超精密加工系统及加工方法

摘要

一种超精密加工系统，其包括一个基台，一个固定设置于该基台上的第一支撑臂，一个可滑动地设置于该基台上的第二支撑臂，一个可转动地设置于该第一支撑臂上的旋转轴，一个设置于该第二支撑臂上且可相对于该支撑臂滑动的加工刀具，一个位于该旋转轴上方的侦测装置以及一个控制装置。该控制装置用于根据该侦测装置的侦测结果计算该旋转轴的偏移量并根据该偏移量发出控制指令调整该加工刀具以抵消该旋转轴偏移所引起的加工误差。所述超精密加工系统采用侦测装置对旋转轴的位置进行侦测，可以实时发现所述旋转轴的位置偏移，并通过移动所述加工刀具抵消所述旋转轴位置偏移所引起的加工误差，因此可以提高加工精度。本发明还涉及一种超精密加工方法。