直线编码器、直线电机系统以及直线编码器的制造方法

摘要

本发明涉及直线编码器、直线电机系统以及直线编码器的制造方法。编码器具有：主标尺，其以测量轴方向为长边，具备形成有光学主光栅的2个以上的带状轨道；以及索引标尺，其形成有2个以上的光学索引光栅，以与主标尺相对而在测量轴方向上能相对移动的方式配置，与主光栅构成衍射干涉光学系统，对于至少1个轨道的主光栅所包含的多个狭缝，以其间距与1个以上的其它轨道的狭缝间距相等的方式，从与测量轴方向垂直的方向倾斜规定的倾斜角度而形成。