输入/输出静电放电元件与级联输入/输出静电放电元件

摘要

本发明提供输入/输出静电放电元件与级联输入/输出静电放电元件，其中输入/输出静电放电元件，包括栅极电极，位于衬底之上；栅极介质层，位于所述栅极电极和所述衬底之间；一对侧壁隔离单元，分别位于所述栅极电极的两个相对的侧壁；第一LDD区域，位于一个所述侧壁隔离单元之下；源极区域，与所述第一LDD区域相邻；第二LDD区域，位于另一个所述侧壁隔离单元之下；以及漏极区域，与所述第二LDD区域相邻；其中所述第二LDD区域的掺杂浓度大于所述第一LDD区域的掺杂浓度。利用本发明能够减少ESD元件的结击穿电压并获得更好的ESD性能。