微机电装置及应用于一微机电装置的复合基材

摘要

本发明提供一种微机电装置及应用于一微机电装置的复合基材。微机电装置包含一第一硅结构层及一第二硅结构层，第二硅结构层固定地连接第一硅结构层。第一硅结构层具有一可扭转的杆件及一第一平面，并定义有一第一晶格方向及一第二晶格方向，第一晶格方向的米勒指标为，第二晶格方向的米勒指标为，第一晶格方向及第二晶格方向平行第一平面，杆件具有一转轴方向，转轴方向平行第一平面，且与第二晶格方向交错。藉此，便可改善微机电装置中杆件的扭转刚性。