该氟 原子含有率不足40质量％，则平缓的储能模量或损耗模量的变化区域小、或 者不出现，从而不出现氢键引起的效果。此外，如果超过75质量％，则结构 单元中的氢数少，同样不出现氢键引起的效果。

在本发明中，就含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物而言，在试样 浓度为3.0～9.0mg/ml时使用凝胶渗透色谱(GPC)所测定的聚苯乙烯换算的 重均分子量(Mw)通常为5,000～1,000,000，优选为10,000～300,000。如果 该重均分子量(Mw)为5,000以上，则能够表现出具有对于温度变化、储能 模量或损耗模量的变化为-1～0MPa/℃的区域的物性。

此外，如果为1,000,000以下，则溶剂溶解性、加热压合成型时的流动性 良好。此外，作为重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)之比的分子量分布 (Mw/Mn)通常为1.0～5.0的范围。

例如，为了形成均匀厚度的涂布膜并获得良好的加热成型性，分子量分布 优选宽的情况，优选为1.4～5.0，进一步优选为1.5～3.0。

本发明中的含氟环状烯烃聚合物(A)通过具有通式(1)和通式(2)所 表示的特定结构，从而可以获得相对于D线的极低的折射率。

相对于D线波长光的折射率通常为1.48以下，优选为1.30～1.48，在该 折射率范围内，光显示出优异的直线传播性。由此，可见光区域的光线透过率 为80％以上，优选为85～100％。

另外，本发明的含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物在300℃加热 5分钟时的质量减少量通常为不足0.1％，优选为不足0.07％，由于是热塑性且 热稳定性优异，因此可以进行加热压合成型。

在本发明中，含氟环状烯烃聚合物(A)可以通过使用开环复分解聚合催 化剂使通式(3)所表示的含氟环状烯烃单体聚合，并对所得聚合物主链的烯 烃部分进行氢化来合成。

化9

式(3)中，R¹～R⁴中的至少一个为氟、含氟的碳原子数为1～10的烷基、 含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数为2～10的烷氧基烷基。 当R¹～R⁴为不含氟的基团时，R¹～R⁴选自氢、碳原子数为1～10的烷基、碳 原子数为1～10的烷氧基、或碳原子数为2～10的烷氧基烷基。R¹～R⁴可以 相同，也可以不同。R¹～R⁴也可以相互结合而形成环结构。

更详细来说，在通式(3)中，R¹～R⁴可以例示：氟；或氟甲基、二氟甲 基、三氟甲基、三氟乙基、五氟乙基、七氟丙基、六氟异丙基、七氟异丙基、 六氟-2-甲基异丙基、全氟-2-甲基异丙基、全氟正丁基、全氟正戊基、全 氟环戊基等烷基的一部分氢或全部氢被氟取代的碳原子数为1～10的烷基；氟 甲氧基、二氟甲氧基、三氟甲氧基、三氟乙氧基、五氟乙氧基、七氟丙氧基、 六氟异丙氧基、七氟异丙氧基、六氟-2-甲基异丙氧基、全氟-2-甲基异丙 氧基、全氟正丁氧基、全氟正戊氧基、全氟环戊氧基等烷氧基的一部分氢或全 部氢被氟取代的碳原子数为1～10的烷氧基；氟甲氧基甲基、二氟甲氧基甲基、 三氟甲氧基甲基、三氟乙氧基甲基、五氟乙氧基甲基、七氟丙氧基甲基、六氟 异丙氧基甲基、七氟异丙氧基甲基、六氟-2-甲基异丙氧基甲基、全氟-2 -甲基异丙氧基甲基、全氟正丁氧基甲基、全氟正戊氧基甲基、全氟环戊氧基 甲基等烷氧基的一部分氢或全部氢被氟取代的碳原子数为2～10的烷氧基烷 基等。

此外，R¹～R⁴可以相互结合而形成环结构，也可以形成全氟环烷基、间 隔氧的全氟环醚等环。

另外，不含氟的其它R¹～R⁴可以例示：氢；或作为碳原子数为1～10的 烷基的甲基、乙基、丙基、异丙基、2-甲基异丙基、正丁基、正戊基、环戊 基等烷基；甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、戊氧基等碳原子数为1～10 的烷氧基；甲氧基甲基、乙氧基甲基、丙氧基甲基、丁氧基甲基、戊氧基甲基 等碳原子数为2～10的烷氧基烷基。

此外，在本发明中，作为用于制造含氟环状烯烃聚合物(A)的单体，可 以仅仅是通式(3)所表示的含氟环状烯烃单体，也可以是由R¹～R⁴中的至少 一个彼此不同的两种以上结构单元构成的单体。

另外，在本发明中，作为用于制造含氟环状烯烃共聚物的单体，可以和通 式(4)所表示的含氟环状烯烃共聚单体进行共聚。

化10

式(4)中，R⁵～R⁸中的至少一个为氟、含氟的碳原子数为1～10的烷基、 含氟的碳原子数为1～10的烷氧基、或含氟的碳原子数为2～10的烷氧基烷基。 当R⁵～R⁸为不含氟的基团时，R⁵～R⁸选自氢、碳原子数为1～10的烷基、碳 原子数为1～10的烷氧基、或碳原子数为2～10的烷氧基烷基。R⁵～R⁸可以 相同，也可以不同。R⁵～R⁸也可以相互结合而形成环结构。n表示1或2的整 数。

更详细来说，在通式(4)中，R⁵～R⁸可以例示：氟；或氟甲基、二氟甲 基、三氟甲基、三氟乙基、五氟乙基、七氟丙基、六氟异丙基、七氟异丙基、 六氟-2-甲基异丙基、全氟-2-甲基异丙基、全氟正丁基、全氟正戊基、全 氟环戊基等烷基的一部分氢或全部氢被氟取代的碳原子数为1～10的烷基；氟 甲氧基、二氟甲氧基、三氟甲氧基、三氟乙氧基、五氟乙氧基、七氟丙氧基、 六氟异丙氧基、七氟异丙氧基、六氟-2-甲基异丙氧基、全氟-2-甲基异丙 氧基、全氟正丁氧基、全氟正戊氧基、全氟环戊氧基等烷氧基的一部分氢或全 部氢被氟取代的碳原子数为1～10的烷氧基；氟甲氧基甲基、二氟甲氧基甲基、 三氟甲氧基甲基、三氟乙氧基甲基、五氟乙氧基甲基、七氟丙氧基甲基、六氟 异丙氧基甲基、七氟异丙氧基甲基、六氟-2-甲基异丙氧基甲基、全氟-2 -甲基异丙氧基甲基、全氟正丁氧基甲基、全氟正戊氧基甲基、全氟环戊氧基 甲基等烷氧基的一部分氢或全部氢被氟取代的碳原子数为2～10的烷氧基烷 基等。

此外，R⁵～R⁸可以相互结合而形成环结构，也可以形成全氟环烷基、间 隔氧的全氟环醚等环。

另外，不含氟的其它R⁵～R⁸可以例示：氢；或作为碳原子数为1～10的 烷基的甲基、乙基、丙基、异丙基、2-甲基异丙基、正丁基、正戊基、环戊 基等烷基；甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、戊氧基等碳原子数为1～10 的烷氧基；甲氧基甲基、乙氧基甲基、丙氧基甲基、丁氧基甲基、戊氧基甲基 等碳原子数为2～10的烷氧基烷基。

此外，在本发明中，作为用于制造含氟环状烯烃共聚物的单体，可以仅仅 是通式(4)所表示的含氟环状烯烃单体，也可以是由R⁵～R⁸中的至少一个彼 此不同的两种以上结构单元构成的单体。

作为用于含氟环状烯烃单体聚合的开环复分解聚合催化剂，只要是可以进 行开环复分解聚合的催化剂，就没有限定，可以列举并可以优选使用例如：W (N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHBu^t)(OBu^t)₂、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHBu^t) (OCMe₂CF₃)₂、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHBu^t)(OCMe(CF₃)₂)₂、W(N -2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHBu^t)(OC(CF₃)₃)₂、W(N-2，6-(Me)₂C₆H₃)(CHBu^t) (OC(CF₃)₃)₂、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OBu^t)₂、W(N- 2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OCMe₂CF₃)₂、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph) (OCMe(CF₃)₂)₂、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OC(CF₃)₃)₂、 W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OC(CF₃)₃)₂、或W(N-2，6-Me₂C₆H₃) (CHCHCMePh)(OBu^t)₂(PR₃)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCMe₂)(OBu^t) ₂(PR₃)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCPh₂)(OBu^t)₂(PR₃)、W(N-2，6 -Me₂C₆H₃)(CHCHCMePh)(OCMe₂(CF₃))₂(PR₃)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃) (CHCHCMe₂)(OCMe₂(CF₃))₂(PR₃)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCPh₂) (OCMe₂(CF₃))₂(PR₃)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCMePh)(OCMe (CF₃)₂)₂(PR₃)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCMe₂)(OCMe(CF₃)₂) ₂(PR₃)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCPh₂)(OCMe(CF₃)₂)₂(PR₃)、 W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCMePh)(OC(CF₃)₃)₂(PR₃)、W(N-2，6 -Me₂C₆H₃)(CHCHCMe₂)(OC(CF₃)₃)₂(PR₃)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃) (CHCHCPh₂)(OC(CF₃)₃)₂(PR₃)、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCHCMePh) (OCMe₂(CF₃))₂(PR₃)、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCHCMePh)(OCMe (CF₃)₂)₂(PR₃)、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCHCMePh)(OC(CF₃)₃) ₂(PR₃)、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCHCMePh)(OPh)₂(PR₃)、或W(N -2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCMePh)(OBu^t)₂(Py)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃) (CHCHCMe₂)(OBu^t)₂(Py)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCPh₂)(OBu^t) ₂(Py)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCMePh)(OCMe₂(CF₃))₂(Py)、 W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCMe₂)(OCMe₂(CF₃))₂(Py)、W(N-2，6 -Me₂C₆H₃)(CHCHCPh₂)(OCMe₂(CF₃))₂(Py)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃) (CHCHCMePh)(OCMe(CF₃)₂)₂(Py)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCMe₂) (OCMe(CF₃)₂)₂(Py)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCPh₂)(OCMe(CF₃) ₂)₂(Py)、W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCMePh)(OC(CF₃)₃)₂(Py)、 W(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCHCMe₂)(OC(CF₃)₃)₂(Py)、W(N-2，6- Me₂C₆H₃)(CHCHCPh₂)(OC(CF₃)₃)₂(Py)、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃) (CHCHCMePh)(OCMe₂(CF₃))₂(Py)、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCHCMePh) (OCMe(CF₃)₂)₂(Py)、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCHCMePh)(OC(CF₃) ₃)₂(Py)、W(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCHCMePh)(OPh)₂(Py)等钨系亚 烷基催化剂；Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHBu^t)(OBu^t)₂、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃) (CHBu^t)(OCMe₂CF₃)₂、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHBu^t)(OCMe(CF₃) ₂)₂、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHBu^t)(OC(CF₃)₃)₂、Mo(N-2，6-Me₂C₆H₃) (CHBu^t)(OC(CF₃)₃)₂、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OCMe₃) ₂、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OCMe₂(CF₃))₂、Mo(N-2，6- Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OCMe(CF₃)₂)₂、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph) (OC(CF₃)₃)₂、Mo(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OC(CF₃)₃)₂、 Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OBu^t)₂(PR₃)、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃) (CHCMe₂Ph)(OCMe₂CF₃)₂(PR₃)、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph) (OCMe(CF₃)₂)₂(PR₃)、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OC(CF₃) ₃)₂(PR₃)、Mo(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OC(CF₃)₃)₂(PR₃)、 Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OBu^t)₂(Py)、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃) (CHCMe₂Ph)(OCMe₂CF₃)₂(Py)、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph) (OCMe(CF₃)₂)₂(Py)、Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OC(CF₃) ₃)₂(Py)、Mo(N-2，6-Me₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OC(CF₃)₃)₂(Py)(其 中，式中的Prⁱ表示异丙基，R表示甲基、乙基等烷基或甲氧基、乙氧基等烷 氧基，Bu^t表示叔丁基，Me表示甲基，Ph表示苯基，Py表示吡啶基。)等钼 系亚烷基催化剂；Ru(CHCHCPh₂)(PPh₃)₂Cl₂(其中，式中的Ph表示苯基。) 等钌系亚烷基催化剂等。此外，这些开环复分解聚合催化剂可以单独使用，或 将两种以上组合使用。

另一方面，除了上述开环复分解聚合催化剂以外，还可以使用由有机过渡 金属络合物、过渡金属卤化物或过渡金属氧化物与作为助催化剂的路易斯酸的 组合所构成的开环复分解聚合催化剂，但是其催化活性低，在工业上不优选。

在含氟环状烯烃单体的开环复分解聚合中，就含氟环状烯烃单体和开环复 分解聚合催化剂的摩尔比而言，在钨、钼、或钌等过渡金属亚烷基催化剂时， 相对于1摩尔过渡金属亚烷基催化剂，该单体通常为100～30,000摩尔，优选 为1,000～20,000摩尔。

另外，为了控制分子量及其分布，可以使用烯烃作为链转移剂。作为烯烃， 例如，可以举例乙烯、丙烯、1-丁烯、1-戊烯、1-己烯、1-辛烯等α-烯 烃或它们的含氟烯烃，还可以举例乙烯基三甲基硅烷、烯丙基三甲基硅烷、烯 丙基三乙基硅烷、烯丙基三异丙基硅烷等含硅烯烃或它们的含氟和硅的烯烃， 此外，作为二烯，可以举例1，4-戊二烯、1，5-己二烯、1，6-庚二烯等非共轭 系二烯或它们的含氟非共轭系二烯。另外，这些烯烃、含氟烯烃、二烯或含氟 二烯可以各自单独使用，或将2种以上并用。

就上述烯烃、含氟烯烃、二烯或含氟二烯的使用量而言，相对于1摩尔含 氟环状烯烃单体，烯烃或二烯通常为0.001～1,000摩尔，优选为0.01～100摩 尔的范围。此外，相对于1摩尔过渡金属亚烷基催化剂，烯烃或二烯通常为 0.1～1,000摩尔，优选为1～500摩尔的范围。

此外，含氟环状烯烃单体的开环复分解聚合可以无溶剂，也可以使用溶剂， 特别是作为所使用的溶剂，可以列举：四氢呋喃、二乙醚、二丁醚、二甲氧基 乙烷或二噁烷等醚类；乙酸乙酯、乙酸丙酯或乙酸丁酯等酯类；苯、甲苯、二 甲苯或乙苯等芳香族烃；戊烷、己烷或庚烷等脂肪族烃；环戊烷、环己烷、甲 基环己烷、二甲基环己烷或萘烷等脂肪族环状烃；或二氯甲烷、二氯乙烷、二 氯乙烯、四氯乙烷、氯苯或三氯苯等卤代烃；氟苯、二氟苯、六氟苯、三氟甲 基苯、间二三氟甲苯等含氟芳香族烃；全氟己烷等含氟脂肪族烃；全氟环萘烷 等含氟脂肪族环状烃；全氟-2-丁基四氢呋喃等含氟醚类，也可以将它们中 的2种以上组合使用。

含氟环状烯烃单体的开环复分解聚合中，根据该单体的反应性和对聚合溶 剂的溶解性而不同，但可以在如下条件下实施：含氟环状烯烃单体相对于单体 溶液的浓度通常为5～100质量％，优选为10～60质量％的范围，反应温度通 常为-30～150℃，优选为30～100℃的范围，以及反应时间通常为10分钟～ 120小时，优选为30分钟～48小时的范围。另外，可以用丁醛等醛类、丙酮 等酮类、甲醇等醇类等水的失活剂来终止反应，得到聚合物溶液。

本发明中的含氟环状烯烃聚合物或含氟环状烯烃共聚物可以通过利用催 化剂对由含氟环状烯烃单体开环复分解聚合所得的聚合物主链的烯烃部分进 行氢化反应而得到。此外，该氢化催化剂只要是不会引起所用溶剂的氢化反应 且可以对该聚合物主链的烯烃部分进行氢化的催化剂，就可以是均相系金属络 合物催化剂和非均相系的金属负载催化剂中的任一种，作为均相系金属络合物 催化剂，例如可以列举氯三(三苯膦)铑、二氯三(三苯膦)锇、二氯氢化二 (三苯膦)铱、二氯三(三苯膦)钌、二氯四(三苯膦)钌、氯氢化羰基三(三 苯膦)钌、二氯三(三甲基膦)钌等，此外，作为非均相系金属负载催化剂， 例如可以列举活性炭负载钯、氧化铝负载钯、活性炭负载铑、氧化铝负载铑等。 这些氢化催化剂可以单独使用，或者可以将两种以上组合使用。

在进行上述主链烯烃部分的氢化处理时，在使用公知的非均相系或均相系 氢化催化剂时，对于氢化催化剂的使用量而言，氢化催化剂中的金属成分相对 于100质量份氢化处理前的聚合物通常为5×10^-4质量份～100质量份，优选为 1×10^-2质量份～30质量份。

作为氢化时所用的溶剂，只要是能够溶解含氟环状烯烃聚合物或含氟环状 烯烃共聚物、且溶剂本身不会氢化的溶剂，就没有特别限制，例如可以列举： 四氢呋喃、二乙醚、二丁醚、二甲氧基乙烷等醚类；乙酸乙酯、乙酸丙酯或乙 酸丁酯等酯类；苯、甲苯、二甲苯、乙苯等芳香族烃；戊烷、己烷、庚烷等脂 肪族烃；环戊烷、环己烷、甲基环己烷、二甲基环己烷、萘烷等脂肪族环状烃； 二氯甲烷、氯仿、二氯乙烷、二氯乙烯、四氯乙烷、氯苯、三氯苯等卤代烃； 氟苯、二氟苯、六氟苯、三氟甲基苯、间二三氟甲苯等含氟芳香族烃；全氟己 烷等含氟脂肪族烃；全氟环萘烷等含氟脂肪族环状烃；全氟-2-丁基四氢呋 喃等含氟醚类等，也可以将2种以上的溶剂组合使用。

上述主链烯烃部分的氢化反应在氢气压力为常压～30MPa、优选为0.5～ 20MPa、特别优选为2～15MPa的范围下进行，其反应温度通常为0～300℃的 温度，优选为室温～250℃，特别优选为50～200℃的温度范围。氢化反应的 实施方式没有特别限制，例如可以列举：将催化剂分散或溶解在溶剂中进行的 方法；将催化剂填充在柱子等中作为固定相，使聚合物溶液流通而进行的方法 等。

另外，主链烯烃部分的氢化处理可以在使氢化处理前的含氟环状烯烃聚合 物(A)的聚合溶液在不良溶剂中析出而分离聚合物后，再次溶解在溶剂中进 行氢化处理，也可以不从聚合溶液中分离聚合物而用上述的氢化催化剂进行氢 化处理，没有特别限制。

此外，含氟环状烯烃聚合物(A)的烯烃部分的氢化率为50％以上，优选 为70～100％，进一步优选为90～100％。如果该氢化率不足50％，则有时会 由于烯烃部分发生氧化、光的吸收劣化而使耐热性或耐候性变差。

在本发明中，在使聚合物溶液(转印用树脂组合物)与模具接触时，可以 在从氢化后的聚合物溶液中回收含氟环状烯烃聚合物(A)后再次溶解在溶剂 中而与模具接触，也可以不回收含氟环状烯烃聚合物(A)而使氢化后的聚合 物溶液直接与模具接触，还可以在氢化后的聚合物溶液中混合2种以上的溶剂 而与模具接触。从氢化后的聚合物溶液中回收含氟环状烯烃聚合物(A)的方 法没有特别限制，例如可以列举：通过将反应溶液排出至搅拌下的不良溶剂中 的方法、向反应溶液中吹入蒸汽的汽提法等方法使聚合物析出，并通过过滤、 离心分离、倾析等方法回收聚合物的方法；或通过加热等从反应溶液中蒸发除 去溶剂的方法等。此外，在不损害本发明目的范围内，还可以在回收的聚合物 中配合紫外线吸收剂、抗氧剂、阻燃剂、抗静电剂等公知的各种添加剂。

<光固化性化合物(B)>

在本发明中，就含氟环状烯烃聚合物(A)和光固化性化合物(B)的组 成而言，其质量比(A)/(B)通常为99.9/0.1～80/20的范围，优选为99.9/0.1～ 90/10，进一步优选为99.9/0.1～95/5。如果该光固化性化合物(B)的质量％ 超过20％，则可见光区域的光线透过率有时会低于80％。

作为光固化性化合物(B)，可以列举具有反应性双键基团的化合物、能 够进行阳离子聚合的开环聚合性化合物等。这些化合物在1分子中可以具有1 个反应性基团，也可以具有多个反应性基团，但优选使用具有2个以上的化合 物，可以以任意比例混合使用不同反应性基团数的化合物，也可以以任意比例 混合使用具有反应性双键基团的化合物和能够进行阳离子聚合的开环聚合性 化合物。由此，可以使在模具的图案面上涂布含氟环状烯烃聚合物组合物时的 涂布性、光照射固化时的固化性最优化，并且高效地在转印体内部和表面上形 成三维网状结构，从而可以得到具有高表面硬度的在表面上形成了微细图案的 纳米压印膜。

在光固化性化合物(B)中，作为具有反应性双键基团的化合物，例如可 以列举：氟二烯(CF₂＝CFOCF₂CF₂CF＝CF₂、CF₂＝CFOCF₂CF(CF₃)CF＝ CF₂、CF₂＝CFCF₂C(OH)(CF₃)CH₂CH＝CH₂、CF₂＝CFCF₂C(OH)(CF₃) CH＝CH₂、CF₂＝CFCF₂C(CF₃)(OCH₂OCH₃)CH₂CH＝CH₂、CF₂＝CFCH₂C (C(CF₃)₂OH)(CF₃)CH₂CH＝CH₂等)等烯烃类；降冰片烯、降冰片二 烯等环状烯烃类；环己基甲基乙烯基醚、异丁基乙烯基醚、环己基乙烯基醚、 乙基乙烯基醚等烷基乙烯基醚类；乙酸乙烯酯等乙烯基酯类；(甲基)丙烯酸、 丙烯酸苯氧基乙酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸硬脂酯、丙烯酸月桂酯、丙烯酸2- 乙基己酯、丙烯酸烯丙酯、二丙烯酸1，3-丁二醇酯、二丙烯酸1，4-丁二醇酯、 二丙烯酸1，6-己二醇酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸季戊四醇酯、 六丙烯酸二季戊四醇酯、丙烯酸乙氧基乙酯、丙烯酸甲氧基乙酯、丙烯酸缩水 甘油酯、丙烯酸四氢糠酯、丙烯酸二乙二醇二酯、二丙烯酸新戊二醇酯、二丙 烯酸聚氧乙二醇酯、二丙烯酸三丙二醇酯、丙烯酸2-羟基乙酯、丙烯酸2- 羟基丙酯、4-羟基丁基乙烯基醚、丙烯酸N，N-二乙基氨基乙酯、丙烯酸N，N -二甲基氨基乙酯、N-乙烯基吡咯烷酮、甲基丙烯酸二甲基氨基乙酯等(甲 基)丙烯酸及其衍生物或它们的含氟丙烯酸酯类等。

更优选列举通式(5)、(6)、(7)、(8)所表示那样的3官能以上的丙烯酸 酯。这种物质中可以单独使用，也可以将2种以上组合使用。通过使用具有3 官能以上的反应性双键基团的(甲基)丙烯酸酯单体，可以在光照射固化后， 高效地形成三维网状结构。

化11

式(5)中，R¹²表示亚甲苯基、二苯基甲烷、六亚甲基、降冰片烷二亚甲 基、二亚环己基甲烷、三甲基亚环己基、环己烷二亚甲基、N，N’，N”-三(六 亚甲基)-异氰脲酸酯、N，N’-二六亚甲基-脲、N，N，N’-三(六亚甲基)- 脲、N，N，N’N’-四(六亚甲基)-脲、或亚二甲苯基。R⁹、R¹⁰、R¹¹独立地表 示H或CH₃。W¹、W²表示H、CH₃、OH或V¹。X¹表示2～4的整数。Y¹表 示0～2的整数，Y²表示0～5的整数。

化12

式(6)中，R¹⁶表示亚甲苯基、二苯基甲烷、六亚甲基、降冰片烷二亚甲 基、二亚环己基甲烷、三甲基亚环己基、环己烷二亚甲基、N，N’，N”-三(六 亚甲基)-异氰脲酸酯、N，N’-二六亚甲基-脲、N，N，N’-三(六亚甲基)- 脲、N，N，N’N’-四(六亚甲基)-脲、或亚二甲苯基。R¹³、R¹⁴、R¹⁵独立地 表示H或CH₃。W³、W⁴表示H、CH₃、OH或V²。X²表示2～4的整数。Y³表示0～2的整数，Y⁴表示0～5的整数。

化13

式(7)中，W⁵表示H、CH₃、OH或V³。R¹⁷、R¹⁸、R¹⁹独立地表示H或 CH₃，Y⁵表示0～20的整数。

化14

式(8)中，W⁶、W⁷表示H、CH₃、OH或V⁴。R²⁰、R²¹、R²²表示H或 CH₃，Y⁶表示0～3的整数。

此外，在光固化性化合物(B)中，作为能够进行阳离子聚合的开环聚合 性化合物，例如：环己烯环氧化物、氧化二环戊二烯、二氧化苎烯、二氧化4 -乙烯基环己烯、3，4-环氧环己基甲基-3’，4’-环氧环己烷甲酸酯、二(3，4 -环氧环己基)己二酸酯、(3，4-环氧环己基)甲基醇、(3，4-环氧-6-甲基 环己基)甲基-3，4-环氧-6-甲基环己烷甲酸酯、亚乙基1，2-二(3，4-环 氧环己烷甲酸)酯、(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、苯基缩水甘油醚、 二环己基-3，3’-二环氧化物、双酚A型环氧树脂、卤化双酚A型环氧树脂、 双酚F型环氧树脂、邻-(间-、对-)甲酚酚醛清漆型环氧树脂、苯酚酚醛清漆 型环氧树脂、多元醇的多缩水甘油醚、3，4-环氧环己烯基甲基-3’，4’-环氧 环己烯甲酸酯等脂环式环氧树脂或氢化双酚A的缩水甘油醚等环氧化合物等 环氧化合物类。另外还有3-甲基-3-(丁氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基 -3-(戊氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(己氧基甲基)氧杂环丁烷、 3-甲基-3-(2-乙基己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(辛氧基甲 基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(癸氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(十 二烷氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(苯氧基甲基)氧杂环丁烷、3- 乙基-3-(丁氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(戊氧基甲基)氧杂环 丁烷、3-乙基-3-(己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(2-乙基己 氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(辛氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基 -3-(癸氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(十二烷氧基甲基)氧杂环 丁烷、3-(环己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(环己氧基甲基)氧 杂环丁烷、3-乙基-3-(环己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(苯氧 基甲基)氧杂环丁烷、3，3-二甲基氧杂环丁烷、3-羟基甲基氧杂环丁烷、3 -甲基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-乙 基-3-苯氧基甲基氧杂环丁烷、3-正丙基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-异 丙基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-正丁基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-异 丁基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-仲丁基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-叔 丁基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-(2-乙基己基)氧杂环丁烷等， 作为具有2个以上氧杂环丁基的化合物，可列举双(3-乙基-3-氧杂环丁基 甲基)醚、1，2-二[(3-乙基-3-氧杂环丁基甲氧基)]乙烷、1，3-二[(3 -乙基-3-氧杂环丁基甲氧基)]丙烷、1，3-二[(3-乙基-3-氧杂环丁基 甲氧基)]-2，2-二甲基-丙烷、1，4-二(3-乙基-3-氧杂环丁基甲氧基) 丁烷、1，6-二(3-乙基-3-氧杂环丁基甲氧基)己烷、1，4-二[(3-甲基 -3-氧杂环丁基)甲氧基]苯、1，3-二[(3-甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基] 苯、1，4-二{[(3-甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基]甲基}苯、1，4-二{[(3- 甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基]甲基}环己烷、4，4’-二{[(3-甲基-3-氧杂 环丁基)甲氧基]甲基}联苯、4，4’-二{[(3-甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基] 甲基}二环己烷、2，3-二[(3-甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、 2，5-二[(3-甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2，6-二[(3- 甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、1，4-二[(3-乙基-3-氧杂 环丁基)甲氧基]苯、1，3-二[(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基]苯、1，4- 二{[(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基]甲基}苯、1，4-二{[(3-乙基-3- 氧杂环丁基)甲氧基]甲基}环己烷、4，4’-二{[(3-乙基-3-氧杂环丁基) 甲氧基]甲基}联苯、4，4’-二{[(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基]甲基}二环 己烷、2，3-二[(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2，5-二 [(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2，6-二[(3-乙基-3 -氧杂环丁基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷等氧杂环丁烷化合物类。此外，它们可 以单独使用，也可以将2种以上组合使用。

作为能够进行阳离子聚合的开环聚合性化合物，可以列举通式(9)所表 示的3官能以上的环氧化合物。它们可以单独使用，也可以将2种以上组合使 用。通过使用具有3官能以上的环氧基的环氧单体，可以在光照射固化后，高 效地形成三维网状结构。

化15

式(9)中，W⁸表示H、碳原子数为1～3的烷基、OH或V⁵，Y⁷表示1～ 20的整数。

此外，在光固化性化合物(B)中，作为通过光照射而生成自由基的光自 由基引发剂，例如可以列举：苯乙酮、对叔丁基三氯苯乙酮、氯苯乙酮、2，2 -二乙氧基苯乙酮、羟基苯乙酮、2，2-二甲氧基-2’-苯基苯乙酮、2-氨基 苯乙酮、二烷基氨基苯乙酮等苯乙酮类；苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基 醚、苯偶姻异丙基醚、苯偶姻异丁基醚、1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2 -甲基-1-苯基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基- 2-甲基丙烷-1-酮等苯偶姻类；二苯甲酮、苯甲酰苯甲酸、苯甲酰苯甲酸甲 酯、邻苯甲酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、羟基二苯甲酮、羟基丙基二苯 甲酮、丙烯酰基二苯甲酮、4，4’-二(二甲基氨基)二苯甲酮等二苯甲酮类； 噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-甲基噻吨酮、二乙基噻吨酮、二甲基噻吨酮等噻吨 酮类；全氟(叔丁基过氧化物)、全氟过氧化苯甲酰等氟系过氧化物类；α-酰 基肟酯、苄基-(邻乙氧基羰基)-α-单肟、酰基氧化膦、乙醛酸酯、3-酮 基香豆素、2-乙基蒽醌、樟脑醌、硫化四甲基秋兰姆、偶氮二异丁腈、过氧 化苯甲酰、二烷基过氧化物、过氧化新戊酸叔丁酯等。

作为更优选使用的光自由基引发剂的具体例子，例如可以列举Irgacure  651(汽巴精化公司制)、Irgacure 184(汽巴精化公司制)、Darocur 1173(汽巴 精化公司制)、二苯甲酮、4-苯基二苯甲酮、Irgacure 500(汽巴精化公司制)、 Irgacure 2959(汽巴精化公司制)、Irgacure 127(汽巴精化公司制)、Irgacure 907 (汽巴精化公司制)、Irgacure 369(汽巴精化公司制)、Irgacure 1300(汽巴精 化公司制)、Irgacure 819(汽巴精化公司制)、Irgacure 1800(汽巴精化公司制)、 Darocur TPO(汽巴精化公司制)、Darocur 4265(汽巴精化公司制)、Irgacure  OXE01(汽巴精化公司制)、Irgacure OXE02(汽巴精化公司制))、Esacure KT55 (Lamberti公司制)、Esacure KIP150(Lamberti公司制)、Esacure KIP100F (Lamberti公司制)、Esacure KT37(Lamberti公司制)、Esacure KTO46(Lamberti 公司制)、Esacure 1001M(Lamberti公司制)、Esacure KIP/EM(Lamberti公司 制)、Esacure DP250(Lamberti公司制)、Esacure KB1(Lamberti公司制)、2，4 -二乙基噻吨酮。其中，作为更优选使用的光自由基聚合引发剂，可以列举 Irgacure 184(汽巴精化公司制)、Darocur 1173(汽巴精化公司制)、Irgacure 500 (汽巴精化公司制)、Irgacure 819(汽巴精化公司制)、Darocur TPO(汽巴精 化公司制)、Esacure KIP100F(Lamberti公司制)、Esacure KT37(Lamberti公 司制)和Esacure KTO46(Lamberti公司制)。此外，这些光自由基引发剂可 以单独使用，也可以将2种以上组合使用。

<光固化引发剂(C)>

作为光固化引发剂(光聚合引发剂)(C)，可以列举通过光照射而生成自 由基的光自由基引发剂、通过光照射而生成阳离子的光阳离子引发剂等。光固 化引发剂(C)的使用量相对于100质量份光固化性化合物(B)通常优选为 0.05质量份以上，更优选为0.1～10质量份。

在光固化引发剂(C)中，作为通过光照射而生成阳离子的光阳离子引发 剂，只要是通过光照射而引发前述能够进行阳离子聚合的开环聚合性化合物类 的阳离子聚合的化合物，就没有特别限定，例如优选为如鎓阳离子和与之配对 的阴离子的鎓盐那样进行光反应而释放出路易斯酸的化合物。

作为鎓阳离子的具体例子，可以列举二苯基碘鎓、4-甲氧基二苯基碘鎓、 二(4-甲基苯基)碘鎓、二(4-叔丁基苯基)碘鎓、二(十二烷基苯基)碘 鎓、三苯基锍、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍、二[4-(二苯基锍基)-苯 基]硫化物、二[4-(二(4-(2-羟基乙基)苯基)锍基)-苯基]硫化物、η5 -2，4-(环戊二烯基)[1，2，3，4，5，6-η-(甲基乙基)苯]-铁(1+)等。此 外，除了鎓阳离子以外，还可以列举过氯酸根离子、三氟甲磺酸根离子、甲苯 磺酸根离子、三硝基甲苯磺酸根离子等。此外，这些光阳离子引发剂可以单独 使用，也可以将2种以上组合使用。

另一方面，作为阴离子的具体例子，可以列举四氟硼酸盐、六氟磷酸盐、 六氟锑酸盐、六氟砷酸盐、六氯锑酸盐、四(氟苯基)硼酸盐、四(二氟苯基) 硼酸盐、四(三氟苯基)硼酸盐、四(四氟苯基)硼酸盐、四(五氟苯基)硼 酸盐、四(全氟苯基)硼酸盐、四(三氟甲基苯基)硼酸盐、四(二(三氟甲 基)苯基)硼酸盐等。此外，这些光阳离子引发剂可以单独使用，也可以将2 种以上组合使用。

作为更优选使用的光阳离子引发剂的具体例子，例如可以列举Irgacure  250(汽巴精化公司制)、Irgacure 784(汽巴精化公司制)、Esacure 1064(Lamberti 公司制)、CYRAURE UVI 6990(联合碳化物日本公司制)、Adeka Optomer SP -172(旭电化公司制)、Adeka Optomer SP-170(旭电化公司制)、Adeka  Optomer SP-152(旭电化公司制)、Adeka Optomer SP-150(旭电化公司制)。 此外，这些光阳离子引发剂可以单独使用，也可以将2种以上组合使用。

光固化性化合物(B)和光固化引发剂(C)可以作为含有它们的光固化 性组合物使用。光固化性组合物可以通过将光固化引发剂(C)溶解在前述光 固化性化合物(B)本身中而得到，也可以将光固化性化合物(B)和光固化 引发剂(C)一起溶解在有机溶剂中而得到。此外，还可以根据需要加入作为 第3成分的其它公知成分，例如抗老化剂、流平剂、润湿性改良剂、表面活性 剂、增塑剂等改性剂，紫外线吸收剂、防腐剂、抗菌剂等稳定剂，光敏剂、硅 烷偶联剂等。

作为用于制备光固化性组合物的有机溶剂，没有特别限制，例如可以列举 间二三氟甲苯、三氟甲苯、氟苯、二氟苯、六氟苯、三氟甲基苯、二(三氟甲 基)苯、间二三氟甲苯等含氟芳香族烃，全氟己烷、全氟辛烷等含氟脂肪族烃， 全氟环萘烷等含氟脂肪族环状烃，全氟-2-丁基四氢呋喃等含氟醚类，氯仿、 氯苯、三氯苯等卤代烃，四氢呋喃、二丁醚、1，2-二甲氧基乙烷、二噁烷、 丙二醇单甲醚、二丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯等醚类，乙酸乙酯、乙 酸丙酯、乙酸丁酯等酯类，或甲乙酮、甲基异丁基酮、环己酮等酮类，甲醇、 乙醇、异丙醇、2-甲氧基乙醇、3-甲氧基丙醇等醇类等。可以考虑溶解性、 制膜性从其中选择，与溶解含氟环状烯烃聚合物(A)的有机溶剂可以相同也 可以不同。特别从制膜性的观点考虑，优选在大气压下具有70℃以上沸点的 溶剂。如果溶剂的沸点低，则蒸发速度快，在涂布时部分溶剂开始干燥等而成 为膜厚精度变差或在膜表面上产生鱼眼的原因。

本发明中的含氟环状烯烃聚合物组合物由于使用了在主链上具有烃结构、 在侧链上具有含氟脂肪族环结构的特定含氟环状烯烃聚合物，因此可以在分子 间或分子内形成氢键。另外，由于使用了光固化性化合物和光固化引发剂，因 此在照射光使其固化后，可以在转印体的内部和表面上形成三维网状结构。通 过这些作用，可以在使纳米压印转印体制造工序的加热、冷却、光照射固化过 程中的树脂的弹性模量和收缩率的变化最优化的同时进一步改善硬度。因此， 根据本发明的含氟环状烯烃聚合物，能够以高尺寸精度转印模具表面的微细图 案，并且可以形成具有高表面硬度的、在表面上具有微细图案的转印体，且能 够以简单的工序得到大面积的转印体，该转印体的脱离性优异。

另外，在设备等上安装内部和表面上具有三维网状结构的转印体时，可以 有效地抑制压印图案针对来自外部的外加应力所产生的变形、损伤，从而可以 赋予在实际使用中非常重要的功能。

[含氟环状烯烃聚合物组合物的制造方法]

本发明中的含氟环状烯烃聚合物组合物的制造方法可以通过如下方法简 单地得到：将含氟环状烯烃聚合物(A)预先制备为任意浓度的溶液，向其中 加入光固化性组合物，以使含氟环状烯烃聚合物(A)和光固化性化合物(B) 的质量比(A)/(B)通常为99.9/0.1～5/95的范围，优选为99.9/0.1～10/90， 进一步优选为99.9/0.1～80/20，特别优选为99.9/0.1～50/50的范围，并且均匀 混合。

此外，可以使用液状的光固化性化合物(B)代替溶剂，不使用有机溶剂 来制备光固化性组合物。在使用有机溶剂来制备组合物时，含氟环状烯烃聚合 物(A)相对于溶液的浓度通常为5～90质量％，优选为10～60质量％的范围， 并且可以选择对于使溶剂蒸发后模具上最佳的聚合物厚度或涂布性等为有效 且合适的浓度。

制备该含氟环状烯烃聚合物组合物时所用的有机溶剂可以使用和制备前 述光固化性单体组合物时所用的有机溶剂相同的溶剂，没有特别限制。特别从 制膜性的观点考虑，优选在大气压下具有70℃以上沸点的溶剂，如果溶剂的 沸点低，则蒸发速度快，在涂布时部分溶剂开始干燥等而成为膜厚精度变差或 在膜表面上产生鱼眼的原因。

此外，和前述的光固化性组合物同样，可以根据需要加入作为第3成分的 其它公知成分，例如抗老化剂、流平剂、润湿性改良剂、表面活性剂、增塑剂 等改性剂，紫外线吸收剂、防腐剂、抗菌剂等稳定剂，光敏剂、硅烷偶联剂等。

[转印体的制造方法]

在本发明的转印体的制造方法中使用的、在表面上具有微细图案的模具的 凸部和凹部的形状没有特别限定，例如，作为其形状，可以列举四边形、圆柱 状、棱柱状、三角锥状、多面体状、半球状等。此外，作为凸部和凹部的截面 形状，可以列举四边形截面、三角形截面、半圆形截面等。作为模具的转印体 的微细图案的具体例子，满足上述条件的形状优选为具有凹凸结构的图案等， 但其配置可以是等间距、连续的，还可以是非连续、非等间距的组合，没有特 别限定。

微细图案的凸部和/或凹部的宽度通常为10nm～50μm，优选为20nm～ 1μm。此外，凹部的深度通常为30nm～50μm，优选为50nm～1μm。另外，凸 部的宽度和凹部的深度之比的纵横比通常为0.1～500，优选为0.5～20。

作为用于使用本发明的含氟环状烯烃聚合物组合物(溶液)来制造纳米压 印转印体的模具基材的材质，可以列举：镍、铁、不锈钢、锗、钛、硅等金属 材料；玻璃、石英、氧化铝等无机材料；聚酰亚胺、聚酰胺、聚酯、聚碳酸酯、 聚苯醚、聚苯硫醚、聚丙烯酸酯、聚甲基丙烯酸酯、聚芳酯、环氧树脂、硅树 脂等树脂材料；金刚石、石墨等碳材料等。

另外，作为使本发明的含氟环状烯烃聚合物组合物(溶液)与模具接触的 方法，没有特别限制，例如可以为以下任一种：通过台式涂布(table coating)、 旋涂、浸涂、模涂、喷涂、棒涂、辊涂、帘涂等方法在模具的微细图案面上涂 布聚合物溶液的方法；或通过台式涂布、旋涂、浸涂、模涂、喷涂、棒涂、辊 涂、帘涂等方法在不锈钢、硅等金属材料、玻璃、石英等无机材料、聚酰亚胺、 聚酰胺、聚酯、聚碳酸酯、聚苯醚、聚苯硫醚、聚丙烯树脂、聚甲基丙烯酸酯、 聚芳酯、环氧树脂、硅树脂等树脂材料等基材上涂布聚合物溶液，并在其上覆 盖模具的微细图案面而使它们接触的方法。

具体来说，可以列举：

(1)包括将本发明的含氟环状烯烃聚合物组合物涂布在表面上具有微细 图案的模具表面上的工序和对涂布的组合物进行加热，接着照射光，从而使该 组合物固化的工序的方法；

(2)包括将含氟环状烯烃聚合物组合物涂布在支持体(基材)上，从而 形成涂布膜的工序、用具有微细图案的模具表面按压涂布膜的上表面的工序、 和对被模具表面按压的前述涂布膜进行加热，接着照射光，从而使该涂布膜固 化的工序的方法，等。此外，在(2)的方法中，还可以在使溶剂从涂布膜中 蒸发后，用模具进行按压。

使含氟环状烯烃聚合物组合物与模具接触、加热、接着照射光而使其固化 后的模具上的膜厚没有特别限制，优选为1μm～10mm，更优选为5μm～1mm， 最优选为10μm～0.5mm。如果为这些范围，则可以得到独立的转印体。

可以按以下条件实施：加热此时的模具上的膜的温度通常为10～300℃， 优选为50～200℃的范围，压力为从133Pa到大气压的范围，另外加热时间通 常为10分钟～120小时，优选为30分钟～48小时的范围。此外，加热温度、 压力和时间可以通过分别进行设定而阶段性变化。

作为照射光，只要能够提供通过对光固化引发剂照射光而引起自由基反应 或离子反应的能量，就没有特别限定。作为该光源，可以使用波长为400nm 以下的光线，例如低压水银灯、中压水银灯、高压水银灯、超高压水银灯、化 学灯、黑光灯、微波激发水银灯和金属卤化物灯、i线、G线、KrF准分子激 光、ArF准分子激光。

对含氟环状烯烃聚合物组合物的照射强度根据各目标制品进行控制，没有 特别限定。例如，对后述的光聚合引发剂的活性化有效的光波长区域(根据光 聚合引发剂而不同，但通常使用300～420nm的光)的光照射强度优选为0.1～ 100mW/cm²。如果对组合物的照射强度不足0.1mW/cm²，则反应时间过长，如 果超过100mW/cm²，则由于灯辐射的热以及组合物聚合时的放热，可能会导 致所得固化物的凝聚力下降、黄变或支持体的劣化。

该光的照射时间根据各目标制品进行控制，没有特别限定，但表示为光波 长区域内的光照射强度和光照射时间之积的累计光量通常可以设定为3～ 1000mJ/cm²。更优选为5～500mJ/cm²，特别优选为10～300mJ/cm²。如果对组 合物的累计光量不足3mJ/cm²，则从光聚合引发剂产生的活性种不足，可能会 导致所得固化物的特性的下降，如果超过1000mJ/cm²，则对生产率的提高是 不利的。此外，为了促进聚合反应，同时进行加热有时也是优选的。此外，照 射光而使固化性树脂固化时的温度通常优选为0～150℃，更优选为0～60℃。

在本发明中，使含氟环状烯烃聚合物组合物(溶液)与表面上具有微细图 案的模具接触，并通过加热使溶剂等挥发成分蒸发，接着照射光使其固化，从 而可以在模具上形成转印体。该转印体从模具上的脱模，优选在含氟环状烯烃 聚合物(A)的玻璃化温度以下的温度下进行，更优选在(玻璃化温度-20℃) 以下的温度下脱模。由此，可以高精度地保持在转印体上所形成的图案形状， 并且容易脱模。脱模的方法可以通过从模具上剥离而脱离，或者也可以采用浸 渍、喷雾等方法使模具和转印体与例如水等介质接触，然后利用表面张力进行 剥离。此外，也可以在转印体背面上粘贴树脂材料或玻璃等无机材料，并将该 基板作为支持体进行脱离。

<固化物的制造方法>

此外，使用由本发明的含氟环状烯烃聚合物组合物所得转印体作为复制模 具，可以得到固化物。

作为得到固化物的方法，可以列举包含以下工序的方法：使转印体具有微 细图案的表面与光固化性单体组合物接触的工序；对光固化性单体组合物照射 光而使其固化，得到固化物的工序；和将固化物从前述转印体上脱模的工序。

作为使转印体具有微细图案的表面与光固化性单体组合物接触的方法，没 有特别限制，例如可以通过台式涂布、旋涂、浸涂、模涂、喷涂、棒涂、辊涂、 帘涂等方法在转印体的微细图案面上涂布光固化性单体组合物，或通过台式涂 布、旋涂、浸涂、模涂、喷涂、棒涂、辊涂、帘涂等方法在上述金属材料、玻 璃、石英等无机材料、树脂材料等基材上涂布光固化性单体组合物，然后将转 印体的微细图案面盖在其上而使其与光固化性单体组合物接触。

作为对光固化性单体组合物进行照射的照射光，和含氟环状烯烃聚合物组 合物同样，只要能够提供通过对光固化引发剂照射光而引起自由基反应或离子 反应的能量，就没有特别限定。作为该光源，可以使用波长为400nm以下的 光线，例如低压水银灯、中压水银灯、高压水银灯、超高压水银灯、化学灯、 黑光灯、微波激发水银灯和金属卤化物灯、i线、G线、KrF准分子激光、ArF 准分子激光。

对该光固化性单体组合物的照射强度和含氟环状烯烃聚合物组合物同样， 根据各目标制品进行控制，没有特别限定。例如，对后述的光聚合引发剂的活 性化有效的光波长区域(根据光聚合引发剂而不同，但通常使用300～420nm 的光)的光照射强度优选为0.1～100mW/cm²。如果对组合物的照射强度不足 0.1mW/cm²，则反应时间过长，如果超过100mW/cm²，则由于由灯辐射的热以 及组合物聚合时的放热，可能会导致所得固化物的凝聚力下降、黄变或支持体 的劣化。

光的照射时间和含氟环状烯烃聚合物组合物同样，根据各目标制品进行控 制，没有特别限定，但表示为光波长区域内的光照射强度和光照射时间之积的 累计光量可以设定为3～1000mJ/cm²。更优选为5～500mJ/cm²，特别优选为 10～300mJ/cm²。如果对组合物的累计光量不足3mJ/cm²，则由光聚合引发剂 产生的活性种不足，可能会导致所得固化物的特性的下降，如果超过 1000mJ/cm²，则对生产率的提高是不利的。此外，为了促进聚合反应，同时进 行加热有时也是优选的。此外，照射光使固化性树脂固化时的温度优选为0～ 150℃，更优选为0～60℃。

照射光使固化性树脂固化的固化树脂(固化物)的膜厚没有特别限制，优 选为1μm～10mm，更优选为5μm～1mm，最优选为10μm～0.5mm。如果为这 些范围，则可以得到独立的固化物。

固化物的脱模可以通过从复制模具上剥离固化物而脱模，或者也可以使用 有机溶剂溶解复制模具的转印体而使其脱离。此外，还可以在其背面或复制模 具的转印体背面上粘贴树脂材料、玻璃等无机材料，将该基板作为支持体来脱 模该固化物。

利用剥离进行的固化物的脱模没有特别限制，例如可以采用浸渍、喷雾等 方法使固化物和转印体与水等介质接触，然后利用表面张力进行剥离。此外， 在使用有机溶剂溶解转印体而使其脱离时，作为脱离所用的有机溶剂，没有特 别限制，例如，考虑到溶解性，可以选自：间二三氟甲苯、三氟甲苯、氟苯、 二氟苯、六氟苯、三氟甲基苯、二(三氟甲基)苯、间二三氟甲苯等含氟芳香 族烃；全氟己烷、全氟辛烷等含氟脂肪族烃；全氟环萘烷等含氟脂肪族环状烃、 全氟-2-丁基四氢呋喃等含氟醚类；氯仿、氯苯、三氯苯等卤代烃；四氢呋 喃、二丁醚、1，2-二甲氧基乙烷、二噁烷等醚类；乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙 酸丁酯等酯类；或甲基异丁基酮、环己酮等酮类等。

作为本发明中的光固化性单体，和构成含氟环状烯烃聚合物组合物的光固 化性化合物成分同样，可以列举包括具有反应性双键基团的化合物、能够进行 阳离子聚合的开环聚合性化合物等的树脂等。这些化合物在1分子中可以具有 1个反应性基团，也可以具有多个反应性基团。此外，作为光聚合引发剂，可 以列举通过光照射而生成自由基的光自由基引发剂、通过光照射而生成阳离子 的光阳离子引发剂等。

在形成将光固化性化合物和光固化引发剂混合所得的组合物时，光固化引 发剂的使用量相对于100质量份光固化性化合物优选为0.05质量份以上，更 优选为0.1～10质量份。

作为具有反应性双键基团的化合物的具体例子，例如可以列举：降冰片烯、 降冰片二烯等环状烯烃类；环己基甲基乙烯基醚、异丁基乙烯基醚、环己基乙 烯基醚、乙基乙烯基醚等烷基乙烯基醚类；乙酸乙烯酯等乙烯基酯类；(甲基) 丙烯酸、丙烯酸苯氧基乙酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸硬脂酯、丙烯酸月桂酯、丙 烯酸2-乙基己酯、丙烯酸烯丙酯、二丙烯酸1，3-丁二醇酯、二丙烯酸1，4- 丁二醇酯、二丙烯酸1，6-己二醇酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三丙烯酸季 戊四醇酯、六丙烯酸二季戊四醇酯、丙烯酸乙氧基乙酯、丙烯酸甲氧基乙酯、 丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸四氢糠酯、二丙烯酸二乙二醇酯、二丙烯酸新戊二 醇酯、二丙烯酸聚氧乙二醇酯、二丙烯酸三丙二醇酯、丙烯酸2-羟基乙酯、 丙烯酸2-羟基丙酯、4-羟基丁基乙烯基醚、丙烯酸N，N-二乙基氨基乙酯、 丙烯酸N，N-二甲基氨基乙酯、N-乙烯基吡咯烷酮、甲基丙烯酸二甲基氨基 乙酯等(甲基)丙烯酸及其衍生物或它们的含氟丙烯酸酯类；氟二烯(CF₂＝ CFOCF₂CF₂CF＝CF₂、CF₂＝CFOCF₂CF(CF₃)CF＝CF₂、CF₂＝CFCF₂C(OH) (CF₃)CH₂CH＝CH₂、CF₂＝CFCF₂C(OH)(CF₃)CH＝CH₂、CF₂＝CFCF₂C (CF₃)(OCH₂OCH₃)CH₂CH＝CH₂、CF₂＝CFCH₂C(C(CF₃)₂OH)(CF₃) CH₂CH＝CH₂等)等。它们可以单独使用，也可以将2种以上组合使用。

此外，作为能够进行阳离子聚合的开环聚合性化合物的具体例子，例如可 以列举：环己烯环氧化物、氧化二环戊二烯、二氧化苎烯、二氧化4-乙烯基 环己烯、3，4-环氧环己基甲基-3’，4’-环氧环己烷甲酸酯、二(3，4-环氧环 己基)己二酸酯、(3，4-环氧环己基)甲基醇、(3，4-环氧-6-甲基环己基) 甲基-3，4-环氧-6-甲基环己烷甲酸酯、亚乙基1，2-二(3，4-环氧环己烷 甲酸)酯、(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、苯基缩水甘油醚、二环己 基-3，3’-二环氧化物、双酚A型环氧树脂、卤化双酚A型环氧树脂、双酚F 型环氧树脂、邻-(间-、对-)甲酚酚醛清漆型环氧树脂、苯酚酚醛清漆型环氧 树脂、多元醇的聚缩水甘油醚、3，4-环氧环己烯基甲基-3’，4’-环氧环己烯 甲酸酯等脂环式环氧树脂或氢化双酚A的缩水甘油醚等环氧化合物等环氧化 合物类；以及3-甲基-3-(丁氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(戊 氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基 -3-(2-乙基己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(辛氧基甲基)氧杂 环丁烷、3-甲基-3-(癸氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(十二烷氧 基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(苯氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3 -(丁氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(戊氧基甲基)氧杂环丁烷、3 -乙基-3-(己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(2-乙基己氧基甲基) 氧杂环丁烷、3-乙基-3-(辛氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(癸氧 基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(十二烷氧基甲基)氧杂环丁烷、3-(环 己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-甲基-3-(环己氧基甲基)氧杂环丁烷、3- 乙基-3-(环己氧基甲基)氧杂环丁烷、3-乙基-3-(苯氧基甲基)氧杂 环丁烷、3，3-二甲基氧杂环丁烷、3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-羟 基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-苯氧基 甲基氧杂环丁烷、3-正丙基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-异丙基-3-羟基 甲基氧杂环丁烷、3-正丁基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-异丁基-3-羟基 甲基氧杂环丁烷、3-仲丁基-3-羟基甲基氧杂环丁烷、3-叔丁基-3-羟基 甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-(2-乙基己基)氧杂环丁烷等，作为具有2 个以上氧杂环丁基的化合物的双(3-乙基-3-氧杂环丁基甲基)醚、1，2- 二[(3-乙基-3-氧杂环丁基甲氧基)]乙烷、1，3-二[(3-乙基-3-氧杂 环丁基甲氧基)]丙烷、1，3-二[(3-乙基-3-氧杂环丁基甲氧基)]-2，2- 二甲基-丙烷、1，4-二(3-乙基-3-氧杂环丁基甲氧基)丁烷、1，6-二(3 -乙基-3-氧杂环丁基甲氧基)己烷、1，4-二[(3-甲基-3-氧杂环丁基) 甲氧基]苯、1，3-二[(3-甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基]苯、1，4-二{[(3- 甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基]甲基}苯、1，4-二{[(3-甲基-3-氧杂环丁 基)甲氧基]甲基}环己烷、4，4’-二{[(3-甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基]甲 基}联苯、4，4’-二{[(3-甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基]甲基}二环己烷、2，3 -二[(3-甲基-3-氧杂环丁基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2，5-二[(3-甲 基-3-氧杂环丁基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2，6-二[(3-甲基-3-氧杂环 丁基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、1，4-二[(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基] 苯、1，3-二[(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基]苯、1，4-二{[(3-乙基-3 -氧杂环丁基)甲氧基]甲基}苯、1，4-二{[(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧 基]甲基}环己烷、4，4’-二{[(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基]甲基}联苯、 4，4’-二{[(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基]甲基}二环己烷、2，3-二[(3 -乙基-3-氧杂环丁基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2，5-二[(3-乙基-3-氧 杂环丁基)甲氧基]二环[2.2.1]庚烷、2，6-二[(3-乙基-3-氧杂环丁基)甲 氧基]二环[2.2.1]庚烷等氧杂环丁烷化合物类。此外，它们可以单独使用，也可 以将2种以上组合使用。

此外，作为通过光照射而生成自由基的光自由基引发剂，例如可以列举： 苯乙酮、对叔丁基三氯苯乙酮、氯苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、羟基苯乙 酮、2，2-二甲氧基-2’-苯基苯乙酮、2-氨基苯乙酮、二烷基氨基苯乙酮等 苯乙酮类；苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚、苯偶姻 异丁基醚、1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基-2-甲基丙 烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮等苯偶姻 类；二苯甲酮、苯甲酰苯甲酸、苯甲酰苯甲酸甲酯、邻苯甲酰苯甲酸甲酯、4 -苯基二苯甲酮、羟基二苯甲酮、羟基丙基二苯甲酮、丙烯酰基二苯甲酮、4，4’ -二(二甲基氨基)二苯甲酮等二苯甲酮类；噻吨酮、2-氯噻吨酮、2-甲基 噻吨酮、二乙基噻吨酮、二甲基噻吨酮等噻吨酮类；全氟(叔丁基过氧化物)、 全氟过氧化苯甲酰等氟系过氧化物类；α-酰基肟酯、苄基-(邻乙氧基羰基) -α-单肟、酰基氧化膦、乙醛酸酯、3-酮基香豆素、2-乙基蒽醌、樟脑醌、 硫化四甲基秋兰姆、偶氮二异丁腈、过氧化苯甲酰、二烷基过氧化物、过氧化 新戊酸叔丁酯等。此外，这些光自由基引发剂可以单独使用，也可以将2种以 上组合使用。

作为通过光照射而生成阳离子的光阳离子引发剂，只要是通过光照射而引 发前述能够进行阳离子聚合的开环聚合性化合物类的阳离子聚合的化合物，就 没有特别限定，光阳离子引发剂例如优选为如鎓阳离子和与之配对的阴离子的 鎓盐那样进行光反应而释放出路易斯酸的化合物。

作为鎓阳离子的具体例子，可以列举二苯基碘鎓、4-甲氧基二苯基碘鎓、 二(4-甲基苯基)碘鎓、二(4-叔丁基苯基)碘鎓、二(十二烷基苯基)碘 鎓、三苯基锍、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍、二[4-(二苯基锍基)-苯 基]硫化物、二[4-(二(4-(2-羟基乙基)苯基)锍基)-苯基]硫化物、η5 -2，4-(环戊二烯基)[1，2，3，4，5，6-η-(甲基乙基)苯]-铁(1+)等。此 外，除了鎓阳离子以外，还可以列举过氯酸根离子、三氟甲磺酸根离子、甲苯 磺酸根离子、三硝基甲苯磺酸根离子等。

另一方面，作为阴离子的具体例子，可以列举四氟硼酸盐、六氟磷酸盐、 六氟锑酸盐、六氟砷酸盐、六氯锑酸盐、四(氟苯基)硼酸盐、四(二氟苯基) 硼酸盐、四(三氟苯基)硼酸盐、四(四氟苯基)硼酸盐、四(五氟苯基)硼 酸盐、四(全氟苯基)硼酸盐、四(三氟甲基苯基)硼酸盐、四(二(三氟甲 基)苯基)硼酸盐等。此外，这些光阳离子引发剂可以单独使用，也可以将2 种以上组合使用。

另外，在本发明中，除了具有光固化性基团的单体和光聚合引发剂以外， 还可以根据需要加入其它的公知成分。作为其它成分，可以列举抗老化剂、流 平剂、润湿性改良剂、表面活性剂、增塑剂等改性剂，紫外线吸收剂、防腐剂、 抗菌剂等稳定剂，光敏剂、硅烷偶联剂、溶剂等。

在本发明中，还可以使用热固化性单体组合物代替光固化性单体组合物。 在使用热固化性单体组合物时，最好在含氟环状烯烃聚合物(A)的玻璃化温 度以下的温度下进行固化，如果在其以上的温度下固化，则微细图案有时变形。

实施例

以下，在实施例中说明本发明，但本发明并不受这些例子的任何的限定。 另外，实施例中合成的聚合物的分析值测定方法、纳米压印成型方法及其观察 方法如下所述。

[重均分子量(Mw)、分子量分布(Mw/Mn)]

在下述条件下，使用凝胶渗透色谱(GPC)，按以下条件测定溶解在四氢 呋喃(THF)或三氟甲基甲苯(TFT)中的聚合物的重均分子量(Mw)和数 均分子量(Mn)，并用聚苯乙烯标样校正分子量。

检测器：日本分光制造的RI-2031和875-UV或Viscotec制造的 Model270，串联柱：Shodex K-806M，804，803，802.5，柱温：40℃流量： 1.0ml/分钟，试样浓度：3.0～9.0mg/ml

[含氟环状烯烃聚合物(A)的氢化率]

将进行了氢化反应的开环复分解聚合物粉末溶解在氘代氯仿、或氘代四氢 呋喃、或六氟苯和氘代氯仿的混合溶剂中，使用270MHz-¹H-NMR光谱， 由来自δ＝4.5～7.0ppm的主链双键碳上结合的氢的吸收光谱的积分值来算出 氢化率。

[含氟环状烯烃共聚物的组成比]

将进行了氢化反应的开环复分解聚合物粉末溶解在氘代四氢呋喃、或六氟 苯和氘代氯仿的混合溶剂中，加入邻二氟苯作为基准物质，使用373MHz-¹⁹F -NMR光谱，将δ＝-139ppm的邻二氟苯作为基准信号，并由来自通式(1) 和通式(2)的单元结构各自的δ＝-150～-200ppm的-CF、δ＝-100～- 150ppm的-CF₂、或δ＝-60～-100ppm的-CF₃的信号的积分值来算出组成 比。

[氟原子含有率]

氟原子含有率由以下算式(1)算出。

氟原子含有率(质量％)＝(Fn×19)×100/Fw(1)

此处，在算式(1)中，Fn＝Fn¹×(1-m)+Fn²×m，m为通式(2)的摩 尔分率，Fn¹和Fn²分别表示通式(1)和通式(2)所表示的结构单元中的氟 原子数，此外，Fw＝Fw¹×(1-m)+Fw²×m，Fw¹和Fw²分别表示通式(1) 和通式(2)所表示的结构单元的式量。

[玻璃化温度]

使用岛津制作所制造的DSC-50，在氮气氛围下以10℃/分钟の升温速度 对测定试样进行加热和测定。

[固体粘弹性测定]

使用TAinstruments公司制造的RSA-III，通过拉伸模式，在氮气氛围下、 3℃/分钟的升温速度、测定频率1Hz、能够进行固体粘弹性测定的夹具间试样 变形距离为0～4.2mm的范围内对测定试样进行测定。

[SEM图案观察]

转印有微细图案的膜状转印体的线和间隔以及截面的观察、膜厚测定使用 日本分光公司制造的扫描型电子显微镜JSM-6701F(以下记作SEM。)。对于 线和间隔的宽度，从SEM截面照片中任意选择3点图案，将高度的1/2作为 测量位置，分别测量线和间隔，由所得的平均值算出。

[压印所使用的模具]

使用协同国际(International)制造的硅模具，对于模具尺寸，将凸部的宽 度记作L1，将凸部和凸部的等间距记作L2，将凸部的高度记作L3，将具有模 具A的各尺寸为L1＝420nm、L2＝570nm、L3＝1600nm，模具B的各尺寸为 L1＝200nm、L2＝100nm、L3＝160nm的图案的部分用于转印性评价。

[UV固化]

对于涂布膜的固化，使用辐深紫外(Fusion UV)系统·日本公司制造的 UV照射装置作为光源，照射320～390nm(无电极放电灯·D灯泡)的蓝色光 进行固化。

[膜的利用铅笔法所进行的划痕硬度测定]

使用旋涂于玻璃基板上的膜，根据JIS K5600-5-4(铅笔划痕试验方法) 测定载荷100g的划痕硬度。

[膜的线膨胀系数测定]

使用SII制造的TMASS120，从剥离涂布于玻璃基板上的膜所得的厚度为 9～10μm的膜上切割出4mm(宽度)×10mm(夹具间)的样品，通过拉伸模 式，在载荷1.0g、5mm/min的升温速度下，从20℃加热到伸长1mm的温度， 进行测定。线膨胀系数由从软化点到伸长1mm范围的温度以及膜的伸长率进 行分析。

[UV透过率测定]

使用岛津制作所制造的UV-3100S，测定剥离涂布于玻璃基板上的膜所 得的厚度为7～9μm的独立膜。

[实施例1]

聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的合成

向5，5，6-三氟-6-(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯(100g)和1-己 烯(268mg)的四氢呋喃溶液中添加Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph) (OCMe(CF₃)₂)₂(70mg)的四氢呋喃溶液，在70℃进行开环复分解聚合。 使用钯氧化铝(5g)，在160℃对所得聚合物的烯烃部分进行氢化反应，从而 得到聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的四氢呋喃溶液。

将溶液添加到甲醇中，过滤出白色的聚合物并干燥，得到99g的聚合物。 氢化率为100％，重均分子量(Mw)为127000，分子量分布(Mw/Mn)为1.70， 玻璃化温度为109℃。氟原子含有率为52.3质量％。

接着，对所得的氢化后的聚合物粉进行热压，制作厚度为0.37mm的热压 片材。由拉伸模式下所测定的固体粘弹性测定结果可知：在玻璃化温度以上的 平缓的储能模量或损耗模量的变化区域的113℃到152℃的范围中，储能模量 为5.81～0.57MPa，在117℃到152℃的范围中，损耗模量为3.05～0.27MPa， 相对于温度的储能模量的变化为-0.13MPa/℃，损耗模量的变化为- 0.08MPa/℃。

[实施例2]

聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的合成

除了将催化剂变更为Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OBu^t)₂(50mg) 以外，和实施例1同样地得到聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基 乙烯)(98g)。氢化率为100％，重均分子量(Mw)为83000，分子量分布(Mw/Mn) 为1.73，玻璃化温度为108℃。氟原子含有率为52.3质量％。

接着，对所得的氢化后的聚合物粉进行热压，制作厚度为0.37mm的热压 片材。由拉伸模式下所测定的固体粘弹性测定结果可知：在玻璃化温度以上的 平缓的储能模量或损耗模量的变化区域的109℃到150℃的范围中，储能模量 为4.98～0.58MPa，在113℃到150℃的范围中，损耗模量为2.96～0.31MPa， 相对于温度的储能模量的变化为-0.12MPa/℃，损耗模量的变化为- 0.07MPa/℃。

[实施例3]

聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全氟乙基-3，5-亚环戊基乙烯)的合 成

除了将单体变更为5，6-二氟-5-三氟甲基-6-全氟乙基双环[2.2.1]庚 -2-烯(50g)、将催化剂变更为Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OBu^t) ₂(17mg)以外，和实施例1同样地得到聚(1，2-二氟-1-三氟甲基-2-全 氟乙基-3，5-亚环戊基乙烯)(49g)。氢化率为100％，重均分子量(Mw)为 95000，分子量分布(Mw/Mn)为1.52，玻璃化温度为110℃。氟原子含有率 为59.7质量％。

接着，对所得的氢化后的聚合物粉进行热压，制作厚度为0.37mm的热压 片材。由拉伸模式下所测定的固体粘弹性测定结果可知：在玻璃化温度以上的 平缓的储能模量或损耗模量的变化区域的115℃到160℃的范围中，储能模量 为5.01～0.55MPa，在119℃到160℃的范围中，损耗模量为3.10～0.24MPa， 相对于温度的储能模量的变化为-0.12MPa/℃，损耗模量的变化为- 0.07MPa/℃。

[实施例4]

5，5，6-三氟-6-(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯和8，8，9-三氟-9- (三氟甲基)-四环[4.4.0.1_2，5.1^7，10]-3-十二烯共聚物的合成

向5，5，6-三氟-6-(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯(50g)和8，8，9- 三氟-9-(三氟甲基)-四环[4.4.0.1^2，5.1^7，10]-3-十二烯(22g)以及1-己 烯(0.462g)的四氢呋喃溶液中添加Mo(N-2，6-Prⁱ₂C₆H₃)(CHCMe₂Ph)(OBu^t) ₂(33.9mg)的四氢呋喃溶液，在70℃进行开环复分解聚合。使用钯氧化铝 (3.6g)，在160℃对所得聚合物的烯烃部分进行氢化反应，得到5，5，6-三氟 -6-(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯和8，8，9-三氟-9-(三氟甲基)- 四环[4.4.0.1^2，5.1^7，10]-3-十二烯共聚物的四氢呋喃溶液。将溶液添加到甲醇中， 过滤出白色的聚合物并干燥，得到71g的聚合物。氢化率为100％，重均分子 量(Mw)为98000，分子量分布(Mw/Mn)为2.51，玻璃化温度为129℃。 组成比为[I]/[II]＝75/25，氟原子含有率为49.2质量％。

接着，对所得的氢化后的聚合物粉进行热压，制作厚度为0.37mm的热压 片材。由拉伸模式下所测定的固体粘弹性测定结果可知：在玻璃化温度以上的 平缓的储能模量或损耗模量的变化区域的149℃到175℃的范围中，储能模量 为4.78～0.39MPa，在154℃到175℃的范围中，损耗模量为4.80～0.19MPa， 相对于温度的储能模量的变化为-0.17MPa/℃，损耗模量的变化为- 0.22MPa/℃。

[实施例5]

转印体的制造

在50g以27质量％浓度溶解有实施例1中合成的Mw＝127000的聚(1，1，2 -三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的环己酮溶液中，添加13.5g含 有1.0质量％通式(10)所示的UV固化树脂单体(U15-HA、新中村化学工 业制)和0.03质量％光聚合引发剂(Esacure KTO46、Lamberti制)的2-甲 氧基乙醇溶液，将20mg所得的溶液滴在模具A的图案上，通过旋涂进行均匀 涂布。

接着，在氮气流下于室温下干燥30分钟，然后在180℃干燥30分钟，再 放冷至室温。以500mJ/cm²的光量进行UV照射，使固化树脂固化后，从模具 上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为8μm的膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝569nm、L2＝421nm、L3＝1595nm。

另外，在玻璃基板上涂布该溶液所得的膜的铅笔硬度为HB，剥离厚度为 9μm的膜的345～385nm平均透过率为92.9％，厚度为9μm的膜的软化点 107℃～124℃的范围的线膨胀系数为0.52％/℃。

化16

[实施例6]

在50g以27质量％浓度溶解有实施例2中合成的Mw＝83000的聚(1，1，2 -三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的环己酮溶液中，添加13.5g含 有1.0质量％实施例5所述的UV固化树脂单体和0.03质量％光聚合引发剂的 2-甲氧基乙醇溶液，将20mg所得的溶液滴在模具A的图案上，通过旋涂进 行均匀涂布。

接着，在氮气流下于室温下干燥30分钟，然后在180℃干燥30分钟，再 放冷至室温。以500mJ/cm²的光量进行UV照射，使固化树脂固化后，从模具 上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为7μm的膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝571nm、L2＝419nm、L3＝1594nm。

另外，在玻璃基板上涂布该溶液所得的膜的铅笔硬度为HB，剥离厚度为 7μm的膜的345～385nm平均透过率为93.0％。

[实施例7]

除了将实施例5的模具A变更为模具B以外，和实施例5同样地制作膜 状转印体。膜厚为7μm，由SEM图案观察结果可知，L1＝101nm、L2＝199nm、 L3＝161nm。

[实施例8]

在50g以27质量％浓度溶解有实施例1中合成的Mw＝127000的聚(1，1，2 -三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的环己酮溶液中，添加13.5g含 有3.0质量％实施例5所述的UV固化树脂单体和0.09质量％光聚合引发剂的 2-甲氧基乙醇溶液，将20mg所得的溶液滴在模具A的图案上，通过旋涂进 行均匀涂布。

接着，在氮气流下于室温下干燥30分钟，然后在180℃干燥30分钟，再 放冷至室温。以500mJ/cm²的光量进行UV照射，使固化树脂固化后，从模具 上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为9μm的膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝571nm、L2＝419nm、L3＝1594nm。

另外，在玻璃基板上涂布该溶液所得的膜的铅笔硬度为F，剥离厚度为 10μm的膜的345～385nm平均透过率为88.9％，厚度为10μm的膜的软化点 108℃～139℃的范围的线膨胀系数为0.31％/℃。

[实施例9]

除了将UV固化树脂单体变更为通式(11)(PE-4A、共荣公司化学制) 所示的单体以外，按照实施例5中所述的方法，得到转印有微细图案的膜厚为 8μm的膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝570nm、L2＝420nm、L3＝1595nm。

另外，在玻璃基板上涂布该溶液所得的膜的铅笔硬度为HB，剥离厚度为 8μm的膜的345～385nm平均透过率为94.2％。

化17

[实施例10]

除了将UV固化树脂单体变更为通式(12)(A-9530、新中村化学工业 制)所示的单体以外，按照实施例5中所述的方法，得到转印有微细图案的膜 厚为9μm的膜状转印体。使用SEM进行图案观察的结果为L1＝571nm、L2 ＝419nm、L3＝1594nm。

另外，在玻璃基板上涂布该溶液所得的膜的铅笔硬度为HB，剥离厚度为 9μm的膜的345～385nm平均透过率为93.2％。

化18

[实施例11]

除了将UV固化树脂单体变更为UV固化型硬涂剂(FH-900，DIC制) 以外，按照实施例5中所述的方法，得到转印有微细图案的膜厚为8μm的膜 状转印体。使用SEM进行图案观察的结果为L1＝570nm、L2＝420nm、L3＝ 1595nm。

另外，在玻璃基板上涂布该溶液所得的膜的铅笔硬度为HB，剥离厚度为 8μm的膜的345～385nm平均透过率为94.8％。

[实施例12]

在50g以20质量％浓度溶解有实施例3中合成的Mw＝95000的聚(1，2 -二氟-1-三氟甲基-2-全氟乙基-3，5-亚环戊基乙烯)的环己酮溶液中， 添加13.5g含有1.0质量％实施例5所述的UV固化树脂单体和0.03质量％光 聚合引发剂的2-甲氧基乙醇溶液，将20mg所得的溶液滴在模具A的图案上， 通过旋涂进行均匀涂布。

接着，在氮气流下于室温下干燥30分钟，然后在180℃干燥30分钟，再 放冷至室温。以500mJ/cm²的光量进行UV照射，使固化树脂固化后，从模具 上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为8μm的膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝569nm、L2＝421nm、L3＝1594nm。

另外，在玻璃基板上涂布该溶液所得的膜的铅笔硬度为HB，剥离厚度为 8μm的膜的345～385nm平均透过率为95.4％。

[实施例13]

在50g以27质量％浓度溶解实施例4中合成的Mw＝98000的5，5，6-三 氟-6-(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯和8，8，9-三氟-9-(三氟甲基) -四环[4.4.0.1^2，5.1^7，10]-3-十二烯共聚物的环己酮溶液中，添加13.5g含有1.0 质量％实施例5所述的UV固化树脂单体和0.03质量％光聚合引发剂的2-甲 氧基乙醇溶液，将20mg所得的溶液滴在模具A的图案上，通过旋涂进行均匀 涂布。

接着，在氮气流下于室温下干燥30分钟，然后在180℃干燥30分钟，再 放冷至室温。以500mJ/cm²的光量进行UV照射，使固化树脂固化后，从模具 上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为9μm的膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝570nm、L2＝420nm、L3＝1595nm。

另外，在玻璃基板上涂布该溶液所得的膜的铅笔硬度为F，剥离厚度为 9μm的膜的345～385nm平均透过率为92.1％。

[实施例14]

使用复制模具来制造丙烯酸系固化树脂转印体

通过棒涂，在石英玻璃上均匀涂布60mg丙烯酸系UV固化树脂(ARONIX 东亚合成制)。

接着，将作为复制模具的实施例5中制作的由聚(1，1，2-三氟-2-三氟 甲基-3，5-亚环戊基乙烯)组合物所得的膜状转印体按压在涂布液膜上，使 其盖住图案面，在室温下从复制模具的背面照射UV15分钟(照射线量： 34mJ/cm²)。照射后，从模具上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为70μm的 膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝420nm、L2＝570nm、L3＝1595nm。

[实施例15]

使用复制模具来制造环氧系固化树脂转印体

通过棒涂，在石英玻璃上均匀涂布45mg以锍盐为引发剂的环氧系固化树 脂(40质量％4，4’-二(7-氧杂双环[4.1.0]庚烷-3-基)、50质量％3-乙基 -3-(苯氧基甲基)氧杂环丁烷和10质量％1，4-二[((3-乙基氧杂环丁烷 -3-基)甲氧基)甲基]苯的混合物)。

接着，将作为复制模具的实施例5中制作的由聚(1，1，2-三氟-2-三氟 甲基-3，5-亚环戊基乙烯)组合物所得的膜状转印体按压在涂布液膜上，使 其盖住图案面，在室温下从复制模具的背面照射UV15分钟(照射线量： 34mJ/cm²)。照射后，从模具上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为60μm的 膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝421nm、L2＝569nm、L3＝1596nm。

[实施例16]

在42g以60质量％浓度溶解有实施例2中合成的Mw＝83000的聚(1，1，2 -三氟-2-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的甲乙酮溶液中，添加8g含有 0.8g(1.6质量％)通式(13)所示的UV固化树脂单体(Denacol EX-411、 Nagase chemteX制)、7.0g(14质量％)二[2-(3-氧杂环丁基)丁基]醚(东 亚合成制)和0.016g(0.3质量％)作为光聚合引发剂的光阳离子引发剂(Adeka Optomer SP-172，旭电化制)的甲乙酮溶液，将20mg所得的涂布液滴在模 具A的图案上，通过旋涂进行均匀涂布。

接着，在60℃干燥5分钟，再放冷至室温。以500mJ/cm²的光量进行UV 照射，使固化树脂固化后，从模具上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为9μm 的膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝570nm、L2＝420nm、L3＝1595nm。

另外，在玻璃基板上涂布该溶液所得的膜的铅笔硬度为B，剥离厚度为 8μm的膜的345～385nm平均透过率为94.2％。

化19

[比较例1]

将实施例1中合成的Mw＝127000的聚(1，1，2-三氟-2-三氟甲基-3，5 -亚环戊基乙烯)以20质量％浓度溶解在环己酮中，将20mg制备的溶液滴 在模具A的图案上，通过旋涂进行均匀涂布。

接着，在氮气流下于室温下干燥30分钟，然后在180℃干燥30分钟。在 氮气下将模具放冷至室温，从模具上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为8μm 的膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝568nm、L2＝422nm、L3＝1594nm。

另外，在玻璃基板上涂布该溶液所得的膜的铅笔硬度为4B，剥离厚度为 10μm的膜的345～385nm平均透过率为95.1％，厚度为9μm的膜的软化点 108℃～118℃的范围的线膨胀系数为0.93％/℃。

[比较例2]

聚(1-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的合成以及使用涂布法的转印体 的制造

除了将单体变更为5-(三氟甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯(10g)以外， 和实施例1同样地得到聚(1-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)(9g)。氢化率 为100％，重均分子量(Mw)为98000，分子量分布(Mw/Mn)为1.17，玻 璃化温度为47℃。此外，氟原子含有率为34.7质量％。

由使用厚度为0.37mm的热压片材所测定的拉伸模式的固体粘弹性测定结 果可知：未见在玻璃化温度以上的温度区域中的平缓的储能模量或损耗模量的 变化区域，在48℃到57℃的范围中，储能模量为92.3～0.11MPa，在相同温度 范围中，损耗模量为97.1～0.13MPa，相对于温度的储能模量的变化为- 10.2MPa/℃，损耗模量的变化为-10.8MPa/℃。

接着，将所得的聚(1-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)以20质量％浓度 溶解在环己酮中，将23mg制备的溶液滴在模具A的图案上，通过棒涂进行均 匀涂布。在氮气流下于室温下干燥30分钟，然后在180℃干燥30分钟。在氮 气下将模具冷却至5℃，从模具上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为7μm的 膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝569～598nm的杂乱的线状。

[比较例3]

使用由聚(1-三氟甲基-3，5-亚环戊基乙烯)和UV固化树脂组合物所 构成的涂布液的转印体的制造

在5g以27质量％浓度溶解有比较例2中合成的Mw98000的聚(1-三氟 甲基-3，5-亚环戊基乙烯)的环己酮溶液中，添加1.35g含有1.0质量％实施 例4中所述的UV固化树脂单体和0.03质量％光聚合引发剂的2-甲氧基乙醇 溶液，将20mg所得的溶液滴在模具A的图案上，通过旋涂进行均匀涂布。

接着，在氮气流下于室温下干燥30分钟，然后在180℃干燥30分钟，再 放冷至室温。以500mJ/cm²的光量进行UV照射，使固化树脂固化后，从模具 上剥离，得到转印有微细图案的膜厚为9μm的膜状转印体。

使用SEM进行图案观察的结果为L1＝570～592nm的杂乱的线状。

[比较例4]

使用UV固化树脂的转印体制造

在2-甲氧基乙醇中以30质量％的浓度溶解实施例5中所述的UV固化树 脂单体和以0.9质量％的浓度溶解光聚合引发剂，将30mg所得的溶液滴在模 具A的图案上，通过旋涂进行均匀涂布。

接着，在氮气流下于室温下干燥30分钟，然后在180℃干燥30分钟，再 放冷至室温。以500mJ/cm²的光量进行UV照射，使固化树脂固化后，尝试从 模具上剥离，但膜脆且破裂，无法剥离。

另外，在玻璃基板上涂布该溶液所得的膜的铅笔硬度为9H以上，剥离厚 度为9μm的膜的345～385nm平均透过率为83.2％。

工业实用性

由含有具有特定结构的含氟环状烯烃聚合物(A)、光固化性化合物(B) 和光固化引发剂(C)的本发明的含氟环状烯烃聚合物组合物所得的转印体可 以用作纳米压印法中的转印体本身或复制模具，工业价值极高。使用本发明的 制造方法所得的具有微细图案的转印体或使用该转印体作为复制模具所制造 的固化物可以用作光学元件(微透镜阵列、光波导、光开关、菲涅耳环板、二 元光学元件、闪耀光学元件、光子晶体等)、抗反射滤光片、生物芯片、微反 应器芯片、记录介质、显示器材料、催化剂载体等。

本发明还可以采取以下方式。

(a)一种含氟环状烯烃聚合物组合物，其含有含通式(1)所表示的重复 结构单元且氟原子含有率为40～75质量％的含氟环状烯烃聚合物(A)、光固 化性化合物(B)和光固化引发剂(C)。

化20

(式(1)中，R¹～R⁴选自由氟、含氟的碳原子数为1～10的烷基、氢和 碳原子数为1～10的烷基所组成的组，并且R¹～R⁴中的至少一个为氟或含氟 的碳原子数为1～10的烷基。R¹～R⁴也可以相互结合而形成环结构。)

(b)如(a)所述的含氟环状烯烃聚合物组合物，其特征在于，前述含氟 环状烯烃聚合物(A)和光固化性化合物(B)的质量比(A)/(B)为99.9/0.1～ 80.0/20.0的范围。

(c)如(a)或(b)所述的含氟环状烯烃聚合物组合物，其特征在于， 前述含氟环状烯烃聚合物(A)是在玻璃化温度以上的温度区域中具有对于温 度变化、储能模量或损耗模量的变化为-1～0MPa/℃的区域的含氟环状烯烃 聚合物。

(d)如(c)所述的含氟环状烯烃聚合物组合物，其特征在于，前述含氟 环状烯烃聚合物(A)是在玻璃化温度以上的温度区域中的平缓的储能模量或 损耗模量的变化区域位于0.1MPa以上的储能模量或损耗模量区域的含氟环状 烯烃聚合物。

(e)一种在表面上具有微细图案的转印体，其通过使(a)～(d)中任 一项所述的含氟环状烯烃聚合物组合物与表面上具有微细图案的模具的模具 表面接触，并照射光使其固化，然后转印模具表面的微细图案而得到。

(f)一种转印体的制造方法，其特征在于，通过使(a)～(d)中任一 项所述的含氟环状烯烃聚合物组合物的溶液与表面上形成了微细图案的模具 接触、加热、照射光使其固化，从而转印模具的图案。

(g)一种在表面上转印有微细图案的固化物的制造方法，其是通过使(e)所 述的转印体具有微细图案的表面与光固化性单体组合物接触，并照射光使其固 化，然后将转印体脱模而得到的。