公开/公告号CN102376516A
专利类型发明专利
公开/公告日2012-03-14
原文格式PDF
申请/专利权人 FEI公司;
申请/专利号CN201110222290.0
申请日2011-08-04
分类号H01J37/22;H01J37/26;H01L27/146;
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人王岳
地址 美国俄勒冈州
入库时间 2023-12-18 04:38:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-10-28
授权
授权
2013-08-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/22 申请日:20110804
实质审查的生效
2012-03-14
公开
公开
机译: 带有薄电子敏感层的成像电子探测器中判别来自入射电子的反向散射的方法
机译: 薄电子探测器中的反向散射减少
机译: 薄电子探测器中的反向散射减少