公开/公告号CN102412115A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-04-11
原文格式PDF
申请/专利权人 和舰科技(苏州)有限公司;
申请/专利号CN201010292181.1
申请日2010-09-26
分类号H01L21/02;
代理机构北京连和连知识产权代理有限公司;
代理人王光辉
地址 215025 江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号
入库时间 2023-12-18 04:59:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-02-12
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/02 申请公布日:20120411 申请日:20100926
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-05-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20100926
实质审查的生效
2012-04-11
公开
公开
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