高效能薄膜硅太阳能电池的高品质透明导电氧化物-硅界面接触结构

摘要

提供了一种用以形成太阳能电池的方法及设备。在一实施例中，一种光伏器件包含：第一TCO层，所述第一TCO层设置在基板上；第二TCO层，所述第二TCO层设置在所述第一TCO层上；以及p-型含硅层，所述p-型含硅层形成在所述第二TCO层上。在另一实施例中，一种形成光伏器件的方法包含以下步骤：在基板上形成第一TCO层；在所述第一TCO层上形成第二TCO层；以及在所述第二TCO层上形成第一p-i-n结。