公开/公告号CN102034937A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-04-27
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN201010283620.2
申请日2010-09-10
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人黄永杰
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-18 02:09:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-08-21
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L51/56 申请公布日:20110427 申请日:20100910
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/56 申请日:20100910
实质审查的生效
2011-04-27
公开
公开
机译: 有机EL的掩模清洗方法,有机EL的掩模清洗装置,有机EL显示器的制造装置以及有机EL显示器
机译: 有机EL的掩模清洗装置,有机EL显示器的制造装置,有机EL显示器以及有机EL的掩模清洗方法
机译: 有机EL的掩模清洗装置,有机EL显示器的制造装置,有机EL显示器以及有机EL的掩模清洗方法