机译:小型化的双压电晶片压电振动器的低频结构控制型惯性作动器
Shanghai Jiao Tong Univ, Dept Micro Nano Elect, Natl Key Lab Sci & Technol Micro Nano Fabricat, Shanghai 200240, Peoples R China;
Zhejiang Normal Univ, Inst Precis Machinery, Jinhua 321004, Zhejiang, Peoples R China;
Zhejiang Normal Univ, Inst Precis Machinery, Jinhua 321004, Zhejiang, Peoples R China;
Shanghai Jiao Tong Univ, Dept Micro Nano Elect, Natl Key Lab Sci & Technol Micro Nano Fabricat, Shanghai 200240, Peoples R China;
High resolution; high stability; inertial actuator; linear motion; piezoelectric;
机译:一种低频结构控制型惯性执行器,使用小型化双芯片压电振动器
机译:使用单一双芯片振动器的线性惯性压电致动器
机译:压电双芯片致动器低频带的能量收集分析评价与实验验证
机译:微型双压电晶片压电流量泵
机译:使用压电双压电晶片执行器控制智能弹丸的实验和理论控制。
机译:软聚合物压电双压电晶片悬臂式蠕动微型泵
机译:使用压电双压电晶片单元的微型柔性臂的跟踪控制