公开/公告号CN102087952A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 上海明凯照明有限公司;上海市照明灯具研究所;
申请/专利号CN200910258669.X
发明设计人 金行星;
申请日2009-12-08
分类号H01J65/00;
代理机构上海旭诚知识产权代理有限公司;
代理人郑立
地址 201209 上海市浦东新区曹路镇民风路258号
入库时间 2023-12-18 02:34:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-12
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J65/00 申请公布日:20110608 申请日:20091208
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-01-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J65/00 申请日:20091208
实质审查的生效
2011-06-08
公开
公开
机译: 等离子处理设备,用于将矩形波导管中的微波通过长缝隙辐射到等离子腔中
机译: 等离子处理设备,用于将矩形波导管中的微波通过长缝隙辐射到等离子腔中
机译: 等离子处理设备,用于将矩形波导管中的微波通过长缝隙辐射到等离子腔中