法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-04
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B11/00 申请公布日:20120215 申请日:20110627
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-03-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/00 申请日:20110627
实质审查的生效
2012-02-15
公开
公开
机译: 双频光栅干涉仪位移测量系统
机译: 双频光栅干涉仪位移测量系统
机译: 双频光栅干涉仪位移测量系统