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公开/公告号CN101971299A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-02-09
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN200980104907.X
发明设计人 阿诺德·霍洛坚科;林成渝(肖恩);拉塞尔·马丁;
申请日2009-02-07
分类号H01L21/304(20060101);H01L21/30(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人周文强;李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-18 01:52:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-03-20
授权
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/304 申请日:20090207
实质审查的生效
2011-02-09
公开
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