2000m3高真空(10-3Pa)系统漏率分析和安装工艺控制实践

摘要

随着科技和科研的需要,真空装备开始向大型化,高真空方向发展.本文针对容积在2000 m3量级大型高真空系统的安装工艺控制和静态保压漏率进行分析,重点对系统的总装工艺控制过程进行论述,并考虑到在工程实际中的不确定性和查补漏困难的问题,通过对漏率分析,计算材料表面放气等“虚漏”量,提出在高(超高)真空工程设计和建设中一种基于“虚漏”阈值保压指标的计算方法,结果显示满足安装质量要求.