室温下碳纳米管束的转移方法

摘要

本发明公开了一种室温下碳纳米管转移的方法。通过碳纳米管的定向生长工艺和表面附着粘着剂的双面胶带，使高温生长出的碳纳米管在室温下转移至其他材料的表面。其工艺方法是：首先通过光刻和剥离工艺制成要求的细微尺度的图案，其间通过蒸镀方法得到的催化剂薄膜就附着在图案的表面；其次将带有催化剂薄膜的硅片置于碳纳米管生长系统的加热炉中，在高温化学气相沉淀模式下生长得到所要求的碳纳米管；最后通过碳纳米管与表面涂抹粘着剂的胶带接触，使得碳纳米管与原衬底剥离并转移至新衬底。本发明与现有的碳纳米管转移技术相比，具有工作温度低（室温）的优势。