一种能实时补偿波前畸变的调焦调平系统及补偿方法

摘要

一种能实时补偿波前畸变的调焦调平系统及补偿方法，该系统包括投影方和探测方，从投影方出射的光束经硅片面反射后由探测方的探测狭缝面成像，其特征在于，在探测狭缝面前方设置闭环波前补偿系统，该闭环系统包括波前传感器、波前控制器和波前校正器，光束到达波前传感器的光程与到达探测狭缝面的光程相同，光束进入波前校正器后，矫正后的光束分成两部分，其中的较大部分的光束成像在探测狭缝面上，较小部分的光束进入波前传感器，由波前传感器实时探测出波前误差，波前控制器根据波前传感器测得的误差信号，驱动波前校正器进行波前校正。