公开/公告号CN102115876A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 财团法人工业技术研究院;
申请/专利号CN200910261884.5
申请日2009-12-31
分类号C23C16/00;C23C16/44;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人陈小雯
地址 中国台湾新竹县
入库时间 2023-12-18 02:47:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-10-29
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/00 申请公布日:20110706 申请日:20091231
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-09-21
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/00 申请日:20091231
实质审查的生效
2011-07-06
公开
公开
机译: 化学气相沉积装置和聚对二甲苯薄膜的形成方法
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