半导体开尔文测试探针

摘要

本发明涉及一种半导体测试器件，尤其是半导体开尔文测试探针。它包括探针探测本体，所述探针探测本体上套装一弹簧，探针探测本体的探测端露出于弹簧外，探测尖端为单斜面与圆柱面形成的尖端；探测本体由两个相互平行对称于中心轴平面，将探测本体切割成腰形柱体；所述弹簧包括探针探测本体套接部和探针设备固定端套接部，所述弹簧的探针探测本体套接部直径，大于探针的探测端；弹簧的探针设备固定端套接部直径，大于探针的设备固定端。本发明的半导体开尔文测试针成对使用时，使探针探测尖端的间距实现了微间距，0.10mm，的探测。从而实现了高密度半导体引脚的精密的四线测试。