公开/公告号CN102077316A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料股份有限公司;
申请/专利号CN200980125854.X
申请日2009-06-04
分类号H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人陆嘉
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-18 02:30:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-24
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/00 申请公布日:20110525 申请日:20090604
发明专利申请公布后的驳回
2012-01-04
著录事项变更 IPC(主分类):H01L21/00 变更前: 变更后: 申请日:20090604
著录事项变更
2011-08-24
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/00 申请日:20090604
实质审查的生效
2011-05-25
公开
公开
机译: 高通量和稳定性,提高了每个基板的效率,可快速,与周期性基板UV臭氧清洗程序以及后续的多重多重基板UV臭氧清洗程序相叠加
机译: 快速的周期叠加和大量的后置多基质紫外臭氧清洁序列,以实现高通透性和稳定的基质性能
机译: 快速的周期叠加和大量的后置多基质紫外臭氧清洁序列,以实现高通透性和稳定的基质性能