压电振动片的制造方法、晶片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要

本发明提供一种压电振动片的制造方法，其中，在抗蚀图案形成工序中，将在准备用于一个电极膜的掩模部件形成的掩模侧标记，与形成于晶片(S)的多个晶片侧标记(S3、S4)之中的对应于该掩模部件的晶片侧标记(S3、S4)对位的同时，在晶片(S)配置掩模部件，掩模侧标记由互相隔开间隔地形成的一对标记部构成，并且该一对标记部间的间隔按多个掩模部件的每一个而不同，多个晶片侧标记(S3、S4)分别由互相隔开间隔地形成的一对凹部(S5、S6)构成，且该一对凹部(S5、S6)间的间隔，以与该晶片侧标记(S3、S4)对应的掩模部件中的一对标记部间的间隔相等的方式，按多个晶片侧标记(S3、S4)的每一个而不同。从而，防止在误配置掩模部件的状态下形成抗蚀图案而实现低成本化。