控制在激光束定位系统上的动力和热负载以实现工件特征的高生产率的激光处理

摘要

一种实现以密集间隔图案布置的工件特征(18)的高生产率的激光处理的方法使由于在工件特征处理期间引导激光束的激光束定位和光学组件上的动力和热负载而导致的工件特征处理不准确性和质量降级最小化。以激光束定位系统(32)实施优选实施例，所述激光束定位系统(32)由以下各项组成：声光射束偏转器(AOD)或电光偏转器(EOD)类型的零惯性光学偏转器、电流计头(30)以及线性台(34)，其协作以在所述工件特征间定位所述激光束(16)。