MOCVD制备ZnO透明导电薄膜的方法

摘要

一种MOCVD制备ZnO透明导电薄膜的方法，包括准备、清洗、光学检测、CVD镀膜、产品性能检测、成品包装6个步骤，其中CVD镀膜的方法为在CVD镀膜室中，以二甲基锌和氧气为源通过喷头喷到加热的玻璃片上，二甲基锌氧化生成ZnO。在镀膜过程中，还可以以三甲基镓或氧化铝作为掺杂源，获得镓掺杂ZnO(GZO)或铝掺杂ZnO(AZO)。对光学检测不合格的玻璃，可以重新清洗；对产品性能检测不合格的产品，可以送入装有稀盐酸的腐蚀池中，腐蚀掉玻璃表面的ZnO从而将玻璃重新回收利用。本发明充分考虑了ZnO透明导电薄膜工业生产中的各个环节，具有产品性能优异、易于实现产业化等优点。