一种基于光纤光栅的微深孔测量方法

摘要

本发明公开了一种基于光纤光栅的微深孔测量方法，涉及可深入微小内腔体进行尺寸测量的领域，所述方法主要为通过光纤光栅反射谱中心波长的漂移量反映出触壁小球与待测微孔内壁的接触状况，再辅以控制电路、三坐标测量机来实现对待测微孔孔径的三维测量。本发明所提供的基于光纤光栅的微深孔测量方法具有损耗低、光谱特性好、无零点漂移问题和精度高重复性好的优点；扩大了测量范围；将空间中的接触情况转换为光学频谱的变化，克服了以往通过CCD光斑位移法在测量待测微孔时由于衍射损耗所造成的限制，不受光源功率波动、光纤微弯效应及耦合损耗等条件的影响；不对待测微深孔造成损伤，光纤探针的使用寿命长。