公开/公告号CN102427201A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-04-25
原文格式PDF
申请/专利权人 西安欧益光电科技有限公司;
申请/专利号CN201110358261.7
申请日2011-11-11
分类号H01S3/09(20060101);H01S3/0941(20060101);H01S3/109(20060101);
代理机构61205 陕西电子工业专利中心;
代理人田文英
地址 710016 陕西省西安市经济技术开发区草滩生态产业园南环路中段6号
入库时间 2023-12-18 04:59:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-12
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01S3/09 申请公布日:20120425 申请日:20111111
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-06-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S3/09 申请日:20111111
实质审查的生效
2012-04-25
公开
公开
机译: 脉冲光的产生方法,脉冲激光装置,具有脉冲激光装置的曝光装置以及具有脉冲激光装置的检查装置
机译: 脉冲光产生方法,具有脉冲激光装置的脉冲激光装置,曝光装置和具有脉冲激光装置的检查装置
机译: 极紫外光产生装置,产生极紫外光的方法,集中脉冲激光束测量装置和测定集中脉冲激光束的方法