判断半导体生产设备之间的匹配程度的方法

摘要

本发明提供一种判断半导体生产设备之间的匹配程度的方法，包括步骤：分别提供标准设备和待匹配设备的比较参数的平均值和标准差；分别计算标准设备的比较参数的正态分布曲线的规格上限和规格下限；计算待匹配设备的比较参数的正态分布曲线与横轴间的面积大小，令为第二面积；将标准设备的比较参数的正态分布曲线与横轴间的面积大小令为第一面积，计算第二面积与第一面积的比值，即获得待匹配设备与标准设备之间的匹配程度。本发明的方法简单实用，而且效率很高，既科学又合理，为全面科学决策与提高数据分析手段都是很好的尝试，收到较好的效果。