在玻璃基板上制备膜层的方法及其玻璃基板、膜系结构

摘要

本发明实施例公开了一种在玻璃基板上制备膜层的方法，包括在玻璃基板单面或双面采用磁控溅射法生成抗反射增透混合膜层，该抗反射增透混合膜层为低折射率膜层与高折射率膜层的层叠结构；采用磁控溅射法在所述抗反射增透混合膜层另一面生成氮化碳化合物膜层。本发明还公开了一种膜系结构及镀有膜层的玻璃基板，以及另一种在玻璃基板上制备膜层的方法及镀有膜层的玻璃基板。采用本发明，保证了保护屏的质量，抗刮伤、耐磨及超硬抗划伤能力强。