用于涂覆设备的真空腔以及用于制造用于涂覆设备的真空腔的方法

摘要

设置一种用于涂覆设备的真空腔(1)，其中，该真空腔(1)具有底板(6)和盖板(2)，其通过基本上垂直于底板(6)和盖板(2)伸延的支柱(4)相互连接，其中，通过底板(6)、盖板(2)以及支柱(4)限定多个开口(9)，并且其中，至少底板(6)的前棱边(15′)的区段和盖板(2)的前棱边(15)的区段与两个支柱(4)共同形成围绕多个开口(9)中的一个开口(9)的用于可插入开口(9)中的插入板(8)的密封面。此外，提供一种用于制造用于涂覆设备的真空腔(1)的方法，该方法其包括以下步骤：将框架接合在一起，框架具有底板(6)、盖板(2)以及支柱(4)，支柱(4)连接底板(6)和盖板(2)；以及将底板(6)和盖板(2)与支柱(4)焊接在一起。