发光二极管激光划切机加工视觉装置

摘要

本发明提供了一种发光二极管（LED）激光划切机加工视觉装置，涉及激光划切机技术领域。主要具有一个与激光加工光路同轴的正面对准光路，用于透明晶圆的背面识别定位和加工实时监测；一个与激光加工光路同轴的底部对准光路，用于特殊粗化晶圆的正面识别定位；底部对准镜头安装在承片台（24）底部，与正面对准镜头同轴；晶圆背面朝上置于承片台（24）上。不仅能实现对晶圆的正面对准，而且在晶圆背划方式下也能满足粗化晶圆的划切工艺要求，可进行不同晶圆的识别对准和划痕监测，有利于提高生产质量和自动化程度。如果通过激光对焦光路，还可对晶圆进行精确调焦，且成本较低。