法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-05-13
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/70 申请公布日:20110831 申请日:20090721
发明专利申请公布后的驳回
2011-10-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/70 申请日:20090721
实质审查的生效
2011-08-31
公开
公开
机译: 使用选择性CVD Al形成用于集成插头/互连金属化的感应帽盖铝插头(帽)的方法
机译: 不连续/非均匀金属盖结构和互连集成过程
机译: 不连续/非均匀金属盖结构和互连集成过程