激光处理头以及用于补偿激光处理头的聚焦位置的改变的方法

摘要

本发明涉及通过工作激光束(108)处理工件的激光处理头(100)，具有：具有在束路径中布置在其前方的成像透镜系统(116)的相机(102)，用于观察由工作激光束(108)处理的工件的处理区域；用于将工作激光束(108)聚焦至工件表面(104)上或者聚焦至相对于工件表面(104)而定义的位置的聚焦透镜系统(114)；以及设计为通过成像透镜系统(116)在光轴方向上的调整行程(ΔdKL)来计算校正调整行程(ΔzOS，ΔzB)，以在聚焦透镜系统(114)的焦点偏移时重新聚焦图像的评估单元(122)，该校正调整行程补偿聚焦透镜系统(114)相对于工件表面(104)或相对于工件表面(104)而定义的位置的焦点偏移。