光谱纯度滤光片、光刻设备和用于制造光谱纯度滤光片的方法

摘要

一种透射型光谱纯度滤光片，配置成透射极紫外辐射，且包括具有多个孔的滤光片部分，所述孔用于透射极紫外辐射和抑制第二类型的辐射的透射。所述孔可以通过各向异性蚀刻过程在诸如硅等半导体材料中制造。半导体材料设置有耐氢层，诸如氮硅化合物Si3N4、二氧化硅SiO2或碳化硅SiC。粗糙度特征可以在孔的侧壁中被扩大。滤光片部分的厚度可以小于约20μm，孔的宽度为约2μm至约4μm。