公开/公告号CN102105770A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-06-22
原文格式PDF
申请/专利权人 厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司;
申请/专利号CN200980129556.8
申请日2009-08-05
分类号G01M3/20;G01M3/22;
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人魏金霞
地址 德国科隆
入库时间 2023-12-18 02:34:45
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-09-18
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01M3/20 申请公布日:20110622 申请日:20090805
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-08-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M3/20 申请日:20090805
实质审查的生效
2011-06-22
公开
公开
机译: 确定真空系统以及真空系统的总泄漏率的方法。
机译: 用于确定来自真空过滤器真空系统的泄漏流量的系统,以及用于确定来自真空过滤器系统的泄漏流量的方法
机译: 电子真空阀的排气速度控制方法,电子真空阀的排气速度控制系统,用于电子真空阀的排气速度控制的阀打开率的设定点固定方法以及记录的方法通过更改放置在腔室和真空泵之间的电子真空阀的阀门打开速度设置来改变速度