确认COS下载内容是否正确的方法

摘要

本发明公开了一种确认COS下载内容是否正确的方法，包括如下步骤：(1)设置COS的源代码文件为File0，当下载COS时，仅对pass的Die进行下载操作，fail的Die不进行下载操作；(2)下载完毕后，依次将已经下载的内容从各个Die中读出；(3)并保存到不同的文件File1/File2/File3…中去；(4)将File 1/File2/File3…和File 0进行异或操作，验证写入的COS值是否正确，产生一个R数组，如写入正确，则R的值为0，反之为1；(5)将R数组和每个Die的pass/fail Flag数组进行异或操作，最后的期待结果应该为1；(6)对期待结果进行判断，如果不等于1，则表示该Die的COS下载失败。本发明可以系统地确认全片晶圆中COS的下载情况，且快速进行bug的定位和消除，从而保证下载的正确性。

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体晶圆的测试方法，尤其涉及一种晶圆测试过程中的验证COS下载内容是否正确的方法。

背景技术

COS下载在目前智能卡类的晶圆测试中是一种通用的应用手段，但是下载的正确与否，对智能卡的正常应用十分关键。下载过程中有一个bit(字节)错误，则可能导致整个智能卡芯片工作不能正常进行。

在目前的技术中，一般在COS下载之后，通过抽测的方法，来验证下载内容的正确性。这就导致了在抽测样品不足时，测试程序中很可能存在某个bug(程序错误)但是没有查找出的情况，导致一个Die(Die是晶圆或硅片在封装前的单个单元的裸片)尽管是pass(通过)的信息，但是COS下载内容出错，必须找到一种系统的方法来对整个晶圆进行验证。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种确认COS下载内容是否正确的方法，该方法可以系统地确认全片晶圆中COS的下载情况，且通过该方法快速进行bug的定位和消除，从而保证下载的正确性。

为解决上述技术问题，本发明提供一种确认COS下载内容是否正确的方法，包括如下步骤：

(1)设置COS的源代码文件为File0，当下载COS时，仅对pass的Die进行下载操作，fail的Die不进行下载操作；

(2)下载完毕后，依次将已经下载的内容从各个Die中读出；

(3)将步骤(2)各个Die的读出值保存到不同的文件File1/File2/File3…中去；

(4)将File1/File2/File3…和File0进行异或操作，验证写入的COS值是否正确，产生一个R数组，分别为R1/R2/R3…，如写入正确，则R的值为0，反之为1；

(5)将R数组和每个Die的pass/fail Flag数组进行异或操作，得到结果E1/E2/E3…，pass的Flag为1，fail的Flag为0，如写入正确，结果E为1，反之为0，最后的期待结果应该为1；

(6)对期待结果进行判断，如果不等于1，则表示该Die的COS下载失败。

步骤(6)中还可以将步骤(5)获得的结果E做成一个示意图，从而可以快速判断下载fail的Die的方位。

和现有技术相比，本发明具有以下有益效果：使用本发明方法可以系统地确认全片晶圆中COS的下载情况，特别是当程序中存在未知的bug时，可以通过该统计的方法快速进行bug的定位和消除，从而保证下载的正确性。

附图说明

图1是一个晶圆中各个不同Die的pass/fail(通过或失败)示意图；

图2是本发明方法的流程示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明。

如图1所示，在晶圆测试过程中，下载COS之前，每个Die都具有pass/fail的特征。图1中，Die1、Die2和Die3为pass，Die4为fail。

如图2所示，本发明方法包括如下步骤(图2中，Die1、Die2和Die3为pass，Die4为fail)：

(1)设置COS的source code(源代码)文件为File0，当下载COS时，仅对pass的Die进行下载操作，fail的Die不进行下载操作；例如，图2中对pass的Die1、Die2和Die3进行下载操作，对fail的Die4不进行下载操作；

(2)下载完毕后，依次将已经下载的内容(全部或部分内容)从Die中读出，得到Die1 cos读出值/Die2 cos读出值/Die3 cos读出值/Die4 cos读出值；

(3)并保存到不同的文件File1/File2/File3/File4…中去；

(4)将File 1/File2/File3/File4…和source code文件File 0进行异或操作(XOR运算)，验证写入的COS值是否正确，产生一个R数组，分别为R1/R2/R3/R4…，如写入正确，则R的值为0，反之为1；

(5)将R数组和每个Die的pass/fail Flag数组进行异或操作(XOR运算)，pass的Flag为1，fail的Flag为0，得到结果E1/E2/E3/E4，如写入正确，结果E1/E2/E3/E4为1(pass)，反之为结果E1/E2/E3/E4为0(fail)，最后的期待结果应该为1；

(6)对期待结果进行判断，如果E1/E2/E3/E4不等于1，则表示该Die的COS下载NG(COS下载失败)；

(7)同时可以将步骤(5)获得的结果E1/E2/E3/E4做成一个map图，从而可以快速判断下载fail的Die的方位。

通过上述步骤，可以系统地确认全片晶圆中COS的下载情况，特别是当程序中存在未知的bug时，可以通过该方法快速有效地进行bug的定位和消除，从而保证下载的正确性。