基于比目鱼式电极结构的薄型柔软压力传感器敏感单元

摘要

本发明涉及一种比目鱼式电极结构的薄型柔软压力传感器敏感单元，属于传感器技术领域。该敏感单元包括顶层封装薄膜、底层封装薄膜和位于中间的压敏薄膜。顶层封装薄膜采用聚酰亚胺材料，压敏薄膜采用纳米导电高分子复合材料，底层封装薄膜为覆合有一对电极/引线的聚酰亚胺薄膜，两个电极/引线均位于压敏薄膜的同一侧，形成比目鱼式电极结构。利用本发明提出的方法研制的压敏单元，具有厚度薄、结构简约、成本低等优点。而且，由于在敏感材料的同侧引出信号，减小了压敏单元输出信号的时间依赖性，因而降低了其对测量精度的不利影响，特别适用于国防与工业设备狭小曲面层间压力监测与人工电子皮肤研制等领域。