线性运动驱动器及线性运动驱动器单元的制造方法

摘要

本发明提供线性运动驱动器及线性运动驱动器单元的制造方法。该线性运动驱动器包括线性运动驱动器主体(2)、用于收纳线性运动驱动器主体(2)的壳体(3)及以浸渍线性运动驱动器主体(2)的线圈(44)的状态填充到壳体(3)内的、具有绝缘性的油(L)。采用该构造，由线圈(44)产生的热量被迅速地放出到油(L)中，直接传导到壳体(3)。由于油(L)不言而喻也能到达线圈(44)的间隙中，因此，能够非常高效地排出热量。这样，通过改良散热特性，能够提供一种能够实现小型轻量化的线性运动驱动器。

说明书

技术领域

本发明涉及线性运动驱动器及线性运动驱动器单元的制造 方法。

背景技术

以往，使可动件相对于定子往复动作的线性运动驱动器应 用于压缩机等各种用途。

而且，现今鉴于环境问题，在汽车行业中，燃烧消耗率改 良正在发展。作为燃烧消耗率改良对策，从车辆的轻量化、怠 速运转的低旋转化、锁止(lock up)区域的扩大、可变排量发 动机(Variable Displacement Engine)、清洁柴油发动机 (Clean Diesel engine)、稀薄燃烧等各个方面进行了开发。 而且，这些对策均会使车体振动增大也是众所周知的，为了避 免该振动增大，研究了一种利用线性运动驱动器驱动重锤，利 用其反作用力相对于车体的振动付与反相位的振动来抑制车体 振动的主动质量阻尼器(active mass damper)、即减振装置 (例如参照专利文献1)。由于主动质量阻尼器用驱动器大多主 要配置在发动机室内，因此，被要求在严苛的温度条件等恶劣 环境下可靠性极高，并且需要小型轻量的驱动器。

另一方面，在该线性运动驱动器中，为了在长时间运转过 程中也能够以较高的精度保持定子和可动件的相对位置，也公 开了借助板簧支承的技术等、用于提高性能的各种技术(例如 参照专利文献2)。

专利文献1：日本特开2006-162024号公报

专利文献2：日本特开2004-343964号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在上述专利文献1所述的、在壳体内收容有线性运 动驱动器的减振装置的情况下，由线圈产生的热量被汲出的情 况下的放出路径的大部分采取自线圈经由绕线管、定子芯传导 到轴、然后经由固定有轴的壳体的规定部位向车体侧传导这样 的放出路径。即，由线圈产生的热量基本上仅是在线性运动驱 动器自身中传导的路径中导热，易于蓄热。结果，该减振装置 所采用的线性运动驱动器自然相对于壳体的热阻升高，由于这 样的不良，实际上总是在线圈的温度上升的状态下使用，因此， 相对于电动机规格，能力、即额定推力较低。换言之，为了得 到所需的推力，必须采用具有更大的额定推力的部件，无法避 免装置的大型化。

另外，像上述专利文献2那样，这种减振装置为了较佳地 维持可动件相对于定子的支承精度来提高可靠性，一般考虑设 置通过弹性变形而使定子以可动件能够往复动作的方式支承可 动件的板簧，但在这种情况下，需要用于长时间地确保稳定的 性能和长寿命化的微振磨损对策。在此，微振磨损是指在某一 表面压力下接触的物体之间产生伴随着摩擦力的微小的反复相 对滑动的现象，伴随着微振磨损的部位、详细地讲是板簧的安 装部位及其附近的材料的疲劳现象被称作微振磨损疲劳。为了 扩大运动行程范围和确保径向刚性，有时重叠多枚薄板状的板 簧来使用，一直以来在该板簧的重叠部分夹入比板簧柔软的例 如铜板的隔离件或者涂敷微振磨损防止用润滑脂来进行上述微 振磨损对策，但存在润滑脂蒸发的不良、因夹入铜板的隔离件 而使构造复杂化的难点，不能说是很好的对策。

此外，如上所述，减振装置也必须考虑到由于主要放置在 发动机室内而温度条件严苛的状况，特别要求应对上述不良的 对策。

本发明是着眼于上述不良而完成的，其目的在于新提供也 能够应用于减振装置、励振装置等的、通过改良散热特性能够 有效地实现小型轻量化等的线性运动驱动器以及将其单元化的 线性运动驱动器单元的制造方法。

用于解决问题的方案

本发明为了达到该目的，采取如下的手段。

即，本发明的线性运动驱动器的特征在于，包括：线性运 动驱动器主体，其具有定子和能够相对于该定子在规定方向上 往复动作的可动件；壳体，其在固定了上述线性运动驱动器主 体的一部分的状态下大致包围该线性运动驱动器主体的周围； 液状体，其以浸渍上述线性运动驱动器主体所具有的线圈的状 态填充到上述壳体的内部空间中，该液状体具有绝缘性和润滑 性。

采用该装置，由线圈产生的热量被迅速地放出到液状体中， 直接传导到壳体。具体地讲，由于液状体不言而喻也能到达线 圈的间隙中，因此，能够非常高效地排出热量，从而能够使驱 动器主体和壳体之间的热阻相比于以往大幅度降低。而且，同 时通过可动件运动而不断地搅拌液状体，因此，能够得到良好 的导热，并且，传导到液状体的热量不仅能够从壳体和车体的 接触部位放出到壳体外，也能够从其他的外表面放出到壳体外。 这样，由于能够有效地抑制由线圈发热引起的温度上升，因此 热时间常数也变长，大幅度地改善了由线圈发热引起的线性运 动驱动器自身的额定推力、瞬间最大推力的降低。结果，即使 将线性运动驱动器主体小型化，也能够得到所需的额定推力、 瞬间最大推力，因此，能够实现作为应用对象的减振装置、励 振装置等装置其自身的小型轻量化。不言而喻，该线性运动驱 动器的用途并不限定于减振装置、励振装置。

而且，作为使用该线性运动驱动器有效地抑制减振对象物 的振动的具体形态，能够列举出将上述定子的一部分固定在上 述壳体上，将该壳体的一部分固定在减振对象物上，将上述可 动件动作时的反作用力通过上述定子和上述壳体传递到上述减 振对象物。

另外，为了简单且适当地维持可动件相对于定子的支承精 度来提高可靠性，优选的是，上述定子还具有通过弹性变形以 使上述可动件能够往复动作的方式支承该可动件的板簧、滑动 轴承等可动支承部，上述液状体以浸渍上述可动支承部的状态 填充到上述内部空间中。即，该构造自然而然能够实现作为以 车载为目的的减振装置采用可动支承部的情况下的上述微振磨 损对策。即，由于可动支承部的安装部位及其附近如上所述地 由液状体填满，因此，既能够避免润滑脂蒸发这样的不良，也 能够避免夹入铜板的隔离件这样的构造复杂化，有效地避免上 述摩擦、即微振磨损。此外，在本申请中，能够通过向空间中 加入粘性比空气大的液状体来对可动支承部付与减震，由于可 动支承部的变动稳定，因此能够非常顺畅地运转，也能够有助 于降低噪音。

而且，为了实现壳体的薄壁化并进一步提高上述散热特性， 优选的是上述液状体填充到上述内部空间的80％～95％。即， 通过用液状体填满形成在壳体和线性运动驱动器主体之间的内 部空间的80％～95％的容积，以往全部是空气的壳体内部空间 中的空气容积大幅度地变小，因此，随着温度上升而产生的空 气的膨胀量、收缩量大幅度变少。结果，即使不将壳体做成完 全密闭型的容器，空气所含有的水分也会变少，随之油等液状 体由于氧化引起的老化变少，液状体的寿命变长。

或者，通过将壳体做成能够呼吸的容器，能够解决内部压 力的问题。结果，壳体的薄壁化、片材的选择项变多，能够谋 求成本降低。此外，与利用可动件的动作来搅拌液状体的情况 相结合，液状体接触于壳体的内表面的大致全部区域，因此， 能够自壳体表面的大致全部区域放出热量。

该线性运动驱动器将线性运动驱动器主体以其一部分固定 在壳体上且周围被该壳体包围的状态收容在该壳体内，在将线 性运动驱动器主体收容在该壳体内之前或者收纳在该壳体内之 后，向该壳体内以浸渍该线性运动驱动器主体的线圈的状态填 充具有绝缘性和润滑性的液状体，在填充结束之前或者填充结 束之后，对该液状体实施用于避免在该液状体与上述线性运动 驱动器主体之间形成气泡的气泡除去上述线性运动驱动器主体 具有定子和能够相对于该定子在规定方向上往复动作的可动 件，上述做法在得到特别良好的散热特性的方面非常有效，。

另一方面，本发明的线性运动驱动器单元的制造方法为了 将该线性运动驱动器单元化而较佳地提供，新提供一种线性运 动驱动器单元，该线性运动驱动器单元包括：线性运动驱动器 主体，其具有定子和能够相对于该定子在规定方向上往复动作 的可动件；壳体，其在固定了上述线性运动驱动器主体的一部 分的状态下大致包围该线性运动驱动器主体的周围；液状体， 其以浸渍上述线性运动驱动器主体所具有的线圈的状态填充到 上述壳体的内部空间中，该液状体具有绝缘性和润滑性。而且， 为了较佳地提供该线性运动驱动器，本发明的制造方法的特征 在于，包括：收容工序，将上述线性运动驱动器主体收容在上 述壳体内；填充工序，向收容有上述线性运动驱动器主体的上 述壳体内填充上述液状体；气泡除去工序，用于避免在上述线 性运动驱动器主体和上述液状体之间形成气泡。

即，在上述线性运动驱动器所具有的构造中，在线性运动 驱动器上附着气泡时，在气泡附着的部位，热量无法放出而导 致局部温度上升，结果，导致无法改善线性运动驱动器自身的 额定推力、瞬间最大推力降低这样的不良。相对于此，本发明 的制造方法在制造工序中采用避免在线性运动驱动器主体和上 述液状体之间形成气泡的气泡除去工序，因此，能够一并解决 眼睛无法看到的液状体的填充不良，真正有效地具有期望的效 果。不言而喻，该线性运动驱动器单元的制造方法并不限定于 减振装置、励振装置所采用的线性运动驱动器。

特别是，为了简单且适当地维持可动件相对于定子的支承 精度来提高可靠性，线性运动驱动器单元在上述定子还具有通 过弹性变形以使上述可动件能够往复动作的方式支承该可动件 的板簧、滑动轴承等可动支承部的情况下，优选的是将上述液 状体以浸渍上述可动支承部的状态填充到上述内部空间中作为 条件。即，在该构造的线性运动驱动器单元中，由于可动支承 部的安装部位及其附近如上所述地被液状体填满，因此，既能 够避免润滑脂蒸发这样的不良，也能够避免夹入铜板的隔离件 这样的构造复杂化，能够有效地避免上述摩擦、即微振磨损。 此外，在本申请中，能够通过向空间中加入粘性比空气大的液 状体来对可动支承部付与减震，由于可动支承部的变动稳定， 因此能够非常顺畅地运转，也能够有助于降低噪音。但是，在 线性运动驱动器单元采用该构造的情况下，一旦在可动支承部 附着气泡，则在运转过程中也因表面张力等而继续附着，气泡 所附着的部位无法享有上述效果，局部发生磨损或者摩擦热集 中，仍然无法达到期望的目的。相对于此，本发明利用气泡除 去工序积极地除去形成在可动支承部和上述液状体之间的气 泡，由于可动支承部的周围被液状体密实地填满，因此，能够 准确地防止发生如下液状体的填充不良：气泡附着在利用运转 无法除去的部位。

在本发明的气泡除去工序中包含能够在制造线性运动驱动 器单元的阶段中除去液状体中的气泡的所有工序，但作为其具 体的形态，一般考虑以下内容。

首先，能够列举使气泡除去工序具有在直到完成上述填充 工序为止的阶段中除去上述气泡的填充时脱气工序的形态。具 体地讲，该填充时脱气工序包含填充前的脱气工序和填充中的 脱气工序这两个概念，首先能够列举出预先将填充到上述壳体 内之前的上述液状体脱气的移送阶段脱气工序。采用该形态， 通过预先除去溶解在液状体中的空气，能够有效地避免在经过 之后的填充工序以后的各工序完成线性运动驱动器单元的过程 中或者完成之后由后续地溶解的空气重新产生气泡。在该移送 阶段脱气工序中包含这样的形态等，即，预先使在填充工序中 喷出液状体的喷出口接触于壳体的内壁，沿着内壁注入液状体 地填充，从而预先除去产生气泡的机会。

另一方面，作为事后除去已经附着在线性运动驱动器主体 上的气泡的形态，优选的是，气泡除去工序具有填充后脱气工 序，在该填充后脱气工序中，使形成在经过上述填充工序填充 的上述液状体和上述线性运动驱动器主体之间的上述气泡自上 述线性运动驱动器主体脱离。具体地讲，在填充工序使上述壳 体的内部空间成为由上述液状体大致填满的液密状态的情况 下，首先能够列举出填充后脱气工序是在上述壳体内将液密状 态的上述液状体脱气的壳体内脱气工序的形态。采用该形态， 不仅能除去附着在线性运动驱动器主体上的气泡，也能除去溶 解在液状体中的空气，因此，也能够有效地避免在本发明的线 性运动驱动器单元完成之后残留气泡、重新产生气泡。另外， 作为在填充工序之后除去气泡的形态，能够列举出通过使线性 运动驱动器主体的可动件动作而使在填充工序时形成的气泡自 线性运动驱动器主体脱离的动作工序、通过使壳体一起摇动而 使气泡自线性运动驱动器主体脱离的摇动工序。这种情况下的 “摇动”并不限定于通过仅使壳体摇动或者倾斜等来摇动的方 式，是也包含例如利用振动源等积极地使壳体运动的方式的概 念。这种情况下的振动源也可以是收容在壳体内的线性运动驱 动器主体。

而且，本发明的气泡除去工序并未否定选择上述各工序中 的任一个来进行，但通过包含这些工序中的多个或者全部工序， 能够利用协作的效果以较高的精度可靠地除去气泡和防止重新 产生气泡于未然。

发明的效果

采用本发明的线性运动驱动器，由线圈产生的热量被迅速 地放出到液状体中，被可动件搅拌而高效地传导到壳体，因此， 能够使驱动器主体和壳体之间的热阻相比于以往大幅度降低。 另外，传导到液状体的热量不仅能够从壳体和车体的接触部位 放出到壳体外，也能够从其他的外表面放出到壳体外。通过这 样设置，能够有效地抑制由线圈发热引起的温度上升，有效地 避免线性运动驱动器自身的额定推力、瞬间最大推力的降低这 样的不良。结果，即使将线性运动驱动器主体小型化，也能够 提供具有所需的额定推力、瞬间最大推力的线性运动驱动器。

而且，本发明的线性运动驱动器单元的制造方法能够利用 气泡除去工序有效地避免在线性运动驱动器主体上附着气泡， 因此，有效地消除了在气泡附着的部位热量无法放出而导致局 部温度上升、结果导致无法改善线性运动驱动器自身的额定推 力、瞬间最大推力降低这样的不良，能够有效地制造小型轻量 且散热特性也很优良的高性能的线性运动驱动器单元。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的线性运动驱动器单元 的立体图。

图2是表示该线性运动驱动器单元的分解立体图。

图3是表示该线性运动驱动器单元的示意性的中央主剖视 图。

图4是将该线性运动驱动器单元的线性运动驱动器主体和 壳体分离后表示的剖视图。

图5是表示该线性运动驱动器单元的动作说明图。

图6是表示该线性运动驱动器单元的制造工序的说明图。

图7是表示该线性运动驱动器单元的制造工序的说明图。

图8是表示本发明的另一个实施方式的线性运动驱动器单 元的主要部分的说明图。

图9是表示本发明的第2实施方式的线性运动驱动器单元 的主要部分的说明图。

图10是与图9相对应的制造方法的说明图。

图11是表示应用本发明的滑动轴承的第3实施方式的线性 运动驱动器单元的主要部分的说明图。

图12是该实施方式的分解立体图。

图13是用于说明图11及图12的变形例的图。

图14是用于说明图11及图12的变形例的图。

图15是用于说明图11及图12的另一变形例的图。

图16是表示本发明的第4实施方式的说明图。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施方式。

第1实施方式

本实施方式的线性运动驱动器1x安装在例如作为减振对 象物的汽车车体的发动机室内来用作减振装置1，该线性运动 驱动器1x为了付与同发动机等使车体产生的振动相反相位的 振动而利用交流电流来驱动，从而抵消车体的振动来抑制振动。 如图1～图3所示，该线性运动驱动器1x将线性运动驱动器主体 2和油L一同以液密的状态收纳在壳体3内。

在此，本实施方式的线性运动驱动器1x通过在壳体3的内 部空间S中以大致浸渍线性运动驱动器主体2的方式填充具有 绝缘性和润滑性的液状体的油L，来实现至少线圈44整体浸入 到油L中的状态。另外，在图2中省略图示油L，在图3及图4中 以虚线表示填充的油L的上表面位置。

下面，具体说明该线性运动驱动器1x的结构。

如图2、图3及图4所示，线性运动驱动器1x具有线性运动 驱动器主体2、用于收纳线性运动驱动器主体2的壳体3及填充 在壳体3内的具有电绝缘性的油L。

如图2、图3及图4所示，线性运动驱动器主体2作为将位于 图示中央的后述的轴41固定在壳体3侧的定子4的一个构成要 件，采用使位于外侧的可动件5动作的所谓的外部型构造。而 且，将作为定子4的一部分的轴41固定在壳体3上，将该壳体3 的一部分固定在作为减振对象物的车体发动机室等的适当部位 ER，将可动件5动作时的反作用力通过定子4和壳体3传递到发 动机室侧。

定子4主要具有：上述轴41；固定在轴41上的定子芯42； 安装在定子芯42上的绕线管43；卷绕在绕线管43上的线圈44； 自绕线管43向上方突出地设置、成为向线圈44通电时的电极的 连接器45；使S极、N极的朝向内外互不相同地安装在绕线管 43的侧端部的一对永久磁铁47a、47b；固定在轴41的上下端附 近、作为用于使可动件5能够动作地支承可动件5的可动支承部 的一对板簧46。线圈44的卷绕朝向是使定子芯42的内部产生在 与轴41的轴心正交的方向上正反交变的磁通的朝向，从外部通 过连接器45供给交流电流。

而且，轴41通过在其下端进行丝锥加工来贯穿后述的壳体 主体6的轴安装孔62，之后通过从外侧旋装螺母N而将轴41固 定在壳体主体6上。在此，通过在轴41的下端附近和壳体主体6 之间夹设O型密封圈41r，来有效地防止油L从轴41和轴安装孔 62之间漏出。

板簧46在本实施方式中是形成与根据图2之后说明的端板 52俯视下大致相等的8字形的薄板状的构件，其形成将中央部 46a固定在轴41上、并借助可动件主体51和端板52从上下夹入 端部46b的夹层构造。这里所说的端部46b既可以是板簧46的四 角，也可以是两端两处。

可动件5是沿着壳体3的内表面形成俯视下矩形的筒状的 构件，其主要具有形成可动件5的主体的可动件主体51及分别 利用4组防脱工具P从上下固定该可动件主体51的四角的端板 52。在此，端板52在本实施方式中形成如图2所示那样的俯视 下8字形，在其中央为了供轴41贯穿而设有轴通孔52b，并且， 为了在四角以从上下夹入可动件主体51的夹层状态进行螺纹 固定，通过利用上述防脱工具P进行固定来支承，该防脱工具P 例如以贯穿上下的端板52的较长螺栓v1和螺纹接合于自端板 52突出的较长螺栓v1的另一端的螺母n1为主体。可动件主体51 的一部分(外壁部)形成能够将板簧46夹在中间的隔离件构造。 另外，将可动件5固定于定子4的构造并不限定于上述构造，也 可以应用现有的其他构造。端板52利用以8字形形成的两个开 口部52a来有效地避免可动件5上下移动时与定子4干涉。

图5中以附图标记50表示的部分是用于将可动件5相对于 定子4以同轴同心度固定的圆筒形状的销的截面。

如图2及图3所示，壳体3是能够将线性运动驱动器主体2的 一部分、即定子4以固定的状态收容的、例如将铝压铸件作为 主体构成的构件，壳体3具有用于收容线性运动驱动器主体2的 壳体主体6、能够从上方液密地密封壳体主体6的盖体7及安装 在盖体7上、能够连接于外部布线的、具有防水功能的上部连 接器8。壳体主体6形成有被固定部61和用于固定轴41的轴安装 孔62，该被固定部61位于壳体主体6的下端部的外侧的两处， 用于将壳体主体6安装在作为减振对象物的车体的适当部位 ER。而且，壳体主体6通过在其上端部以夹设O型密封圈7r的 状态将四角螺纹固定，来有效地防止油L从壳体主体6和盖体7 之间漏出。盖体7如上所述地隔着O型密封圈7r螺纹固定在壳体 主体6上，并且隔着另一个O型密封圈8r安装上部连接器8，从 而有效地防止油L从盖体7和上部连接器8之间漏出。上部连接 器8通过在其下端部连接于定子4的连接器45，将外部电流引导 到连接器45。

而且，在本实施方式中，通过在壳体3的各部件的安装部 位分别夹设O型密封圈41r、7r、8r，至少使内部空间S为液密， 从而防止油L漏出。

于是，本实施方式的线性运动驱动器1x通过向例如具有 200cc的容积的壳体3和线性运动驱动器主体2的内部空间S中 填充例如约180cc～190cc的具有绝缘性的油L直到图3中虚线 所示的位置，将线性运动驱动器主体2的大致整个区域浸入在 油L中，由此用油L填满形成在内部空间S中的、壳体3和线性运 动驱动器主体2之间的内部空间S的约90％～95％。通过这样做， 油L成为将线圈44完全浸渍的状态。并且，油L以将可动件5动 作时的、因板簧46弹性变形而引起的动作范围全部覆盖浸渍的 状态填充到内部空间S中。

而且，在通过上部连接器8向线性运动驱动器1x供给交流 电流时，通过连接器45向线圈44供给电流，可动件5相对于定 子4在轴41的轴心方向上上下运动。例如，如图5的(a)所示， 在定子芯42中朝向图中右侧产生磁通时，由此产生的磁力与配 置在端部而起到定子4侧的磁极部的功能的一对永久磁铁47a、 47b中的一个永久磁铁47b的磁力相增，与另一个永久磁铁47a 的磁力相减，因此，为了在通过了相增的永久磁铁47b后的磁 通与处于相对位置而起到可动件5侧的磁极部的功能的可动件 主体51的突起部51a之间形成最短的磁路，可动件主体51得到 图中朝下的箭头所示的方向的推力而移动。此时，将中央部46a 支承在轴41上、用端部46b支承可动件5的板簧46如图中假想线 所示地向下方挠曲而以使可动件5能够移动的方式支承可动件 5。另外，如图5的(b)所示地在定子芯42中朝向图中左侧产 生磁通时，由此产生的磁力与配置在端部的一对永久磁铁47a、 47b中的一个永久磁铁47a的磁力相增，与另一个永久磁铁47b 的磁力相减，因此，为了在通过了相减的永久磁铁47a后的磁 通与处于相对位置的可动件主体51的突起部51a之间形成最短 的磁路，可动件主体51得到图中朝上的箭头所示的方向的推力 而移动。此时，将中央部46a支承在轴41上、用端部46b支承可 动件5的板簧46如图中假想线所示地向上方挠曲而以使可动件 5能够移动的方式支承可动件5。由于磁通在与交流电流的相位 和频率相应的时机切换方向，因此，可动件5会相应地上下进 行往复动作。而且，通过供给该交流电流，减振装置1通过进 行与减振对象物的振动反相位的振动来抑制作为减振对象物的 车体的振动。上述可动件主体51的外壁部、端板52等成为在结 合上述磁路时供磁通通过的部位。在没有供电的非通电时，利 用板簧46使可动件主体51偏置，以使得该可动件主体51的突起 部51a的中心位于与一对永久磁铁47a、47b的交界对齐的动作 中心。

该可动件5往复动作时，由于如图3所示那样可动件5和下 侧的端板52的动作下端与壳体主体6的内表面预先设置为相接 近，因此，在可动件5向下方移动的情况下，下方的油L自下侧 的端板52被从与壳体主体6的内表面之间的空间挤出，从而沿 着壳体主体6的内表面朝向上侧的板簧46流动。在该途中，上 升的油L将从线圈44传导到油L的热量迅速地传导到壳体主体 6，该热量从该壳体主体6被放出到外部。另一方面，可动件5 的端板52的动作上端被设定在填满内部空间的90％～95％的油 L的液面附近且盖体7的下侧面附近。因此，在可动件5向上方 移动时，这次处于上侧的板簧46的上方的油L被从板簧46与盖 体7之间的空间中挤出，然后沿着壳体主体6的内表面向下方流 动，与上述同样，油L的热量被迅速地放出到壳体主体6的外侧。

并且，由于上述那样的油L的运动特别是在上下的板簧46 的端部46b附近特别显著，因此，尤其是板簧46和可动件主体 51的、产生伴随着摩擦力的微小的反复相对滑动的连接部位， 油L总是频繁地进行润滑，能够有效地避免由板簧46的往复动 作引起的微振磨损。不言而喻，虽然相对的滑动量较小，但油 L也会进入到板簧46和轴41的固定部位中，能够防止微振磨损。

特别是，在本实施方式中，通过在壳体3的各部件的安装 部位分别夹设O型密封圈41r、7r、8r，来可靠地使内部空间S 为液密，可靠地防止如上所述地在内部空间S内流动的油L漏出 到外部。

此外，在本实施方式中，由于线性运动驱动器主体2完全 被壳体3所包围，因此，即使发动机室放置在水、泥等严酷的 环境中，也能够有效地维持作为线性运动驱动器的可靠性和耐 久性。

在此，列举将本实施方式的线性运动驱动器1x作为单元1U 来组装时的较佳的一种制造方法，在经过将线性运动驱动器主 体2收容在壳体3内的收容工序S1之后，经过向内部空间S中填 充油L的填充工序S2及利用盖体7封闭壳体3的封闭工序S3，与 这些收容工序S1、填充工序S2和上述封闭工序S3相关地，实施 用于避免在线性运动驱动器主体2和油L之间形成气泡F的气泡 除去工序X。

在此，主要参照图6～图7详细说明气泡除去工序X。

气泡除去工序X包括图6中的填充时脱气工序X1和图7中的 填充后脱气工序X2，填充时脱气工序X1是在直到完成填充工序 S2为止的阶段中除去上述气泡；填充后脱气工序X2是使形成在 经过上述填充工序填充的作为液状体的油L和上述线性运动驱 动器主体2之间的上述气泡自上述线性运动驱动器主体2脱离。

如图6所示，填充时脱气工序X1包括使用脱气过滤器EF预 先将溶解在油L中的空气等气体脱气的移送阶段脱气工序X11、 及在上述填充工序S2中预先使喷出油L的喷出口Z与上述壳体3 的内壁3a相接触来填充油L的内壁喷出工序X12。脱气过滤器 EF能够利用这样地构成的设备等，即，通过使油L流入到例如 由设置在内部的分隔壁划分出的室中的一个中而将另一个减 压，从而使油L中的气泡从一个室分离到另一个室中。分隔壁 能够使用后述的具有防水透湿性的片材等。在内壁喷出工序 X12中，斜着切割喷出口Z的前端而做成油L易于沿着内壁3a的 状态，根据需要使壳体3自身倾斜而做成油L易于沿着内壁3a 的状态，以避免外围空气卷入。

如图7所示，填充后脱气工序X2包括在填充工序S2之后使 可动件5动作的动作工序X21、通过将壳体3设定在振动装置Y 中并使其以适当的频率振动而使线性运动驱动器单元1U自身 摇动的摇动工序X22等。

接着，说明收容工序S1、填充工序S2和上述封闭工序S3。

首先，如图6所示，进行收容工序S1，即，做成将O型密封 圈41r载置在壳体主体6侧的状态，使线性运动驱动器主体2的 轴41的下端贯穿于轴安装孔62中，然后将螺母N螺纹接合于轴 41，从而将轴41固定在壳体主体6上。在本实施方式中，然后， 如图6所示，进行使喷出口Z与壳体3的内壁、即壳体主体6的侧 壁6a相接触的内壁喷出工序X12。

然后，在自与侧壁6a相接触的喷出口Z喷出油L时，填充经 过了该图所示的移送阶段脱气工序X11后的油L。移送阶段脱气 工序X11的结构如上所述，利用该移送阶段脱气工序X11在油L 到达喷出口Z之前的阶段中将油L脱气。具体地讲，如该图所示， 在利用泵W1将积存在罐T1中的油L填充到壳体3的路径中，通 过在泵W1和喷出口Z之间插入上述脱气过滤器EF，做成大致除 去了溶解在油L中的空气的状态。在填充到壳体3中时，不会通 过上述内壁喷出工序X12卷入外围空气地填充油L。

然后，在向壳体3内充满油L规定量之后，完成填充工序S2， 执行安装盖体7而做成将壳体3暂时封闭的状态的封闭工序S3。

即，至此的阶段是用于事先预防气泡F附着在线性运动驱 动器主体2上的填充时脱气工序X1。

接着，如图7所示，为了除去附着在线性运动驱动器主体2 上的气泡F，实施由动作工序X21、摇动工序X22等构成的填充 后脱气工序X2。在动作工序X21中，通过连接器45向线圈44供 给适当的振动频率的电流，从而使可动件5沿着图示上下方向 的箭头上下运动。在摇动工序X22中，将壳体3设定在采用偏心 砝码、超声波振子等的振动装置Y上，通过振动装置Y使壳体3 振动，从而使壳体内的油L2沿着图示左右方向的箭头摇动、搅 拌。鉴于除去在驱动可动件5时的频率下无法除去的气泡等的 主旨，优选的是这些振动频率设定在比驱动可动件5时的频率 高的振动频率区域中。

通过实施这些动作工序X21、摇动工序X22，附着在线性 运动驱动器主体2上的气泡F脱离，气泡汇集在内部空间S的上 方，与存在于内部空间S的上方的滞留空气浑然一体化。至此 的阶段是用于使附着在线性运动驱动器主体2上的气泡与溶解 的空气一同脱离的填充后脱气工序X2。

经过以上工序，本实施方式的制造方法结束。另外，根据 需要，也可以再次拆下盖体7，向内部空间的上部补给油L，再 次重复将盖体7安装在壳体主体6上的填充工序S2和封闭工序 S3。优选的是，油L以设有在使用的温度范围内至少能够吸收 体积膨胀量的空气积存的状态填充。另外，油L既可以以满满 的状态填充在壳体3中，相反，只要能够得到良好的散热特性， 就也可以以线圈44的至少一部分浸入的状态填充。在满满地填 充油L的情况下，例如可以使用体积膨胀极少的油，也可以将 壳体3的一部分做成弹性膜而能够吸收油L的体积膨胀。

通过做成以上的构造，在本实施方式的线性运动驱动器1x 中，由于作为液状体的油L浸渍线圈44的整个区域，因此，由 线圈44产生的热量迅速地放出到油L中，进而从油L传导到壳体 3。不言而喻，由于油L也会到达线圈44的间隙中，因此，能够 非常高效地排出热量，线性运动驱动器主体2和壳体3之间的热 阻相比于以往大幅度降低。而且，由于定子芯42、轴41等也进 入到油L中，因此，能够防止产生锈等，而且，不使用高价的 不锈钢材料就能够有效地避免对铁材料进行表面处理的必要 性。另外，由于也提高了线性运动驱动器主体2的绝缘性能， 因此，能够实现提高可靠性。而且，由于通过可动件5的运动 而不断地搅拌油L，因此，能够得到良好的导热，并且，传导 到油L的热量不仅能够从壳体3和车体的适当部位ER的接触部 位放出到壳体3外，也能够从壳体3的其他表面放出到壳体3外。 这样，在本实施方式中，能够有效地抑制由线圈44发热引起的 温度上升，并且，热时间常数也变长，大幅度地改善了由线圈 44发热引起的线性运动驱动器1x自身的额定推力、瞬间最大推 力的降低。结果，由于能够将线性运动驱动器主体2小型化， 因此，能够有效地实现线性运动驱动器1x以及减振装置1自身 的小型轻量化。

特别是，在本实施方式中，将作为定子4的一部分的轴41 固定在壳体3侧的轴安装孔62中，利用被安装部61将该壳体3 的一部分固定在减振对象物上，能够通过定子4和壳体3正确地 传递可动件5动作时的反作用力，因此，能够如上所述地将所 需的额定推力、瞬间最大推力保持原样地高效地传递反映到车 体。

另外，为了较佳地维持可动件5相对于定子4的支承精度来 提高可靠性，在本实施方式中，上述定子4设置通过弹性变形 以使上述可动件5能够往复动作的方式支承上述可动件5的板 簧46，上述油L以完全浸渍上述板簧46的动作范围的状态填充 到上述内部空间S中。因此，即使不像以往那样采用在板簧46 的重叠部分夹入铜板的隔离件或者注入润滑脂这样的微振磨损 对策，也能够长期有效地避免上述摩擦、即微振磨损。

另一方面，在以往采用板簧46的情况下，与滚动轴承、滑 动轴承等不同，不存在由摩擦引起的机械损失，因此，板簧46 自身的固有振动频率等下的共振频率(日文：共振倍率)极高， 在固有振动频率附近的运转过程中，动作有时会不稳定，必须 避开该区域地控制线性运动驱动器1x。另外，由于板簧46的二 维、三维变形模式下的共振为比较高的频率、在板簧46形成层 叠构造的情况下发生由层叠的部分稍稍接触分离而产生的晃动 等，因此，板簧46自身成为噪音产生源，成为问题。相对于此， 在本实施方式中，通过向内部空间S中加入粘性比空气大的油 L，能够对板簧46付与减震，由于板簧46的变动稳定，因此能 够非常顺畅地运转，当然也包含板簧46为层叠构造的情况，也 能够有助于降低噪音。特别是，在本实施方式中，能够利用油 L的减震效果大幅度地抑制线性运动驱动器主体2因壳体3、轴 41的固有振动频率而产生的共振，从而能够提高驱动器的抗振 动、抗冲击特性。也就是说，鉴于这些原因，作为线性运动驱 动器1x的车载用减振装置1的适应性相比之前明显地上升。

而且，为了实现壳体3的薄壁化并进一步提高上述散热特 性，在本实施方式中，作为一例子，油L填充上述内部空间S的 90％～95％。即，通过填满内部空间S的90％～95％的容积，以 往全部由空气填满、容积例如为200cc的壳体3的内部空间S中 的空气容积在本实施方式中即使简单地计算，也大幅度地变小 到20cc以下，因此，随着温度上升而产生的空气的膨胀量、收 缩量大幅度变少。结果，即使不将壳体3做成完全密闭型的容 器，空气所含有的水分也会变少，随之油L由于氧化引起的老 化变少，液状体的寿命变长。另外，通过将壳体3做成能够呼 吸的容器，能够解决内部压力的问题。结果，壳体3的薄壁化、 片材的选择项变多，能够谋求成本降低。此外，与利用可动件 5的动作来搅拌油L的情况相结合，油L接触于壳体3的内表面的 大致全部区域，因此，能够自壳体3表面的大致全部区域放出 热量。其意思是指，在实际的车辆行驶时，与行驶风对壳体3 的冷却效果相结合，能够实现更加迅速地散热。

这种情况下的作为液状体的油L的填充不仅不是例如像流 体轴承那样向密封空间中送入油来密实地填充这样的严格的操 作，而且壳体3内也并不一定限定为密封状态，因此，通常认 为仅通过自油槽利用泵供给到壳体3内就足够，但若在初始填 充时微小的气泡进入到油L中或者空气溶解在油L中，则通过利 用之后的可动件5动作来搅拌油L，气泡也难以从油L中除去， 该气泡附着在线圈44的间隙、壳体3的内壁上，油L和线圈44、 油L和壳体内壁的接触面积减小，从而导致从线圈44通过油L 向壳体3的导热效率降低，通过使壳体3内的线圈44浸渍到油L 中而产生的效果实质上有可能减半。

因此，重新着眼于气泡除去工序X。在填充油L之后使线性 运动驱动器1x动作时，可动件5搅拌油L，有可能卷入上层部的 空气层的空气，因此，咋一看好像在初始填充时除去气泡是没 有意义的，但若在初始填充时实施气泡除去工序，则能够使没 有气泡的状态的油L紧密地进入到线圈44的间隙、壳体3的内 壁，另一方面，一旦使线性运动驱动器1x动作，则由于动作时 卷入的气泡粒径较大，因此难以进入到线圈44等的微小部分 中，也难以附着在壳体3的内壁上，即使附着也能立即除去， 因此，一般认为处于难以引起导热性降低的状态。

于是，这样地采用本实施方式的线性运动驱动器单元1U的 制造方法，利用气泡除去工序X，在有效地除去附着在线性运 动驱动器主体2上的气泡F、溶解在油L中的空气的同时完成线 性运动驱动器单元1U，因此，能够有效地避免附着气泡F而成 为散热效果局部降低的状态或者附着有气泡F的部位与周围相 比产生磨损等这样的不良，有效地改善由气泡F附着引起的线 性运动驱动器单元1U自身的额定推力、瞬间最大推力的降低， 有效地提供散热特性良好且小型轻量的线性运动驱动器单元 1U及减振装置1。

特别是，通过实施气泡除去工序X，作为易于显著地发生 微振磨损的可动支承部的板簧46的周围被油L密实地填满，因 此，能够有效地避免在板簧46的附着有气泡F的部位局部发生 磨损或者摩擦热集中这样的不良。另外，鉴于板簧46的二维、 三维变形模式下的共振为比较高的频率、在板簧46形成层叠构 造的情况下发生由层叠的部分稍稍接触分离而产生的晃动等， 板簧46自身容易成为噪音产生源，但在本实施方式中，通过向 内部空间S中加入粘性比空气大的油L，能够对板簧46付与减 震，由于板簧46的变动稳定，因此能够非常顺畅地运转。

在这种情况下，板簧46形成层叠构造时，特别是在该层叠 部分易于附着气泡F，但在本实施方式中，利用气泡除去工序X 中的填充时脱气工序X1，在层叠部分也难以附着气泡F，而且 即使在上述层叠部分附着气泡，也能够利用填充后脱气工序X2 可靠地使气泡自板簧46脱离，因此，层叠部分能够可靠地享有 通过填充油L而产生的上述效果，能够更加有效地降低微振磨 损及噪音产生。

更具体地讲，作为本实施方式的气泡除去工序X之一，在 直到填充工序S2之前的阶段中实施利用脱气过滤器EF将油L 脱气的填充时脱气工序X1，因此，能够防止溶解在填充的油L 中的空气因完成后的可动件5的动作等而形成气泡F于未然。另 外，通过实施沿着内壁3a注入油L地填充的内壁喷出工序X12， 也能够预先排除在喷出口Z的出口处重新卷入空气而产生气泡 F的可能性。

另一方面，通过在填充工序S2之后经过填充后脱气工序 X2、即使线性运动驱动器主体2自身动作的动作工序X21、使 壳体3自身振动的摇动工序X22，能够更有效地除去利用填充工 序S2未除去或者附着在线性运动驱动器主体2的各部的气泡F、 溶解在油L中的空气。

不言而喻，填充时脱气工序X1和填充后脱气工序X2并不是 必须始终同时采用，通过仅实施其中任一个，也能够得到本发 明的作用效果。移送阶段脱气工序X11和内壁喷出工序X12的关 系、动作工序X21和摇动工序X22的关系也并不是必须始终同 时采用，通过仅实施其中任一个，也能够得到本发明的作用效 果。以下也同样。

另外，油L既可以以满满的状态填充在壳体3中，相反，只 要能够得到良好的散热特性，就也可以以线圈44的至少一部分 浸入的状态填充。

这样，本实施方式的线性运动驱动器1x将线性运动驱动器 主体2以其一部分固定在壳体3上且其周围被该壳体3包围的状 态收容在该壳体3内，在将线性运动驱动器主体2收容到该壳体 3中之前或者之后向该壳体3中以浸渍该线性运动驱动器主体2 的线圈44的状态填充具有绝缘性和润滑性的作为液状体的油 L，在填充结束之前或者填充结束之后，对该油L实施用于避免 在该油L与上述线性运动驱动器主体2之间形成气泡的气泡除 去，因此，呈现特别良好的散热特性，上述线性运动驱动器主 体2具有定子4和能够相对于该定子4在规定方向上往复动作的 可动件5。

以上，说明了本发明的实施方式，但各部的具体构造并不 仅限定于上述实施方式，能够在不脱离本发明的主旨的范围内 进行各种变形。

例如，在上述实施方式中公开了在壳体内收纳线性运动驱 动器主体的形态，但不言而喻，也可以在一个壳体内收纳多个 线性运动驱动器主体。而且，壳体的形状、线性运动驱动器的 具体形态并不限定于上述实施方式，包含现有的装置在内，能 够应用各种形态的装置。

下面，分别表示本发明的其他实施方式。在这些实施方式 中，对于相当于上述实施方式的各构成要件的构件，标注与上 述实施方式相同的附图标记，并省略详细地说明。

即，在上述实施方式中，壳体3为液密，但如在图8及图9 中分别表示的各实施方式所示，基本不需要为液密。另外，为 了方便起见，该图省略表示了线性运动驱动器主体2的图示。

例如，图8所示的上部连接器9做成自壳体3的一部分不使 用防水功能的连接器、而通过现有的电缆夹91直接拉出电缆K 的构造。通过采用该构造，虽然在电缆K和引出口9a之间存在 微小的间隙9s，但在这种情况下，即使倾斜，油由于表面张力 而不会漏出。

第2实施方式

另一方面，图9所示的构造是在壳体3的一部分埋入被称作 戈尔特斯(Gore-Tex)(注册商标)的商品所代表的具有防水 透湿性的片材ST的例子。

具体地讲，该图表示在壳体3的盖体7上形成通气孔71、并 在该通气孔71中安装具有片材ST的片状盖72的构造。利用该构 造，特别是如A部放大图示意性地表示，上述片材ST使如用直 线状的箭头示意性地表示那样的水滴状的作为液体的油L1不 通过，而仅使如用波浪线状的箭头示意性地表示那样的空气、 成为气体的油L2通过，因此，在这种情况下壳体3内的内压也 不会上升。

图10表示利用上述通气性而在气泡除去工序X中的填充后 脱气工序X2中利用真空泵W2将油L中的空气脱气的壳体内脱 气工序X23。即，该图的壳体内脱气工序X23如该图所示，通 过做成使油L与该片材ST的单侧表面相邻的状态，利用真空泵 W2将该片材ST的相反侧减压，从而不仅促进存在于油L中的气 泡F自油L脱离，也促进溶解在油L中的空气脱气。

利用该形态，也能够不仅除去附着在线性运动驱动器主体 2上的气泡F，还能够除去溶解在油L中的空气，因此，在有效 地降低线性运动驱动器单元1U完成之后的气泡F的残留率、新 的产生率的方面非常有效。

另外，一般认为即使替代该图所示的防水透湿性的片材 ST，而使用陶瓷所代表的多孔质材料，也能得到同样的效果。 在极端的情况下，一般认为只要在壳体3的至少一部分开设较 小的孔，仅利用油L的表面张力就能够不使油泄漏，而仅使气 体往来，也能够通过该多孔质材料、孔进行抽吸脱气。

只要与第1实施方式的振动脱气同时进行该抽吸脱气，就 还能够进一步期待协同的脱气效果。

第3实施方式

并且，在上述实施方式中，可动支承部使用了板簧46，但 也可以替代该板簧46而采用图11及图12所示那样的滑动轴承 48作为可动支承部，构成为利用弹簧sp朝向动作中心地偏置。 具体地讲，也可以在轴41的上下端附近分别安装滑动轴承48， 并借助该滑动轴承48以使端板52能够上下运动的方式支承该 端板52。而且，该图表示通过在壳体3内部和可动件5的上下端 之间夹设多个弹簧sp而将可动件5朝向动作中心偏置的构造。 即使是该构造，由于滑动轴承48放置在油L内，因此成为油膜 润滑，也能够大幅度降低摩擦阻力，并且，通过形成油膜不会 发生油耗尽，因此，能够实现长寿命且大幅度的机械损失降低 化，从而能够做成非常稳定的低磨损轴承。

另外，本实施方式并不否定同时使用该图所示的滑动轴承 48和上述实施方式所示的板簧46的构造。

或者，采用本实施方式的线性运动驱动器，即使在非通电 时，也能够利用永久磁铁47a、47b的磁通将可动件5保持在动 作中心，因此，也能够相反地利用没有弹簧sp的构造来实施。 在可动件5沿铅垂方向动作的情况下，也可以使流到线圈44中 的电流具有偏置作用来抵消由重力引起的可动件5的位移。

但是，在如上所述地将可动支承部做成滑动轴承48的情况 下，油会进入到滑动轴承48和轴41之间(在轴环嵌合于轴41 的外周的情况下是滑动轴承48和轴环等之间)的轴承部间隙中 来作为油膜轴承进行动作，但例如在轴41和滑动轴承48的内周 的轴承部间隙局部缩窄而成为狭窄部的状态下，可动件5与滑 动轴承48一同沿着轴41的外周以相同的轨迹往复运动时，不可 否认，根据可动量、速度，上述狭窄部的油有可能被挤出，在 轴承部的一部分发生油膜耗尽。

因此，为了提高对滑动轴承48的润滑性能，谋求可靠性提 升和长寿命化，也可以构成利用可动件5的往复运动向滑动轴 承48的轴承部间隙中自动地供给作为液状体的油L的、作为液 状体供给机构的油供给机构。

例如，通过将图13所示的作为定子侧磁极部的定子芯42的 永久磁铁47a、47b或者作为可动件侧磁极部的可动件主体51 的突起部51a中的至少任一个像图14所示的油供给机构那样地 相对于往复运动方向的轴ms倾斜地配置来分别构成油供给机 构101、102、103、104、105，可动件5能够在往复运动的同 时相对于定子4与往复运动方向的位置相应地发生扭转运动。

具体而言，该图14的(a)所示的油供给机构101将作为定 子侧磁极的永久磁铁47a、47b相对于往复运动方向的轴ms以 适当的歪扭角倾斜地配置。

利用该构造对线性运动驱动器1x通电而使可动件5往复运 动时，永久磁铁47a、47b相对于轴ms倾斜地配置，因此，作 为可动件侧磁极的突起部51a随着往复运动在旋转方向上位移 至正对永久磁铁47a、47b的位置。如图11所示，可动件5借助 滑动轴承48能够滑动地支承在轴41的外周，因此，可动件5在 往复动作的同时发生旋转动作时，在滑动轴承48进入到轴承部 间隙中的油利用楔效果被强制地送入到狭窄部中，在该狭窄部 确保适当的油膜，因此，能够有效地提高润滑性能。

利用同样的原理，该图14的(b)所示的油供给机构102 是将作为可动件侧磁极的突起部51a相对于往复运动方向的轴 ms倾斜地配置的例子，该图14的(c)所示的油供给机构103 是将作为定子侧磁极的永久磁铁47a、47b与作为可动件侧磁极 的突起部51a一同相对于往复运动方向的轴ms倾斜地配置的例 子。并且，该图14的(d)所示的油供给机构104是将作为定子 侧磁极的永久磁铁47a、47b沿着圆周方向以台阶状配置的例 子，该图14的(e)所示的油供给机构105是将作为可动件侧磁 极的突起部51a沿着圆周方向以台阶状配置的例子。

另一方面，像图15所示的油供给机构106那样，也可以在 与图11所示的滑动轴承48的轴承面相对的定子4侧的轴41的表 面(存在轴环等时是轴环的外周)形成螺旋状的槽41x。

即，如图11所示，可动件5借助滑动轴承48能够滑动地支 承在轴41的外周，即使可动件5未扭转运动而与滑动轴承48一 同仅进行往复运动，通过利用可动件5的往复运动将进入到槽 41x中的油以螺旋状供给到包含狭窄部在内的滑动轴承48和轴 41之间的轴承部间隙中，也能够有效地提高整个滑动轴承48的 润滑性能。该螺旋槽也能够设置在滑动轴承48侧。

不言而喻，该作为液供给机构的油供给机构也可以利用除 上述之外的构造。

而且，在这样地成为制造对象的线性运动驱动器1x采用滑 动轴承作为可动支承部的情况下，通过应用本发明的制造方法， 也能够起到与上述各实施方式同样的作用效果。

另外，在上述实施方式中，采用使位于定子外侧的可动件 动作的所谓的外部型构造，但也可以采用将可动件定位在定子 内侧而使其动作的内部型构造。第1实施方式也同样。

另外，在上述各实施方式中，通过在壳体表面上追加散热 片，能够进一步提高冷却效率。

第4实施方式

在上述第1实施方式中公开的气泡除去工序X中，作为自壳 体3的上方向壳体主体6的侧壁6a传递油L的填充时脱气工序 X1公开了内壁喷出工序X11，但在本实施方式中，对用于在填 充工序S2中进一步避免油L卷入空气地填充油L的形态进行说 明。

在此，作为填充时脱气工序X1之一，如图16所示，对从壳 体3的底侧填充油的底壁填充工序X13进行说明。具体地说明， 在壳体主体6的底壁6b上设有油注入口6c，在该油注入口6c上 连接喷出口Z1。而且，本实施方式的底壁填充工序X13是指， 通过例如利用泵W3的动力自罐T2的底T21将积存在罐T2中的 油L从壳体3的底壁6b喷出到壳体3内，在壳体3内不会使油L落 下而使油面L3逐渐上升地填充油L。另外，不言而喻，也可以 在从罐T2到壳体3的路径上通过与上述实施方式同样的未图示 的脱气过滤器EF同时进行上述移送阶段脱气工序X11。

通过应用该工序，油L在壳体3内不会落下而平稳的移动地 被填充，因此，能够更加难以引起因外围空气卷入而产生气泡 F。不言而喻，在这种情况下，在填充之后同时采用振动脱气、 抽吸脱气是非常有效的。

而且，在上述实施方式中，作为摇动工序公开了通过振动 使线性运动驱动器单元1U摇动的形态，但不言而喻，也可以是 使壳体上下左右摇动的形态、使其翻转或者旋转的形态。

而且，不言而喻，各部的具体构造、气泡除去工序的具体 方法等也并不限定于上述实施方式，能够在不脱离本发明主旨 的范围内进行各种变形。

作为除上述之外的气泡除去工序，能够列举出将填充前的 油加热的工序、在将壳体加热的同时填充油的工序、将填充后 的壳体加热的工序等。由此，由于油所含有的气泡膨胀，因此， 能够做成更加易于脱气的状态。此外，在填充油时，也可以作 为气泡除去工序实施将油真空脱气的工序，而且向壳体中填充 该油。

另外，液状体使用除油之外的液体或流动体等、各部的具 体构造也并不限定于上述实施方式，能够在不脱离本发明主旨 的范围内进行各种变形。

而且，本发明的线性运动驱动器虽然能够较佳地应用于减 振装置，但其用途并不仅限定于此，也能够广泛地应用于励振 装置等的装置。另外，本发明的线性运动驱动器的制造方法虽 然也能够较佳地应用于减振装置所采用的线性运动驱动器的单 元，但其应用对象并不仅限定于此，也能够广泛地应用于励振 装置以外的其他装置所采用的线性运动驱动器的单元。

产业上的可利用性

采用以上详细说明的本发明，通过改良散热特性，能够有 效地避免线性运动驱动器自身的额定推力、瞬间最大推力降低 这样的不良，因此，能够提供一种即使将线性运动驱动器主体 小型化也具有所需的额定推力、瞬间最大推力的线性运动驱动 器。