透明板状体的缺陷检查方法及装置

摘要

本发明提供一种透明板状体的缺陷检查方法及装置，以解决随着透明板状体增大而检测性能劣化的现有技术的问题。所述透明板状体的缺陷检查方法的特征在于，包括：使用具有配置在透明板状体(1)的主表面侧的线状光源(2)及照相机(3)的第一反射型明场光学系统拍摄所述透明板状体(1)的主表面的图像即下述第一图像的步骤；同样地拍摄透明板状体(1)的背面的图像即下述第二图像的步骤；对第一及第二图像分别搜索缺陷候补的步骤；及根据该搜索的结果确认在第一及第二图像的彼此对应的位置上是否存在缺陷候补，在从第一及第二图像双方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为缺陷，而在仅从第一及第二图像中的一方发现缺陷候补的情况下，将该缺陷候补视为疑似缺陷的步骤。