一种批量制备大纵横比三维微结构的方法及系统

摘要

本发明公开了一种批量制备大纵横比三维微结构的方法及系统。采用电化学沉积和分别用步进电机控制微电极Z向移动与加工基底XY向移动的方法，实现了各种不同三维微结构的快速批量制备。该系统具有相连接的计算机、XY向步进移动平台、Z向步进电机、CCD监控系统、三维微结构批量制备核心单元、电源及控制电路。本发明采用的微电极解决了加工效率和精度不高、加工尺度不够微细、加工稳定性不足等问题，可加工出纵横比大均匀性好的三维微结构，同时通过将多个微电极并联和分别用步进电机控制微电极Z向移动与加工基底XY向移动的方式实现了精确高效批量进行三维微结构的制备。